CVD TAC örtüyü çubuq

TAC örtükləri fırlanma susepçisi, CVD və MBE kimi yüksək temperatur çöküntü proseslərində əsas rol oynayır və yarımkeçirici istehsalda vafli emalı üçün vacib bir komponentdir. Onların arasında,Tac örtüklüMükəmməl yüksək temperatur müqaviməti, korroziya müqavimətinə və kimyəvi sabitliyə malikdir, bu, vaffer emal zamanı yüksək dəqiqlik və yüksək keyfiyyəti təmin edir.

CVD TAC örtüyü çubuğu ümumiyyətlə TAC örtüylərindən ibarətdir vəqrafitsubstrat. Onların arasında TAC, 3880 ° C-ə qədər ərimə nöqtəsi olan yüksək ərimə nöqtəsidir. Bu, son dərəcə yüksək sərtliyə malikdir (2000 HV-yə qədər olan vickers sərtliyi), kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət və güclü oksidləşmə müqaviməti. Buna görə TAC örtüyü yarımkeçirici emal texnologiyasında əla yüksək temperatur davamlı bir materialdır.

Qrafit substratının yaxşı istilik keçiriciliyinə malikdir (istilik keçiriciliyi təxminən 21 w / m · k) və əla mexaniki sabitlikdir. Bu xarakterik qrafitin ideal bir örtüyə çevrildiyini müəyyənləşdirirsubstrat.

CVD TAC örtüyü, əsasən aşağıdakı yarımkeçirici emal texnologiyalarında istifadə olunur:

Dafitaranlıq: Vetek yarımkeçirici CVD TAC örtükləri, əla yüksək temperatur müqaviməti (3880 ° C-ə qədər ərimə) və korroziya müqavimətinə malikdir, buna görə yüksək temperaturlu buxarlanma (CVD) və epitaxial böyümə kimi əsas vafli istehsal proseslərində tez-tez istifadə olunur. Məhsulun əla quruluşlu sabitliyi ilə birlikdə ultra yüksək temperatur mühitində birləşdirilmiş, avadanlıqların uzun müddət uzun müddət sabit şəkildə işləyə biləcəyini və bununla da istehsalın səmərəliliyini və keyfiyyətini səmərəli şəkildə yaxşılaşdırmasını təmin edir.

Epitaxial böyümə prosesi: Epitaksial proseslərdəKimyəvi buxarlanma (CVD)və molekulyar şüa epitaxiyası (MBE), CVD Tac örtüyü, daşımaqda əsas rol oynayır. Onun TAC örtüyü yalnız həddindən artıq temperatur və aşındırıcı atmosferin altındakı materialın yüksək saflığını qoruya bilməz, həm də istehsal prosesinin və məhsul ardıcıllığının düzgünlüyünü təmin edən reaktorun korroziyasına və reaktorun korroziyasına da təsirli ola bilər.

Çinin aparıcı CVD TAC örtüklü istehsalçı və lider olan Vetek yarımkeçiricisi avadanlıq və proses tələblərinə uyğun olaraq xüsusi məhsul və texniki xidmətlər göstərə bilər. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağınıza ürəkdən ümid edirik.

Tantalum karbid (TAC) bir mikroskopik bir kəsişmə bölməsi：

TAC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri：

Yarımkeçirici CVD TAC örtüklü dükanlar: