Oksidləşmə və diffuziya sobası

Oksidləşmə və diffuziya sobaları yarımkeçirici qurğular, diskret cihazlar, optoelektronik cihazlar, güc elektron cihazları, günəş hüceyrələri və geniş miqyaslı inteqrasiya edilmiş dövriyyə istehsalı kimi müxtəlif sahələrdə istifadə olunur. Onlar diffuziya, oksidləşmə, yumrulama, ərinti və yuyulma və sarsıdıcı da daxil olmaqla proseslər üçün istifadə olunur.

Vetek Yarımkeçirici, oksidləşmə və diffuziya sobalarında yüksək təmizlik qrafit, silikon karbid və kvars komponentlərinin istehsalında ixtisaslaşmış aparıcı istehsalçıdır. Yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesi üçün yüksək keyfiyyətli soba komponentlərini təqdim etməyə və CVD-SIC, CVD-Tac, Pirokarbon və s. Kimi səth örtük texnologiyasının ön cəbhəsindədir.

Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

● Yüksək temperaturda müqavimət (1600 ℃ qədər)

● Əla istilik keçiriciliyi və istilik sabitliyi

● Yaxşı kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət

● İstilik genişləndirilməsinin aşağı əmsalı

● Yüksək güc və sərtlik

● Uzun xidmət müddəti

Oksidləşmə və diffuziya sobalarında, yüksək temperatur və aşındırıcı qazların olması səbəbindən bir çox komponent yüksək temperatur və korroziyaya davamlı materialların istifadəsini tələb edir, bunların arasında silikon karbid (SIC) bir çox istifadə olunan bir seçimdir. Aşağıdakılar, oksidləşmə sobalarında və diffuziya sobalarında tapılan ümumi silikon karbid komponentləridir:

● gofret gəmi

Silikon Carbide Wafer Boat, yüksək temperaturdan tab gətirə biləcək və silikon gofreti ilə reaksiya göstərə biləcək silikon gofrets daşımaq üçün istifadə olunan bir konteynerdir.

● soba borusu

Ocaq borusu, silikon gofreti yerləşdirmək və reaksiya mühitinə nəzarət etmək üçün istifadə olunan diffuziya sobasının əsas komponentidir. Silikon Karbide soba borularının əla yüksək temperaturu və korroziyaya davamlı performansa malikdir.

● Baffle boşqab

Ocağın içərisində hava axını və temperatur paylanmasını tənzimləmək üçün istifadə olunur

● Termojuft qoruyucu boru

Temperatur ölçmə termokupllarını birbaşa təmasdan birbaşa təmasdan qorumaq üçün istifadə olunur.

● Cantilever avar

Silikon karbidli cantilever avarları yüksək temperatur və korroziyaya davamlıdır və silikon gofreyləri diffuziya soba borularına daşıyan silikon qayıqları və ya kvars qayıqlarını daşımaq üçün istifadə olunur.

● Qaz injektoru

Ocağa reaksiya qazını təqdim etmək üçün istifadə olunur, yüksək temperatur və korroziyaya qarşı davamlı olmalıdır.

● qayıq daşıyıcısı

Silikon Carbide Wafer Boat Carrier, yüksək güc, korroziya müqaviməti və yaxşı struktur sabitliyi kimi üstünlükləri olan silikon gofreti düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur.

● Soba qapısı

Silikon karbid örtükləri və ya komponentlər də sobanın qapısının içərisində də istifadə edilə bilər.

● İstilik elementi

Silikon karbidli istilik elementləri yüksək temperatur, yüksək güc üçün uyğundur və tez bir zamanda temperaturu 1000 ℃ -dən çox artıra bilər.

● SIC layneri

Ocaq borularının daxili divarını qorumaq üçün istifadə olunur, istilik enerjisinin itirilməsini azaltmağa və yüksək temperatur və yüksək təzyiq kimi sərt mühitlərə tab gətirə bilər.

View as

Sic vafli qayıq

SiC vafli qayıq, temperaturun vafli səthində bərabər paylanmasını təmin etmək üçün əsasən oksidləşmə və diffuziya prosesi üçün vafli daşımaq üçün istifadə olunur. SiC materiallarının yüksək temperatur sabitliyi və yüksək istilik keçiriciliyi yarımkeçiricilərin səmərəli və etibarlı işlənməsini təmin edir. Vetek yarımkeçirici rəqabətli qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

SIC proses borusu

Vetek yarımkeçiricisi yarımkeçirici istehsal üçün yüksək performanslı SIC proses borularını təmin edir. SIC prosesi boruları oksidləşmə, diffuziya proseslərində üstündür. Üstün keyfiyyət və sənətkarlıq ilə bu borular səmərəli yarımkeçirici emal üçün yüksək temperaturlu sabitlik və istilik keçiriciliyi təklif edir. Rəqabətli qiymət təklif edirik və Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağa çalışırıq.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Sic cantilever avar

VeTek Semiconductor-un SiC Cantilever Paddle, vafli qayıqları idarə etmək və dəstəkləmək üçün istilik müalicəsi sobalarında istifadə olunur. SiC materialının yüksək temperatur sabitliyi və yüksək istilik keçiriciliyi yarımkeçiricilərin emal prosesində yüksək səmərəliliyi və etibarlılığı təmin edir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə yüksək keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqik və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Horizontal Soba üçün Silikon Karbid Gofret Qayığı

SiC vafli qayığın material təmizliyinə yüksək tələbat var. Vetek Yarımkeçirici bu məhsula SiC təmizliyi ＞99,96% yenidən kristallaşdırılmış SiC təmin edir. VeTek Semiconductor üfüqi soba üçün silisium karbid vafli qayıq üçün Çində peşəkar istehsalçı və təchizatçıdır, elmi-tədqiqat və inkişaf təcrübəsinə malikdir. istehsal, keyfiyyətə yaxşı nəzarət edə və rəqabətli qiymət təklif edə bilər. Bizdən üfüqi soba üçün silikon karbid vafli qayıq alacağınıza əmin ola bilərsiniz.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Sic örtülmüş silikon karbid vafli qayıq

SIC örtülmüş silikon karbidli vafli gəmi, Wafters.vetek yarımkeçiricisi daşımaq üçün 165 yuvası ilə hazırlanmışdır. qiymət. Zavodumuzu ziyarət etmək və əməkdaşlıq haqqında daha sonra müzakirə etmək üçün xoş gəlmisiniz.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Silikon karbid cantilever avar

Vetek yarımkeçiricisi silikon karbid cantilever avar, yayımçı istehsal prosesində, diffuziya və RTP kimi yüksək temperaturlu proseslərdə diffuziya sobaları və ya LPCVD sobaları üçün uyğun olan yarımkeçirici istehsal prosesində vacib bir komponentdir. Silikon karbidli cantilever avar, əla yüksək temperaturlu müqavimət və mexaniki gücü ilə diqqətlə hazırlanmış və istehsal olunur və geniş və etibarlı şəkildə diffuziya və RTP kimi müxtəlif yüksək temperaturlu proseslər üçün sərt və etibarlı şəkildə nəqliyyat borusuna aparıla bilər. Çin dilində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağımızı gözləyirik.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çində peşəkar Oksidləşmə və diffuziya sobası istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Oksidləşmə və diffuziya sobası almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
anny@veteksemi.com
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini

Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Menyudan çıxın

Oksidləşmə və diffuziya sobası

Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

Sic vafli qayıq

SIC proses borusu

Sic cantilever avar

Horizontal Soba üçün Silikon Karbid Gofret Qayığı

Sic örtülmüş silikon karbid vafli qayıq

Silikon karbid cantilever avar

Sorğu göndərin

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon

Faks

E-poçt

Ünvan