Tantalum karbid örtülmüş məsaməli qrafit

VeTek yarımkeçirici Tantal Karbidlə örtülmüş məsaməli qrafit, yüksək temperatura davamlılığı (təxminən 3880°C ərimə nöqtəsi), əla istilik dayanıqlığı, mexaniki dayanıqlığı və yüksək temperaturlu mühitlərdə kimyəvi təsirsizliyi sayəsində silisium karbid (SiC) kristalına çevrilmişdir. Böyümə prosesində əvəzolunmaz material. Xüsusilə, onun məsaməli quruluşu üçün bir çox texniki üstünlüklər təmin edirKristal böyümə prosesi. 

Aşağıdakı ətraflı bir təhlildirTantalum karbid örtülmüş məsaməli qrafitəsas rol:

● Qaz axınının səmərəliliyini artırın və proses parametrlərinə dəqiq nəzarət edin

Məsaməli qrafitin mikroporlu quruluşu reaksiya qazlarının vahid paylamasını (karbid qazı və azot) vahid paylamasını təşviq edə bilər, bununla da reaksiya zonasında atmosferi optimallaşdırır. Bu xarakterik, yerli qaz yığılması və ya turbulentlik problemlərindən səmərəli ola bilər, SIC kristallarının böyümə prosesi boyunca bərabər olduğunu və qüsurlu dərəcəsi çox azaldılmasını təmin edə bilər. Eyni zamanda, məsaməli quruluş, həmçinin büllur böyümə nisbətlərini optimallaşdıran və məhsul tutarlılığını yaxşılaşdıran qaz təzyiqinin gradientlərinin dəqiq tənzimlənməsinə imkan verir.

●  Termal stress yığılmasını azaldın və kristal bütövlüyünü yaxşılaşdırın

Yüksək temperatur əməliyyatlarında məsaməli tantal karbidinin (TaC) elastik xassələri temperatur fərqləri nəticəsində yaranan termal gərginlik konsentrasiyalarını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Bu qabiliyyət SiC kristallarının yetişdirilməsi zamanı xüsusilə vacibdir, termal çatların əmələ gəlməsi riskini azaldır, beləliklə, kristal strukturunun bütövlüyünü və emal sabitliyini yaxşılaşdırır.

●  İstilik paylanmasını optimallaşdırın və enerji istifadəsi səmərəliliyini artırın

Tantalum karbid örtüyü nəinki məsaməli qrafit daha yüksək istilik keçiriciliyini vermir, lakin məsaməli xüsusiyyətləri də reaksiya sahəsi daxilində yüksək ardıcıl bir temperatur paylanmasını təmin edərək istiliyi bərabər paylaya bilər. Bu vahid istilik idarəetmə, yüksək saflı SIC kristalının istehsal edilməsi üçün əsas şərtdir. İstilik səmərəliliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra, enerji istehlakını azaldır və istehsal prosesini daha qənaətli və səmərəli hala gətirə bilər.

●  Korroziyaya qarşı müqavimətini artırın və komponent həyatını genişləndirin

Yüksək temperaturlu mühitlərdə qazlar və yan məhsullar (məsələn, hidrogen və ya silikon karbid buxarı fazası) materiallara ağır korroziyaya səbəb ola bilər. TAC örtüyü, məsaməli qrafit üçün əla bir kimyəvi bir maneə təmin edir, komponentin korroziyasının nisbətini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və bununla da xidmət həyatını uzadır. Bundan əlavə, örtük, qaz nəqliyyatı xüsusiyyətlərinin təsirlənməsini təmin edərək, məsaməli quruluşun uzunmüddətli sabitliyini təmin edir.

●  Çirklərin yayılmasını effektiv şəkildə bloklayır və kristal saflığını təmin edir

Örtülməmiş qrafit matrisi az miqdarda çirkləri buraxa bilər və TaC Örtüyü bu çirklərin yüksək temperatur mühitində SiC kristalına yayılmasının qarşısını almaq üçün izolyasiya maneəsi kimi çıxış edir. Bu qoruyucu effekt kristal təmizliyini yaxşılaşdırmaq və yüksək keyfiyyətli SiC materialları üçün yarımkeçirici sənayenin ciddi tələblərinə cavab vermək üçün çox vacibdir.

VeTek yarımkeçiricinin tantal karbidlə örtülmüş məsaməli qrafiti qaz axınını optimallaşdırmaq, istilik gərginliyini azaltmaq, istilik vahidliyini artırmaq, korroziyaya qarşı müqaviməti artırmaq və SiC Crystal Growth prosesi zamanı çirklərin yayılmasını maneə törətməklə prosesin səmərəliliyini və kristal keyfiyyətini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır. Bu materialın tətbiqi istehsalda yüksək dəqiqliyi və təmizliyi təmin etməklə yanaşı, həm də əməliyyat xərclərini xeyli azaldır və onu müasir yarımkeçirici istehsalında mühüm sütuna çevirir.

Daha da əhəmiyyətlisi, Veteksemi çoxdan, yarımkeçirici istehsal sənayesində qabaqcıl texnologiya və məhsul həllərini təmin etmək və xüsusi Tantalum Carbide örtülmüş məsaməli qrafit məhsul xidmətlərini dəstəkləməkdədir. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağımı səmimiyyətlə gözləyirik.

Tantal karbid örtüyünün fiziki xassələri

VeTek yarımkeçirici tantal karbid örtüklü məsaməli qrafit istehsal sexləri