CVD TAC örtükləri

Vetek yarımkeçiricisi, Çin aparıcı CVD Tac örtük məhsulları istehsalçısıdır. Uzun illər, CVD Tac örtük örtüyü, CVD Tac örtüklü üzüyü kimi müxtəlif CVD Tac örtüklü məhsullara diqqət yetiririk. Vetek yarımkeçisi xüsusi məhsul xidmətləri və qənaətbəxş məhsul qiymətlərini dəstəkləyir və sonrakı məsləhətləşməni gözləyir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

CVD TAC örtüyü (Kimyəvi buxar çöküntü tantalum karbid örtüyü) əsasən tantal karbiddən (TAC) ibarət bir örtük məhsuludur. TAC örtükləri son dərəcə yüksək sərtliyə, aşınma müqaviməti və yüksək temperatur müqavimətinə malikdir, əsas avadanlıq komponentlərini qorumaq və proses etibarlılığını yaxşılaşdırmaq üçün ideal bir seçim halına gətirir. Yarımkeçirici emalda əvəzolunmaz bir materialdır.

CVD TAC örtük məhsulları ümumiyyətlə reaksiya otaqlarında, vafli daşıyıcılarında və ayırma avadanlığı, onlarda aşağıdakı açar rollarda istifadə olunur.

CVD TAC örtüyü tez-tez substratlar, divar panelləri və istilik elementləri kimi reaksiya otaqlarının daxili komponentləri üçün istifadə olunur. Əla yüksək temperatur müqaviməti ilə birlikdə yüksək temperatur, aşındırıcı qazların və plazmanın eroziyasına təsirli şəkildə müqavimət göstərə bilər, bununla da avadanlıqın xidmət müddətini səmərəli şəkildə uzadır və prosesin sabitliyini və məhsul istehsalının saflığını təmin edir.

Bundan əlavə, tac örtülmüş vafli daşıyıcıları (kvars qayıqları, qurğular və s. Kimi istilik müqaviməti və kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət göstərilmişdir. Wafer Carrier, yüksək temperaturda vaffer üçün etibarlı dəstək verə bilər, vafli çirklənmənin və deformasiyanın qarşısını alır və bununla da ümumi çip məhsulunu yaxşılaşdıra bilər.

Üstəlik, Vetek yarımkeçiricinin TAC örtüyü də müxtəlif tac örtükləri, bu emal sistemlərində plazma etchers, kimyəvi buxar çökən sistemləri və s. Kimi müxtəlif taklama və nazik film çöküntüsü avadanlıqlarında geniş istifadə olunur, bu emal sistemlərində, CVD TAC örtükləri yüksək enerji ion bombardmanı və güclü kimyəvi reaksiyalara tab gətirə bilər və bununla da prosesin düzgünlüyünü və təkrarlanmasını təmin edir.

Xüsusi tələbləriniz nə olursa olsun, biz sizin CVD TAC Coating ehtiyaclarınız üçün ən yaxşı həlli uyğunlaşdıracağıq və istənilən vaxt məsləhətləşmənizi gözləyirik.