Məsaməli tantal karbid: SIC kristal böyüməsi üçün yeni bir nəsil material

Gücləndirici SIC substratlarının tədricən kütləvi istehsalı ilə, prosesin sabitliyi və təkrarlanması üzrə daha yüksək tələblər yerləşdirilir. Xüsusilə, qüsurların nəzarəti, sobada istilik sahəsində bir az düzəliş və ya sürüşmə kristaldakı dəyişikliklərə və ya qüsurların artmasına səbəb olacaqdır.

Sonrakı mərhələdə "böyüyən daha sürətli, daha qalın və daha uzun" problemlə qarşılaşacağıq. Nəzəriyyə və mühəndisliyin yaxşılaşdırılmasına əlavə olaraq, daha inkişaf etmiş istilik sahəsi materialları dəstək kimi lazımdır. Qabaqcıl kristallar böyütmək üçün qabaqcıl materiallardan istifadə edin.

Qrafit, məsaməli qrafit və tantalum karbid tozu kimi materialların düzgün istifadə edilməməsi, karbon daxilolmaları kimi qüsurlara səbəb olacaqdır. Bundan əlavə, bəzi tətbiqlərdə məsaməli qrafitin keçiriciliyi kifayət deyil və keçiriciliyi artırmaq üçün əlavə dəliklər açılmalıdır. Yüksək keçiricilik olan məsaməli qrafit, emal, toz itkisi və etching kimi çətinliklərlə üzləşir.

Bu yaxınlarda VeTek Semiconductor yeni nəsil SiC kristal böyüməsi istilik sahəsi materiallarını təqdim etdi,məsaməli tantal karbid, dünyada ilk dəfə.

Tantalum karbidinin yüksək gücü və sərtliyi var və onu məsaməli etmək daha da çətin olur. Böyük məsaməsizlik və yüksək saflıqla məsaməli tantalum karbidini düzəltmək daha da çətindir. Vetek yarımkeçiricisi, böyük məsaməsizliyi olan məsaməli mühərrikli tantallı bir tantal tantum,maksimum məsaməsizliklə 75%, beynəlxalq aparıcı səviyyəyə çatır.

Bundan əlavə, qaz fazası komponenti filtrasiya, yerli temperatur gradientlərini tənzimləmək, material axını istiqamətləndirən, sızma və s. Fərqli yerli axın keçiriciliyi ilə komponentlər yaratmaq üçün başqa bir möhkəm tantal karbid (sıx) və ya vetek yarımkeçiricinin tontalum karbid örtüyü ilə birləşdirilə bilər; Bəzi komponentlər yenidən istifadə edilə bilər.

Texniki parametrlər

Məsaməlik ≤75% Beynəlxalq lider

Forma: lopa, silindrik Beynəlxalq aparıcı

Uniformalılıq

Vetek yarımkeçiricisi gözenekli tantal karbid (TAC) aşağıdakı məhsul xüsusiyyətlərinə malikdir

● Çox yönlü tətbiqlər üçün məsaməlilik

TaC-nin məsaməli strukturu çoxfunksiyalılığı təmin edir və onun xüsusi ssenarilərdə istifadəsinə imkan verir, məsələn:

Qaz diffuziyası: Yarımkeçirici proseslərdə qaz axınının dəqiq idarə edilməsini asanlaşdırır.

filtrasiya: Yüksək effektiv hissəcik ayrılmasını tələb edən mühit üçün idealdır.

Nəzarət olunan istilik yayılması: Ümumi istilik tənzimləməsini gücləndirərək yüksək temperatur sistemlərində istiliyi səmərəli şəkildə idarə edir.

● Həddindən artıq yüksək temperaturlu müqavimət

Təxminən 3,880 ° C olan ərimə nöqtəsi ilə, ultra yüksək temperaturlu tətbiqlərdə tantal carbide üstündür. Bu müstəsna istilik müqaviməti, əksər materialların uğursuz olduğu şəraitdə ardıcıl performans təmin edir.

