Vafli işləmə son effekti

Waffer Handling End Effector, ümumiyyətlə, idarə etmək və köçürmək üçün istifadə olunan yarımkeçirici sənayesi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış robot əlinin bir növüdürgofret. Wafters istehsal mühiti son dərəcə yüksək təmizlik tələb edir, çünki kiçik hissəciklər və ya çirkləndiricilər emal zamanı fişlərin uğursuzluğa səbəb ola bilər. 

Mükəmməl fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərinə görə bu əllərin istehsalında keramika materialları geniş istifadə olunur.

Saflıq və tərkibi

Alüminionun saflığı ümumiyyətlə ≥99.9% -dir və metal çirkləri (məsələn, mgo, cao, sio), plazma etchinqə qarşı müqaviməti yaxşılaşdırmaq üçün 0,05% -dən 0.8% -ə qədər olan metal çirkləri (mgo, cao, sio) ilə idarə olunur.

α-fazalı alüminium (Corundum strukturu) əsasdır, büllur tipi sabitdir, sıxlıq 3.98 q / sm³, tərəddüddən sonra əsl sıxlıq isə 3.6 ~ 3.9 g / sm³dir.

Mexanizm

Sərtlik: MOHS HARDNESS 9 ~ 9.5, VICKERS HARDNESS 1800 ~ 2100 HV, paslanmayan poladdan və ərintiyə nisbətən daha yüksəkdir.

Əyilmə gücü: 300 ~ 400 mpa, o, yüksək sürətli idarəetmə mexaniki stresinə tab gətirə biləcək.

Elastik modul: 380 ~ 400 GPA, işləmə qolunun sərt və deformasiya etmək asan olmasını təmin etmək üçün.

Termal və elektrik xüsusiyyətləri

İstilikkeçirmə: 20 ~ 30 w / (m · k), hələ də sabit izolyasiyanı qoruyun (müqavimət> 10¹⁴ ω ω · sm).

Temperatur müqaviməti: Uzunmüddətli istifadə temperaturu 850 ~ 1300 ℃, vakuum yüksək temperatur mühiti üçün uyğundur.

Səthi xarakterikdir

Səthi pürüzlülük: RA≤ 0.2μm (cilalanmadan sonra) gofret cızıqlarının qarşısını almaq üçün

Vakuum adsorbsion gözeniz: İSostatic pressing, məsaməsi <0.5% -i ilə əldə edilən içi boş quruluş.

İkincisi, struktur dizayn xüsusiyyətləri

Yüngül və gücü optimallaşdırılması

İnteqrasiya edilmiş bir qəlibləmə prosesindən istifadə edərək, çəki, metal qolun yalnız 1/3 hissəsidir, ətalət səbəbi səbəbini azaldır.

Son-effekt, tutma və ya vakuum absorber kimi hazırlanmışdır və əlaqə səthi, elektrostatik adsorbsiya ilə 710-u çirkləndirməsinin qarşısını almaq üçün antistatik örtüklə örtülmüşdür.

Çirklənmə müqaviməti

Yüksək saflıq alüminium, kimyəvi cəhətdən inert, metal ionları buraxmır və yarı f47 təmizlik standartına cavab verir (hissəcik çirklənməsi <10 ppm).

Üçüncü, istehsal prosesi tələbləri

Forming və tərləmə

Maddi sıxlığı təmin etmək üçün ISOSTATIC BESITSING (Təzyiq 200 ~ 300 MPA).

Yüksək temperaturun sineki (1600 ~ 1800 ℃), güc və sərtliyi balanslaşdırmaq üçün 1 ~ 5μm-də taxıl ölçüsünə nəzarət.

Dəqiqlik

Diamond daşları emalı, ölçülü dəqiqliyi ± 0.01mm, düzlük ≤ 0.05mm / m

Semikon Məhsullar mağazaları: