Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Məhsullar

Oksidləşmə və diffuziya sobası

Oksidləşmə və diffuziya sobaları yarımkeçirici qurğular, diskret cihazlar, optoelektronik cihazlar, güc elektron cihazları, günəş hüceyrələri və geniş miqyaslı inteqrasiya edilmiş dövriyyə istehsalı kimi müxtəlif sahələrdə istifadə olunur. Onlar diffuziya, oksidləşmə, yumrulama, ərinti və yuyulma və sarsıdıcı da daxil olmaqla proseslər üçün istifadə olunur.


Vetek Yarımkeçirici, oksidləşmə və diffuziya sobalarında yüksək təmizlik qrafit, silikon karbid və kvars komponentlərinin istehsalında ixtisaslaşmış aparıcı istehsalçıdır. Yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesi üçün yüksək keyfiyyətli soba komponentlərini təqdim etməyə və CVD-SIC, CVD-Tac, Pirokarbon və s. Kimi səth örtük texnologiyasının ön cəbhəsindədir.


Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

● Yüksək temperaturda müqavimət (1600 ℃ qədər)

● Əla istilik keçiriciliyi və istilik sabitliyi

● Yaxşı kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət

● İstilik genişləndirilməsinin aşağı əmsalı

● Yüksək güc və sərtlik

● Uzun xidmət müddəti


Oksidləşmə və diffuziya sobalarında, yüksək temperatur və aşındırıcı qazların olması səbəbindən bir çox komponent yüksək temperatur və korroziyaya davamlı materialların istifadəsini tələb edir, bunların arasında silikon karbid (SIC) bir çox istifadə olunan bir seçimdir. Aşağıdakılar, oksidləşmə sobalarında və diffuziya sobalarında tapılan ümumi silikon karbid komponentləridir:



● gofret gəmi

Silikon Carbide Wafer Boat, yüksək temperaturdan tab gətirə biləcək və silikon gofreti ilə reaksiya göstərə biləcək silikon gofrets daşımaq üçün istifadə olunan bir konteynerdir.


● soba borusu

Ocaq borusu, silikon gofreti yerləşdirmək və reaksiya mühitinə nəzarət etmək üçün istifadə olunan diffuziya sobasının əsas komponentidir. Silikon Karbide soba borularının əla yüksək temperaturu və korroziyaya davamlı performansa malikdir.


● Baffle boşqab

Ocağın içərisində hava axını və temperatur paylanmasını tənzimləmək üçün istifadə olunur


● Termojuft qoruyucu boru

Temperatur ölçmə termokupllarını birbaşa təmasdan birbaşa təmasdan qorumaq üçün istifadə olunur.


● Cantilever avar

Silikon karbidli cantilever avarları yüksək temperatur və korroziyaya davamlıdır və silikon gofreyləri diffuziya soba borularına daşıyan silikon qayıqları və ya kvars qayıqlarını daşımaq üçün istifadə olunur.


● Qaz injektoru

Ocağa reaksiya qazını təqdim etmək üçün istifadə olunur, yüksək temperatur və korroziyaya qarşı davamlı olmalıdır.


● qayıq daşıyıcısı

Silikon Carbide Wafer Boat Carrier, yüksək güc, korroziya müqaviməti və yaxşı struktur sabitliyi kimi üstünlükləri olan silikon gofreti düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur.


● Soba qapısı

Silikon karbid örtükləri və ya komponentlər də sobanın qapısının içərisində də istifadə edilə bilər.


● İstilik elementi

Silikon karbidli istilik elementləri yüksək temperatur, yüksək güc üçün uyğundur və tez bir zamanda temperaturu 1000 ℃ -dən çox artıra bilər.


● SIC layneri

Ocaq borularının daxili divarını qorumaq üçün istifadə olunur, istilik enerjisinin itirilməsini azaltmağa və yüksək temperatur və yüksək təzyiq kimi sərt mühitlərə tab gətirə bilər.

View as  
 
Yüksək saf silikon karbid vafli daşıyıcısı

Yüksək saf silikon karbid vafli daşıyıcısı

Vetek yarımkeçiricisi yüksək təmiz silikon karbidli vafli daşıyıcı, istehsalın bütün mərhələlərində əsas rol oynayan, incə silikon gofretlerini etibarlı şəkildə saxlamaq və nəqliyyat etmək üçün hazırlanmışdır. Vetek yarımkeçiricinin yüksək təmiz silikon karbidli vafli daşıyıcısı əla performans və etibarlılığı təmin etmək üçün diqqətlə hazırlanmış və istehsal olunur. Vetek yarımkeçiricisi rəqabətqabiliyyətli qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə can atır və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağımızı gözləyirik.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
Silikon karbid vafli qayıq

Silikon karbid vafli qayıq

Vetek yarımkeçiricinin yüksək təmizlik silikon karbidli vafli gəmi əla istilik sabitliyi, mexaniki güc və kimyəvi müqavimət olan son dərəcə saf silikon karbid materialından hazırlanmışdır. Yüksək saflıq silikon karbidli vafli gəmi, xüsusilə yüksək temperaturlu mühitlərdə semikonduktor istehsalında isti zona tətbiqlərində istifadə olunur və wafters, materialları daşımaq və sabit proseslərin qorunmasında mühüm rol oynayır. Vetek yarımkeçiricisi, yarımkeçirici istehsalın inkişaf edən ehtiyaclarını qarşılamaq üçün yüksək təmizlik silikon karbid vafli gəmi yeniləmək və yaxşılaşdırmaq üçün çox çalışmağa davam edəcəkdir. Çin dilində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağımızı gözləyirik.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Çində peşəkar Oksidləşmə və diffuziya sobası istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Oksidləşmə və diffuziya sobası almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
Xəbər Tövsiyələri
Almaz - yarımkeçiricilərin gələcək ulduzu
Almaz - yarımkeçiricilərin gələcək ulduzuƏtraflı Baxın >>
Döngə! İki əsas istehsalçı kütləvi şəkildə 8 düymlük silikon karbidini istehsal edir
Döngə! İki əsas istehsalçı kütləvi şəkildə 8 düymlük silikon karbidini istehsal edirƏtraflı Baxın >>
Yüksək keyfiyyətli büllur böyüməsinə necə nail olmaq olar? - Sic Kristal Böyümə Ocağı
Yüksək keyfiyyətli büllur böyüməsinə necə nail olmaq olar? - Sic Kristal Böyümə OcağıƏtraflı Baxın >>
Mocvd suseptoru haqqında bilirsinizmi?
Mocvd suseptoru haqqında bilirsinizmi?Ətraflı Baxın >>
ALD Atom Layer Döşəmə Resepti
ALD Atom Layer Döşəmə ReseptiƏtraflı Baxın >>
Üçüncü nəsil yarımkeçiricisi nədir?
Üçüncü nəsil yarımkeçiricisi nədir?Ətraflı Baxın >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept