VEECO MOCVD (LED Epitaksi) üçün vafli daşıyıcı

Məhsul Xüsusiyyətləri:

1. Sıx CVD SiC təbəqəsi olan yüksək təmizlikli qrafit baza
2. Stabil LED epitaksisi üçün yaxşı istilik vahidliyi
3. Prosesdə istifadə olunan NH₃, HCl və digər aşındırıcı qazlara qarşı dayanır
4. Aşağı hissəciklərin tökülməsi və uzun xidmət müddəti
5. Cib dizaynları müxtəlif vafli ölçüləri və reaktor platformaları üçün fərdiləşdirilə bilər
6. Uzunmüddətli, yüksək temperaturda MOCVD əməliyyatı üçün yaxşı işləyir

Tətbiqlər:
Bu gofret daşıyıcıları LED və mürəkkəb yarımkeçirici epitaksiyada geniş istifadə olunur, o cümlədən:

• GaN LED epitaksisi
• Mavi-yaşıl LED epitaksisi
• Dərin UV LED böyüməsi
• Si əsaslı GaN epitaksiyası
• Ümumi mürəkkəb yarımkeçiricilərin istehsalı

Xüsusi daşıyıcı həllər bir neçə LED MOCVD platformasına uyğun gəlir, məsələn:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixron G4/G5
• A7/Unimax

Texniki Üstünlüklər:

1. CVD SiC örtüyüsizə yaxşı sıxlıq və təmizlik verən texnologiya
2. ±10 μm ərzində saxlanılan örtük qalınlığının dəyişməsi - istilik performansının sabit qalmasına kömək edir
3. Yaxşı vafli uyğunluğu və fırlanma sabitliyi üçün 3 μm dəqiqliyə qədər CNC emal
4. Kaplama yaxşı yapışır və təkrarlanan yüksək temperaturlu MOCVD dövrlərindən sonra çatlamağa davamlıdır
5. NH₃, HCl və digər sərt epitaksiya mühitlərini problemsiz idarə edir
6. Yüksək məhsuldarlığı dəstəkləmək üçün aşağı hissəcik istehsalı və təmiz səthLED epitaksisi
7. Müxtəlif reaktor platformaları və vafli planları üçün böyük və ya xüsusi ölçüləri örtə bilər
8. ilə uzun təcrübəxüsusi qrafit və SiC örtüklü hissələrLED və mürəkkəb yarımkeçirici epitaksiya üçün

Tez-tez verilən suallar:
1. Gofret daşıyıcısı nə edirMOCVDLED epitaksisi?

A: O, MOCVD reaktorunun içərisində vafliləri saxlayır və fırladır və epitaksial böyümə zamanı temperaturun sabit qalmasına kömək edir.

2. MOCVD üçün nə üçün SiC örtüklü qrafit vafli daşıyıcılardan istifadə edilməlidir?

A: TheCVD SiC örtüyüdaha yaxşı korroziya müqaviməti, termal sabitlik və davamlılıq verir. O, həmçinin yüksək temperatur epitaksiyasında hissəciklərin çirklənməsini azaltmağa kömək edir.

3. Vetek Semiconductor xüsusi vafli daşıyıcıları istehsal edirmi?
A: Bəli. Biz reaktor platformanıza, vafli ölçüsünə, cib planına və digər proses ehtiyaclarınıza əsasən fərdi daşıyıcıları dizayn edə bilərik.