Oksidləşmə və diffuziya sobası

Oksidləşmə və diffuziya sobaları yarımkeçirici qurğular, diskret cihazlar, optoelektronik cihazlar, güc elektron cihazları, günəş hüceyrələri və geniş miqyaslı inteqrasiya edilmiş dövriyyə istehsalı kimi müxtəlif sahələrdə istifadə olunur. Onlar diffuziya, oksidləşmə, yumrulama, ərinti və yuyulma və sarsıdıcı da daxil olmaqla proseslər üçün istifadə olunur.

Vetek Yarımkeçirici, oksidləşmə və diffuziya sobalarında yüksək təmizlik qrafit, silikon karbid və kvars komponentlərinin istehsalında ixtisaslaşmış aparıcı istehsalçıdır. Yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesi üçün yüksək keyfiyyətli soba komponentlərini təqdim etməyə və CVD-SIC, CVD-Tac, Pirokarbon və s. Kimi səth örtük texnologiyasının ön cəbhəsindədir.

Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

● Yüksək temperaturda müqavimət (1600 ℃ qədər)

● Əla istilik keçiriciliyi və istilik sabitliyi

● Yaxşı kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət

● İstilik genişləndirilməsinin aşağı əmsalı

● Yüksək güc və sərtlik

● Uzun xidmət müddəti

Oksidləşmə və diffuziya sobalarında, yüksək temperatur və aşındırıcı qazların olması səbəbindən bir çox komponent yüksək temperatur və korroziyaya davamlı materialların istifadəsini tələb edir, bunların arasında silikon karbid (SIC) bir çox istifadə olunan bir seçimdir. Aşağıdakılar, oksidləşmə sobalarında və diffuziya sobalarında tapılan ümumi silikon karbid komponentləridir:

● gofret gəmi

Silikon Carbide Wafer Boat, yüksək temperaturdan tab gətirə biləcək və silikon gofreti ilə reaksiya göstərə biləcək silikon gofrets daşımaq üçün istifadə olunan bir konteynerdir.

● soba borusu

Ocaq borusu, silikon gofreti yerləşdirmək və reaksiya mühitinə nəzarət etmək üçün istifadə olunan diffuziya sobasının əsas komponentidir. Silikon Karbide soba borularının əla yüksək temperaturu və korroziyaya davamlı performansa malikdir.

● Baffle boşqab

Ocağın içərisində hava axını və temperatur paylanmasını tənzimləmək üçün istifadə olunur

● Termojuft qoruyucu boru

Temperatur ölçmə termokupllarını birbaşa təmasdan birbaşa təmasdan qorumaq üçün istifadə olunur.

● Cantilever avar

Silikon karbidli cantilever avarları yüksək temperatur və korroziyaya davamlıdır və silikon gofreyləri diffuziya soba borularına daşıyan silikon qayıqları və ya kvars qayıqlarını daşımaq üçün istifadə olunur.

● Qaz injektoru

Ocağa reaksiya qazını təqdim etmək üçün istifadə olunur, yüksək temperatur və korroziyaya qarşı davamlı olmalıdır.

● qayıq daşıyıcısı

Silikon Carbide Wafer Boat Carrier, yüksək güc, korroziya müqaviməti və yaxşı struktur sabitliyi kimi üstünlükləri olan silikon gofreti düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur.

● Soba qapısı

Silikon karbid örtükləri və ya komponentlər də sobanın qapısının içərisində də istifadə edilə bilər.

● İstilik elementi

Silikon karbidli istilik elementləri yüksək temperatur, yüksək güc üçün uyğundur və tez bir zamanda temperaturu 1000 ℃ -dən çox artıra bilər.

● SIC layneri

Ocaq borularının daxili divarını qorumaq üçün istifadə olunur, istilik enerjisinin itirilməsini azaltmağa və yüksək temperatur və yüksək təzyiq kimi sərt mühitlərə tab gətirə bilər.

