8 düymlük CVD silisium karbid (SiC) örtülmüş epitaksiya üst üzük

8 düymlük SiC Epi Top Ringin Əsas Xüsusiyyətləri

● Yüksək Saflıq: minimum 99,9995%. Metal epilaya köçməyəcək. Bu, vafli daşıyıcının konsentrasiyasını lazımi yerdə saxlayır.

● Hissəciklərin qarşısının alınması: CVD strukturu sıxdır. Məsamə yoxdur. Alət işləyərkən hissəcikləri tökməyəcək. Zavodlar bu yolla daha yaxşı məhsul görürlər.

● İstilik Müqaviməti: Üzük 1500°C-də sabit qalır. Aşağı CTE (termal genişlənmə) sürətli qızdırma/soyutma dövrlərində əyilmə olmaması deməkdir.

● Kimyəvi Sabitlik: Bərk CVD SiC H2 və HCl qazlarına müqavimət göstərir. NH3-ə də müqavimət göstərir. Onun soyulması üçün örtüyü yoxdur. Sərt CVD mühitlərində pisləşmir.

● Komponent Ömrü: Səth çox sərtdir. HF/HCl-nin təkrar kimyəvi təmizlənməsinə dözür. Bu, dəyişdirmə tezliyini azaldır. Bu, həmçinin fab üçün ümumi sahiblik dəyərini azaldır.

Texniki Spesifikasiyalar

Partiyalar arasında örtük qalınlığının vahidliyi 10um-da idarə olunur

Tətbiqlər

CVD SiC epi üst halqası aşağıdakılarda geniş istifadə olunur:

● Silikon epitaksiya (Si Epi) reaktorları

● Silisium karbid epitaksisi (SiC Epi)

● MOCVD sistemləri

● CVD yerləşdirmə avadanlığı

Adətən aşağıdakılarla birləşdirilir:

● Qəbuledicilər

● vafli daşıyıcılar

● Halqaları əvvəlcədən qızdırın

● Epitaksiya reaktorları

Niyə VETEK SiC Epi Top Ring taxmaq lazımdır?

● Tam istehsal qabiliyyəti: 

Xammalın təmizlənməsindən tutmuş dəqiq emal və CVD örtüklərinə qədər, VETEK ardıcıl yarımkeçirici keyfiyyətini təmin etmək üçün bütün istehsal prosesinə nəzarət edir.

● Yüksək Dəqiqlik: 

Biz mikron səviyyəli emaldan istifadə edirik. CVD qalınlığı çox vahiddir. Bu, hər halqanın eyni şəkildə çıxış etməsinə səbəb olur.

Tez-tez verilən suallar

(1) SiC epi üst halqası nə edir?

Üzük istilik və qaz axını idarə edir. Bu, nazik təbəqənin vafli üzərində bərabər şəkildə böyüməsini təmin edir.

(2) Niyə CVD SiC qrafitdən yaxşıdır?

Qrafit məsaməlidir. Qrafit məsamələrə malikdir və qaz buraxır. Bərk CVD SiC sıx və təmizdir. Aşındırıcı alətlərdə daha uzun müddət davam edir.

(3). 8 düymlük SiC üst üzük fərdiləşdirilə bilərmi?

Bəli. Xüsusi alət təsvirlərinizə uyğun olaraq qururuq. Prosesinizə əsasən həndəsəni tənzimləyə bilərik.

(4).Hansı sənaye SiC epitaksi halqalarından istifadə edir?

Onlar əsasən yarımkeçirici istehsalında, o cümlədən enerji cihazları, RF cihazları və SiC vafli istehsalında istifadə olunur.