Yüksək Təmizlik CVD SiC örtüklü vafli qayıq

1. Əsas Performans Faktorları?

• 7N səviyyəsində təmizlik:Biz 99,99999% (7N) təmizlik standartını qoruyuruq. Bu, uzun sürmə və ya oksidləşmə mərhələləri zamanı metal çirkləndiricilərinin gofretə keçməsinin qarşısını almaq üçün müzakirə edilə bilməz.
• CVD möhürü (50-300μm):Biz yalnız səthi "boyamırıq". 50–300μm CVD SiC təbəqəmiz substratın üzərində tam sızdırmazlıq yaradır. Bu, gözenekliliyi aradan qaldırır, yəni reaktiv qazlara təkrar məruz qaldıqdan və ya aqressiv SPM/DHF təmizləməsindən sonra belə qayıq kimyəvi maddələri tutmayacaq və ya hissəciklər tökməyəcək.
• Termal Sərtlik:Silikon Karbidin təbii aşağı istilik genişlənməsi bu qayıqları düz saxlayır. Onlar Sürətli Termal Yandırma (RTA) zamanı əyilməyəcək və ya əyilməyəcək, robot qolunun həmişə tıxanmadan sağ yuvaya dəyməsini təmin edir.
• Davamlı Məhsuldarlıq:Səth aşağı əlavə məhsul yapışması üçün hazırlanmışdır. Daha az yığılma, vaflilərə dəyən daha az hissəcik və yaş dəzgah təmizləmə dövrləri arasında daha çox qaçış deməkdir.
• Fərdi Həndəsə:Hər fabın öz quruluşu var. İstər üfüqi soba, istərsə də şaquli 300 mm-lik avtomatlaşdırılmış xətt işlətdiyinizdən asılı olmayaraq, biz bunları xüsusi Pitch və Slot təsvirlərinizə uyğunlaşdırırıq.

2. Proses uyğunluğu

• Atmosfer:TMGa, ASH₃ və yüksək konsentrasiyalı O₂ mühitlərinə davamlıdır.
• Termal diapazon:1400°C-ə qədər sabit uzunmüddətli əməliyyat.
• Materiallar:Məntiq, Güc və Analoq vaflilərin oksidləşmə və diffuziya prosesləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır.