CVD SIC Örtük Barel Suseptor

Epitaxy böyüməsi tək bir kristal bir film (tək kristal qat) bir kristal substratda (substrat) böyüdü. Bu tək kristal filmi bir epilayer adlanır. Epilayer və substrat eyni materialdan hazırlandıqda, homoepitaxial böyümə deyilir; Fərqli materiallardan hazırlandıqda, heteroepitaxial böyümə deyilir.

Epitaxial reaksiya otağının quruluşuna görə iki növ var: üfüqi və şaquli. Şaquli epitaxial sobanın susepçisi əməliyyat zamanı davamlı olaraq dönər, buna görə də yaxşı bir vahidlik və böyük istehsal həcminə malikdir və əsas epitaxial böyümə həllinə çevrildi. Vetek yarımkeçiricisi EPI üçün SIC örtülmüş qrafit barelinin istehsal mütəxəssisidir.

MOCVD və HVPE kimi epitaksial böyümə avadanlıqlarında, Sic örtüklü qrafit barel barel sümükləri, böyümə prosesi zamanı sabit qalmasını təmin etmək üçün gofreti düzəltmək üçün istifadə olunur. Wafer barel tipli suseptora yerləşdirilib. İstehsal prosesi davam etdikcə, susuzlaşdırıcı vafferi, vaffin səthi reaksiya qazının axınına məruz qalır, nəticədə vahid epitaksial böyüməyə nail olmaq üçün davamlı olaraq dönür.

CVD SIC örtüklü barel tipi suseptor sxematik

Epitaxial böyümə sobası, korroziv qazlarla dolu yüksək temperaturlu bir mühitdir. Belə bir sərt bir mühiti aradan qaldırmaq üçün Vetek yarımkeçiricisi, CVD metodu vasitəsilə qrafit barel suseptoruna bir təbəqə qatını əlavə etdi

Struktur xüsusiyyətləri:

●  Vahid temperaturun paylanması: Barel şəklində quruluş istilik daha bərabər paylaya bilər və yerli həddindən artıq istiləşmə və ya soyutma səbəbindən vferin stress və ya deformasiyasından çəkə bilər.

●  Hava axını pozğunluğunu azaldın: Barel formalı susepçinin dizaynı, reaksiya otağında qazın yayılmasını optimallaşdıra bilər, qazın düz və vahid epitaksial təbəqə yaratmağa kömək edən qazın səthi üzərində rəvan axmasına imkan verən reaksiya otağının yayılmasını optimallaşdıra bilər.

●  Fırlanma mexanizmi: Barel şəklində suseptorun fırlanma mexanizmi epitaxial təbəqənin qalınlığının ardıcıllıqlarını və maddi xüsusiyyətlərini yaxşılaşdırır.

●  İri istehsal: Barel formalı suserativ, geniş miqyaslı kütləvi istehsal üçün uyğun olan 200 mm və ya 300 mm-lik gofret kimi böyük voberlər daşıyarkən struktur sabitliyini qoruya bilər.

Vetek Yarımkeçirici CVD SIC örtüklü barel tipli susereptor, süzünçəliyə aşındırıcı qaz mühitində uzun müddət işləməyə və yaxşı istilik keçiriciliyi və sabit mexaniki dəstəyə sahibdir. Daferin bərabər şəkildə qızdırılacağını və dəqiq epitaksial böyüməyə nail olmasını təmin edin.

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri
Əmlak	Tipik dəyər
Kristal quruluşu	FCC β Faza Polyatorstallin, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq	3.21 g / cm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500g yük)
Taxıl ölçüsü	2 ~ 10mm
Kimyəvi saflıq	99.99995%
İstilik qabiliyyəti	640 j · kq-1· K-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Çevik güc	415 MPA RT 4 nöqtəli
Gəncin modulusu	430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
İstilikkeçirmə	300w · m-1· K-1
Termal genişləndirilməsi (CTE)	4.5 × 10-66K-1

Vetek yarımkeçirici CVD SIC örtüklü barel tipi suseptor