Seramik elektrostatik çirk

Yarımkeçirici istehsal prosesləri, xüsusən də vaffer emalı, vakuum mühitində aparılır və mexaniki olaraq sıxışdırma gəmiləri daşıyır 

müəyyən risklər. Güc, sıxma nöqtəsində cəmləşdikdə, kövrək silikon gofreti kiçik fraqmentləri tökə bilər, gofret istehsalına ciddi ziyan vura bilər.

Bu vəziyyətdə, keramika elektrostatik chuck, elektrostatik qüvvə ilə vafleri düzəldən daha yaxşı bir seçim halına gəlir. Elektrostatik qüvvə kütləvi şəkildə bərabər hərəkət edir, buna görə vaflon, prosesin düzgünlüyünü yaxşılaşdıraraq qəti şəkildə sabitlənə bilər.

Müvafiq tədqiqat sənədlərinə görə, keramika elektrostatik çuch digər elektrostatik chucks-ə nisbətən daha güclü əmzik var. Məsələn, keramika elektrostatik chuck, pet film elektrostatik çuck-dan daha güclü emiş var.

Keramika Chuck, ümumiyyətlə, yüksək istilik müqaviməti, izolyasiyasına və korroziya müqavimətinə malik Al2o3, Aln və ya SIC kimi yüksək effektiv keramika materiallarından hazırlanmışdır. Məsaməli SIC keramika chuck yalnız həddindən artıq temperaturda sabit deyil, həm də istehsal prosesi zamanı kimyəvi reagentlər və plazma titreyi səbəbindən pozulmadan keramik e-chuck-a təsir göstərir.

Temperatur nəzarət: Keramika materiallarının yüksək istilik keçiriciliyi və sabit istilik xüsusiyyətləri, alumina keramika vakuumu temperaturu effektiv idarə etmək və bu müddət ərzində temperatur paylamasını optimallaşdırmaq üçün imkan verir.

Vakuum uyğunlaşma: Seramik elektrostatik çuch, xüsusən aşağı təzyiq və yüksək dəqiqlikli esching proseslərində vakuum mühitləri üçün uygundur.

Aşağı hissəcik nəsli: Məsaməli SIC keramika e-chuck, vaffiklər zamanı hissəcik çirklənməsini azalda bilən və məhsul məhsuldarlığını yaxşılaşdırmağa kömək edə biləcək hamar bir səthə malikdir.

Tətbiq: Əsasən yarımkeçirici istehsalında, ayrıla bilən keramika elektrostatik şuck, litoqrafiya, titmə və digər yarımkeçirici vafli emal istehsal prosesləri üçün çox kömək edən dəqiq yerləşdirmə və sabitlik təmin edən semisli istehsalda istifadə olunur. Çip istehsalının keyfiyyətini emal və yaxşılaşdırmaq zamanı vafferin bütöv olmasına əmin olun.

YarımkeçiriciSeramik e-Chuck istehsal sexləri: