Oksidləşmə və Diffuziya Ocağı

Oksidləşmə və Diffuziya Ocaqları yarımkeçirici cihazlar, diskret cihazlar, optoelektronik cihazlar, güc elektron cihazları, günəş batareyaları və geniş miqyaslı inteqral sxem istehsalı kimi müxtəlif sahələrdə istifadə olunur. Onlar vaflilərin diffuziya, oksidləşmə, yumşalma, ərintisi və sinterlənməsi daxil olmaqla proseslər üçün istifadə olunur.

VeTek Semiconductor oksidləşmə və diffuziya sobalarında yüksək təmizlikdə qrafit, silisium karbid və kvars komponentlərinin istehsalında ixtisaslaşan aparıcı istehsalçıdır. Biz yarımkeçiricilər və fotovoltaik sənayelər üçün yüksək keyfiyyətli soba komponentləri təqdim etməyə sadiqik və CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon və s. kimi səth örtük texnologiyasında ön sıralardayıq.

VeTek Semiconductor silisium karbid komponentlərinin üstünlükləri:

Yüksək temperatur müqaviməti (1600 ℃-ə qədər)

Əla istilik keçiriciliyi və istilik sabitliyi

Yaxşı kimyəvi korroziya müqaviməti

İstilik genişlənməsinin aşağı əmsalı

Yüksək güc və sərtlik

Uzun xidmət müddəti

Oksidləşmə və diffuziya sobalarında yüksək temperatur və aşındırıcı qazların olması səbəbindən bir çox komponent yüksək temperatura və korroziyaya davamlı materialların istifadəsini tələb edir ki, bunlar arasında silisium karbid (SiC) çox istifadə edilən seçimdir. Aşağıdakılar oksidləşmə sobalarında və diffuziya sobalarında tapılan ümumi silisium karbid komponentləridir:

Vafli qayıq

Silikon karbid vafli qayıq, silikon vafliləri daşımaq üçün istifadə edilən konteynerdir, yüksək temperaturlara davam edə bilər və silikon vaflilərlə reaksiya verməyəcəkdir.

Soba borusu

Soba borusu diffuziya sobasının əsas komponentidir, silikon vafliləri yerləşdirmək və reaksiya mühitinə nəzarət etmək üçün istifadə olunur. Silikon karbid soba boruları əla yüksək temperatura və korroziyaya davamlılığa malikdir.

Bölmə lövhəsi

Fırın içərisində hava axını və temperatur paylanmasını tənzimləmək üçün istifadə olunur

Termocüt mühafizə borusu

Temperatur ölçən termocütləri korroziyalı qazlarla birbaşa təmasdan qorumaq üçün istifadə olunur.

Konsol Avar

Silikon karbid konsol avarları yüksək temperatura və korroziyaya davamlıdır və silikon qayıqları və ya silisium vafliləri daşıyan kvars qayıqlarını diffuziya sobası borularına daşımaq üçün istifadə olunur.

Qaz injektoru

Reaksiya qazını sobaya daxil etmək üçün istifadə olunur, yüksək temperatura və korroziyaya davamlı olmalıdır.

Qayıq daşıyıcısı

Silikon karbid vafli qayıq daşıyıcısı, yüksək gücü, korroziyaya davamlılığı və yaxşı struktur sabitliyi kimi üstünlüklərə malik olan silikon vafliləri düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur.

Soba Qapısı

Silikon karbid örtükləri və ya komponentləri soba qapısının daxili hissəsində də istifadə edilə bilər.

Qızdırıcı element

Silikon karbid qızdırıcı elementləri yüksək temperatur, yüksək güc üçün uyğundur və temperaturu tez bir zamanda 1000 ℃-dən yuxarı qaldıra bilər.

SiC Layner

Soba borularının daxili divarını qorumaq üçün istifadə olunur, istilik enerjisi itkisini azaltmağa və yüksək temperatur və yüksək təzyiq kimi sərt mühitlərə tab gətirməyə kömək edə bilər.