●   Üstün Sərtlik və Davamlılıq

Almaza bənzər Mohs sərtlik şkalası üzrə 9-10-cu yerləri tutan Porous TaC hətta həddindən artıq stress altında belə mexaniki aşınmaya qarşı misilsiz müqavimət nümayiş etdirir. Bu davamlılıq onu aşındırıcı mühitlərə məruz qalan tətbiqlər üçün ideal edir.

●   Müstəsna Termal Sabitlik

Tantal karbid həddindən artıq istidə struktur bütövlüyünü və performansını saxlayır. Onun diqqətəlayiq istilik sabitliyi yarımkeçiricilərin istehsalı və aerokosmik kimi yüksək temperaturda ardıcıllıq tələb edən sənayelərdə etibarlı işləməyi təmin edir.

● Əla istilik keçiriciliyi

Məsaməli təbiətinə baxmayaraq, Məsaməli TaC səmərəli istilik ötürülməsini təmin edir və bu, sürətli istilik yayılmasının vacib olduğu sistemlərdə istifadəyə imkan verir. Bu xüsusiyyət materialın istilik tələb edən proseslərdə tətbiq qabiliyyətini artırır.

● Ölçülü sabitlik üçün aşağı istilik genişlənməsi

Aşağı istilik genişlənmə əmsalı ilə Tantal Karbid temperatur dalğalanmalarının yaratdığı ölçü dəyişikliklərinə müqavimət göstərir. Bu xüsusiyyət istilik gərginliyini minimuma endirir, komponentlərin ömrünü uzadır və kritik sistemlərdə dəqiqliyi qoruyur.

Yarımkeçirici istehsalında, məsaməli tantal karbid (TAC) aşağıdakı xüsusi açar rolları oynayır

● Plazma etching və CVD kimi yüksək temperaturda proseslərdə, Vetek yarımkeçiricisi məsaməli tantal tantalum karbidləri tez-tez emal avadanlığı üçün qoruyucu örtük kimi istifadə olunur. Bu, TAC örtüyünün güclü korroziya müqaviməti və yüksək temperaturlu sabitliyinə görə. Bu xüsusiyyətlər reaktiv qazlara və ya ekstremal temperaturlara məruz qalan səthləri effektiv şəkildə qoruyur və bununla da yüksək temperaturlu proseslərin normal reaksiyasını təmin edir.

● Diffuziya proseslərində məsaməli tantal karbid, materialların yüksək temperaturlu proseslərdə qarışdırılmasının qarşısını almaq üçün effektiv diffuziya maneəsi kimi xidmət edə bilər. Bu xüsusiyyət tez-tez ion implantasiyası və yarımkeçirici gofretlərin saflıq idarəsi kimi dopantların yayılmasına nəzarət etmək üçün istifadə olunur.

●  VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbidinin məsaməli strukturu dəqiq qaz axınına nəzarət və ya filtrasiya tələb edən yarımkeçirici emal mühitləri üçün çox uyğundur. Bu prosesdə Porous TaC əsasən qaz filtrasiyası və paylanması rolunu oynayır. Onun kimyəvi təsirsizliyi filtrasiya prosesində heç bir çirkləndiricinin daxil olmamasını təmin edir. Bu, emal edilmiş məhsulun təmizliyinə effektiv zəmanət verir.

VeTek Semiconductor haqqında

Çin peşəkar məsaməli tantal karbid istehsalçısı, tədarükçüsü, fabriki olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün fərdi xidmətlərə ehtiyacınız olsun və ya Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı məsaməli Tantal Karbid almaq istəsəniz, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.

Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsaMəsaməli tantal karbid、Tantalum karbid örtülmüş məsaməli qrafitvə digərTantal karbid örtüklü komponentlər, Xahiş edirəm bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

☏☏☏Mob / WhatsApp: + 86-180 6922 0752

☏☏☏E-poçt: anny@veteksemi.com