Sic cantilever avarles

Ⅰ..Qarsalma istifadə Baxış

SIC Cantilever avarları əsasən sofonductor istehsal texnikasında vaffert dəstəyi və ötürmə komponentləri kimi istifadə olunur. Onun əsas funksiyası, hamar və səmərəli istehsal prosesini təmin edən yüksək temperatur və yüksək korroziya kimi ekstremal proses şəraitində silikon ehtiyatsızlığı ilə sabit və dəqiq bir şəkildə emal etməkdir.

Ⅱ.Advantages və sic materiallarının xüsusiyyətləri

SIC, mükəmməl fiziki xüsusiyyətləri, yarımkeçirici sahədə misilsiz bir üstünlük verən inkişaf etmiş bir keramika materialıdır. Sic Cantilever avarları ilə əlaqəli əsas fiziki parametrlər aşağıdakılardır:

● Yüksək saflıq: Yüksək saflıqlı SIC materialının istifadəsi prosesin çirklənməsini minimuma endirə və məhsul məhsuldarlığını yaxşılaşdıra bilər.

● Əla yüksək temperatur müqaviməti: SIC, 2830 ° C-ə qədər ərimə nöqtəsinə malikdir, bu, plazma temperaturu və yüksək temperaturlu bir illik kimi həddindən artıq temperatur mühitində struktur bütövlüyünü qorumağa imkan verir və uzunmüddətli əməliyyat temperaturu 1000 ° C-dən çox ola bilər.

● Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: Mohs sərtliyi 9-9.5, yalnız almaz, sic cantilever yastıqları əla aşınma müqavimətini verir və yüksək tezlikli vaffer zamanı ölçülü sabitliyi qoruyur.

● Əla istilik keçiriciliyi: SIC keramikalarının istilik keçiriciliyi, istiliyini tez bir zamanda yaymaq və vaflaya zərər verə biləcək yerli həddindən artıq istiləşmənin qarşısını ala bilən 120-250 və (m · k) (tipik dəyər) qədərdir.

● Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı: Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı (təxminən 4.0 × 10⁻⁶ / K) temperatur dəyişdikdə, istilik genişləndirilməsi və daralma səbəbindən stressdən qaçınır və beləliklə gofret zərərinin riskini azaldır.

Ⅲ. SIC Cantilever avarlarının tətbiqi ssenariləri

SIC Cantilever Paddles-in bənzərsiz xüsusiyyətləri onlara yarımkeçirici istehsalın birdən çox bağlantısında əsas rol oynamağa imkan verir:

● Plazma etching avadanlığı: Plazma Etching Palatasında, SIC Cantilever avarları, ölçülü sabitliyi qoruyarkən plazma bombardmanı və aşındırıcı qaz eroziyasına tab gətirə biləcək vafli dayaq kimi xidmət edir.

● İncə film çöküntü avadanlıqları (CVD / PVD): Kimyəvi buxarlanma (CVD) və fiziki buxarlanma (PVD), sic cantilever paddlles, Waferləri dəstəkləmək üçün istifadə olunur. Onların əla yüksək temperatur müqaviməti və istilik keçiriciliyi, nazik film çökmə prosesi zamanı yaranan hissəciklərin çirklənməsinin qarşısını almağa kömək edir.

● Dafar Transfer Sistemi: Avtomatlaşdırılmış vaffer ötürmə sistemində, SIC Cantilever avarları yüksək sərtlik və aşınma müqavimətlərinə görə yüksək tezlikli mexaniki hərəkətə tab gətirə bilər, müxtəlif proses kameraları arasındakı boşluqların dəqiq və sürətli köçürülməsini təmin edərək, gofret zərər və çirklənmə riskini azaldır.

● Yüksək temperaturun yumru prosesi: Yüksək temperaturun ilahi sobasında, SIC Cantilever avarları, ultra yüksək temperatur mühitinə tab gətirə bilər, boşalma üçün sabit dəstək verir və ilahi prosesin vahidliyini və effektivliyini təmin edə bilər.

Veteksemikon, məhsul keyfiyyəti üçün yarımkeçirici proseslərin ciddi tələblərini yaxşı bilir. Buna görə də, xüsusi xidmətləri dəstəkləyirik və xüsusi avadanlıq və proses tələblərinə uyğun olaraq xüsusi SIC Cantilever avar dizaynını və istehsalını təmin edə bilərik. Həm də hər bir məhsulun ən yüksək sənaye standartlarına cavab verməsini təmin etmək üçün ciddi keyfiyyətli yoxlamalar keçirməsini təmin etmək üçün ciddi keyfiyyətə nəzarət edəcəyik.

Daha əhəmiyyətlisi, Vetek yarımkeçiricisi texniki komandası sizə hərtərəfli texniki məsləhət və məhsul həlləri ilə təmin edəcəkdir. SIC Cantilever avarçılığı seçmək, daha yüksək istehsal səmərəliliyi, daha uzun avadanlıqların həyatı və daha yaxşı məhsul gəlirlərini seçmək deməkdir. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.