View as

Silikon karbid keramika vafli qayıq

VeTek Semiconductor müxtəlif yarımkeçirici proses tələblərinə cavab vermək üçün şaquli/sütun və üfüqi konfiqurasiyalarda yüksək keyfiyyətli vafli qayıqların, postamentlərin və xüsusi vafli daşıyıcıların təmin edilməsində ixtisaslaşmışdır. Silikon karbid örtüklü plyonkaların aparıcı istehsalçısı və təchizatçısı olaraq, bizim silisium karbid keramika vafli qayıqlarımız yüksək qiymət səmərəliliyi və əla keyfiyyəti ilə Avropa və Amerika bazarları tərəfindən bəyənilir və qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərində geniş istifadə olunur. VeTek Semiconductor qlobal müştərilərlə uzunmüddətli və sabit əməkdaşlıq əlaqələri qurmağa sadiqdir və xüsusilə Çində etibarlı yarımkeçirici proses ortağınız olmağa ümid edir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Silikon karbid (sic) cantilever avar

Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle-nin yarımkeçirici sənayedə rolu vafliləri dəstəkləmək və daşımaqdır. Diffuziya və oksidləşmə kimi yüksək temperatur proseslərində, SiC konsol avar, prosesin düzgün gedişatını təmin edərək, yüksək temperatur səbəbiylə deformasiya və ya zədələnmədən vafli qayıqları və vafliləri stabil şəkildə daşıya bilər. Diffuziya, oksidləşmə və digər prosesləri daha vahid etmək vafli emalının tutarlılığını və məhsuldarlığını yaxşılaşdırmaq üçün çox vacibdir. VeTek Semiconductor, vaflilərin çirklənməməsini təmin etmək üçün yüksək təmizlikli silisium karbid ilə SiC konsol avarını qurmaq üçün qabaqcıl texnologiyadan istifadə edir. VeTek Semiconductor Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle məhsulları üzrə sizinlə uzunmüddətli əməkdaşlığı səbirsizliklə gözləyir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Kvars pota

Vetek yarımkeçiricisi, Çində lider kvarsın aparıcı bir kvars, istehsalçısıdır. İstehsal etdiyimiz kvars çarmçaları əsasən yarımkeçirici və fotovoltaik sahələrdə istifadə olunur. Təmizlik və yüksək temperatur müqavimətinin xüsusiyyətlərinə malikdirlər. Yarımkeçirici üçün Kvarszzomumuz, silikon çubuğunun çəkilməsi, yarımkeçirici silikon vafli istehsal prosesində polisilicon xammalının yüklənməsi və boşaldılması proseslərini dəstəkləyir və silikon vafli istehsalı üçün əsas istehlak materiallarıdır. Vetek yarımkeçiricisi Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağı səbirsizliklə gözləyir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Silikon karbid vafli daşıyıcı

Çində peşəkar Silikon Karbid vafli daşıyıcısı təchizatçısı kimi VeTek Yarımkeçirici SiC vafli daşıyıcısı yarımkeçirici vafli prosesində əvəzsiz rol oynayan yarımkeçirici vaflilərin işlənməsi və emalı üçün xüsusi olaraq istifadə edilən alətdir. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Silikon postament

Vetek Yarımkeçirici Silikon Pedestal, yarımkeçirici diffuziya və oksidləşmə proseslərində əsas komponentdir. Yüksək temperaturlu sobalarda silikon qayıqları daşımaq üçün xüsusi bir platforma olaraq, silikon postalası, o, təkmilləşdirilmiş temperaturun vahidliyi, optimallaşdırılmış vafli keyfiyyəti və yarımkeçirici cihazların genişləndirilmiş performansı da daxil olmaqla bir çox unikal üstünlüklərə malikdir. Daha çox məhsul haqqında məlumat üçün, bizə müraciət etməkdən çekinmeyin.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Sic keramik möhür üzüyü

Çində SIC Seramik Seal Ring Məhsulları, Vetek Yarımkeçirici SIC Seramik Seal Ring, əla istilik keçiriciliyi, görkəmli kimyəvi və korroziya müqaviməti və yüksək gücü və sərtlik səbəbiylə sənaye sahəsində geniş tətbiqetmələrə malikdir. Əlavə sorğularınızı salamlayın.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çində peşəkar Oksidləşmə və diffuziya sobası istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Oksidləşmə və diffuziya sobası almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
anny@veteksemi.com
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini

Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Menyudan çıxın

Oksidləşmə və diffuziya sobası

Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

Silikon karbid keramika vafli qayıq

Silikon karbid (sic) cantilever avar

Kvars pota

Silikon karbid vafli daşıyıcı

Silikon postament

Sic keramik möhür üzüyü

Sorğu göndərin

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon

Faks

E-poçt

Ünvan