Horizontal SiC Gofret Daşıyıcısı

Semisonductorun sövdələşməsiÜfüqi sic wafer daşıyıcısı/ Boat, son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsinə (təxminən 2700 ° C) varÜfüqi sic wafer daşıyıcısı/ Qayıq, deformasiya və ya deqradasiya olmadan yüksək temperatur mühitində sabit işləmək. Bu xüsusiyyət, xüsusən də yüksək temperaturu ilkinlik və ya kimyəvi buxarlanma (CVD) kimi proseslərdə yarımkeçirici istehsal prosesində xüsusilə vacibdir.

BuÜfüqi sic wafer daşıyıcısı/ Qayıq, vafli daşıyıcısının aparılması prosesində aşağıdakı rolları xüsusi olaraq oynayır:

Silikon vafli daşıma və dəstək: Horizontal SiC Wafer Boat əsasən yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı silikon vafliləri daşımaq və dəstəkləmək üçün istifadə olunur. Bütün emal prosesi boyunca yaxşı vəziyyətdə və sabitlikdə qalmasını təmin etmək üçün bir neçə silikon vafli möhkəm şəkildə birləşdirə bilər.

Vahid istilik və soyutma: SiC-nin yüksək istilik keçiriciliyinə görə, Wafer Boat bütün silikon vaflilərə istiliyi effektiv şəkildə bərabər paylaya bilir. Bu, yüksək temperaturda emal zamanı silikon vaflilərin vahid qızdırılmasına və ya soyumasına nail olmağa kömək edir, emal prosesinin ardıcıllığını və etibarlılığını təmin edir.

Çirklənmənin qarşısını al: SiC-nin kimyəvi sabitliyi ona yüksək temperaturlu və aşındırıcı qaz mühitlərində yaxşı işləməyə imkan verir, beləliklə, silikon vaflilərin mümkün çirkləndiricilərə və ya reaktivlərə məruz qalmasını azaldır, silikon vaflilərin saflığını və keyfiyyətini təmin edir.

Əslində, Horizontal SiC Wafer Boat unikal məhsul xüsusiyyətlərinə görə yuxarıda göstərilən rolu oynaya bilər:

Əla kimyəvi sabitlik: SiC materialı müxtəlif kimyəvi mühitlərə əla korroziyaya davamlıdır. Aşındırıcı qazların və ya mayelərin emalı prosesində SiC Wafer Boat kimyəvi korroziyaya effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər və silikon vafliləri çirklənmədən və ya zədələnmədən qoruya bilər.

Yüksək istilik keçiriciliyi: SIC-nin yüksək istilik keçiriciliyi, operator prosesində istiliyi bərabər paylamağa və istilik yığımını azaltmağa kömək edir. Bu, dəqiq işləmə zamanı temperatur nəzarətinin düzgünlüyünü yaxşılaşdıra bilər və silikon wafters vahid istilik və ya soyudulmasını təmin edir.

Aşağı istilik genişlənmə əmsalı: SIC materialının aşağı istilik genişlənməsi əmsalı, sic vafli qayığının ölçülü dəyişikliyinin temperatur dəyişiklikləri zamanı çox az olduğu deməkdir. Bu, yüksək temperatur emalı zamanı ölçülü sabitliyi qorumağa kömək edir və istilik genişlənməsinin səbəb olduğu silikon gofretsin deformasiyasının və ya mövqeyi yerdəyişməsinin qarşısını alır.

Horizontal SiC Gofret Daşıyıcısının əsas fiziki xassələri:

Yarımkeçirici istehsal sexini müqayisə edin:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: