Xəbərlər

CVD TAC örtük nədir? - Veteksemi

Hamımızın bilinən kimi,tantal karbid (TaC)3880 ° C-ə qədər ərimə nöqtəsi var, yüksək mexaniki güc, sərtlik, istilik şok müqaviməti; Ammonyak, hidrogen, silikon ehtiva edən buxar üçün yaxşı kimyəvi inertlik və istilik sabitliyi.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Mikroskopik kəsikdə tantal karbid örtüyü


CVD TAC örtükləri, kimyəvi buxar çökmə (CVD).tantal karbid (TaC) örtüyü, bir substratda (adətən qrafit) yüksək sıxlıqlı və davamlı örtük yaratmaq üçün bir prosesdir. Bu üsul yüksək temperaturda substratın səthinə TaC-nin çökdürülməsini nəzərdə tutur, nəticədə əla istilik sabitliyi və kimyəvi müqavimətə malik bir örtük əldə edilir.


CVD TAC örtüklərinin əsas üstünlükləri bunlardır:


● Son dərəcə yüksək istilik sabitliyi: Tantalum karbid örtüyü 2200 ° C-dən çox olan temperaturdan dözə bilər.


●  Kimyəvi müqavimət: CVD TAC örtüyü hidrogen, ammonyak və silikon buxarı kimi sərt kimyəvi maddələrə təsir göstərə bilər.


● Güclü bir yapışma: TAC örtüyü, delaminasiya olmadan uzunmüddətli qorunmanı təmin edir.


● Yüksək saflıq: Yarımkeçirici tətbiqlər üçün ideal hala gətirərək çirkləri minimuma endirir.


Tantal karbid örtüyünün fiziki xassələri
TAC örtük sıxlığı
14.3 (g / cm³)
Xüsusi emissiya
0.3
Termal genişləndirmə əmsalı
6.3*10-6/K
Kaplama Sərtliyi (HK)
2000 hk
Müqavimət
1 × 10-5Ohm * sm
İstilik sabitliyi
<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir
-10~-20um
Kaplama qalınlığı
≥20um tipik dəyər (35um±10um)


Bu örtüklər xüsusilə yüksək davamlılıq və yarımkeçiricilərin istehsalı və yüksək temperaturlu sənaye prosesləri kimi ekstremal şəraitə qarşı müqavimət tələb edən mühitlər üçün uyğundur.


Sənaye istehsalı, qrafitdə (karbon-karbon kompoziti) TaC örtüyü ilə örtülmüş materiallar çox güman ki, ənənəvi yüksək təmizlikli qrafiti, pBN örtüyü, SiC örtük hissələri və s. əvəz edə bilər. Bundan əlavə, aerokosmik sahədə TaC yüksək temperaturda oksidləşmə əleyhinə vasitə kimi istifadə etmək üçün böyük potensiala malikdir. və anti-ablation örtük və geniş tətbiq perspektivlərinə malikdir. Bununla belə, qrafitin səthində sıx, vahid, qabarıq olmayan TaC örtüyünün hazırlanmasına nail olmaq və sənayedə kütləvi istehsalı təşviq etmək üçün hələ də bir çox problemlər var.


Bu müddətdə, örtüklərin qorunması mexanizmini araşdıraraq, istehsal prosesini yeniləmək və ən yaxşı xarici səviyyədə rəqabət üçüncü nəsil üçün çox vacibdirYarımkeçirici kristal böyümə və epitaxy.




VeTek Semiconductor, CVD Tantal Carbide Coating məhsullarının peşəkar Çin istehsalçısıdır və TaC Kaplama təmizliyimiz 5ppm-dən aşağıdır, müştəri tələblərinə cavab verə bilər. VeTekSemi əsas CVD TaC örtüklü məhsulları daxildir CVD TAC örtüyü çubuq, CVD TaC örtüklü vafli daşıyıcı, CVD TAC örtük daşıyıcısıCVD TaC örtük örtüyü,  CVD TAC örtük üzüyü. Vetek yarımkeçiricisi yarımkeçirici sənayesi üçün müxtəlif örtük məhsulları üçün qabaqcıl həllər təqdim etməyə can atır. Vetek yarımkeçiricisi səmimiyyətlə Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağa ümid edir.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Mob / WhatsApp: + 86-180 6922 0752

E-poçt: anny@veteksemi.com

Əlaqədar Xəbərlər
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept