Məsaməli tantal karbid

Vetek yarımkeçiricisi gözenekli tantalum karbid (TAC), tantal və karbonun xüsusiyyətlərini birləşdirən yüksək effektiv keramika materialıdır. Onun məsaməli quruluşu yüksək temperatur və ekstremal mühitdə xüsusi tətbiqlər üçün çox uyğundur. TAC, əla sərtliyi, istilik sabitliyini və kimyəvi müqavimətini, kimyəvi bir müqavimətini birləşdirir, yarımkeçirici emalda ideal bir material seçimi edir.

Məsaməli Tantalum Karbide (TAC), Tantalum, karbon atomları olan güclü kimyəvi bir bond meydana gətirən və tantal həddindən artıq yüksək davamlılığı və aşınma müqavimətini verən tantal (TA) və karbon (c) ibarətdir. Məsaməli TAC-ın məsaməli quruluşu materialın istehsal prosesi zamanı yaradılır və məsaməsizliyi xüsusi tətbiq ehtiyaclarına görə idarə edilə bilər. Bu məhsul ümumiyyətlə istehsal olunurKimyəvi buxarlanma (CVD)Məsamə ölçüsünə və paylanmasının dəqiq nəzarətini təmin etmək üsulu.

Tantal karbidin molekulyar quruluşu

Vetek yarımkeçiricisi gözenekli tantal karbid (TAC) aşağıdakı məhsul xüsusiyyətlərinə malikdir

● Ütarçı: Məsaməli quruluş, qaz diffuziyası, filtrasiya və ya idarə olunan istilik yayılması da daxil olmaqla xüsusi tətbiq ssenarilərində fərqli funksiyaları verir.

● Yüksək ərimə nöqtəsi: Tantalum karbidində son dərəcə yüksək temperatur mühitləri üçün uyğun olan təxminən 3,880 ° C-nin son dərəcə yüksək bir ərimə nöqtəsi var.

● Əla sərtlik: Məsaməli TAC, Diamond'a bənzər Mohs sərtlik miqyasında təxminən 9-10 həddindən artıq yüksək sərtliyə malikdir. və ekstremal şəraitdə mexaniki aşınmaya qarşı çıxa bilər.

● İstilik sabitliyi: Tantalum karbid (TAC) materialı yüksək temperatur mühitində sabit qala bilər və güclü istilik sabitliyinə malikdir, yüksək temperatur mühitində ardıcıl performansını təmin edir.

● Yüksək istilik keçiriciliyi: Üstünlüyünə baxmayaraq, məsaməli tantalum karbidinin hələ də isti istilik köçürməsini təmin etmək, yaxşı istilik keçiriciliyini saxlayır.

● Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı: Tantalum karbidinin aşağı termal genişləndirilməsi əmsalı (TAC) materialın əhəmiyyətli temperatur dalğalanması altında ölçülür və istilik stresinin təsirini azaldır.

TAC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri

Yarımkeçirici istehsalında, məsaməli tantal karbid (TAC) aşağıdakı xüsusi əsas rolu oynayırs

Kimi yüksək temperaturlu proseslərdəplazma etchingvə CVD, Vetek yarımkeçirici məsaməli tantal tantalum karbid tez-tez emal avadanlığı üçün qoruyucu örtük kimi istifadə olunur. Bu, güclü korroziyaya qarşı müqavimətinə görəTac örtüklüvə onun yüksək temperaturlu sabitliyi. Bu xüsusiyyətlər reaktiv qazlara və ya ekstremal temperaturlara məruz qalan səthləri effektiv şəkildə qoruyur və bununla da yüksək temperaturlu proseslərin normal reaksiyasını təmin edir.

Diffuziya proseslərində məsaməli tantal karbid, materialların yüksək temperaturlu proseslərdə qarışdırılmasının qarşısını almaq üçün təsirli bir yayılma maneəsi kimi xidmət edə bilər. Bu xüsusiyyət tez-tez ion implantasiyası və yarımkeçirici gofretlərin saflıq idarəsi kimi dopantların yayılmasına nəzarət etmək üçün istifadə olunur.

Vetek yarımkeçirici məsaməli mühərrikli tantum karbidinin məsaməli quruluşu, dəqiq qaz axınına nəzarət və ya filtrasiya tələb edən yarımkeçirici emal mühitləri üçün çox uyğundur. Bu müddətdə məsaməli TAC əsasən qaz filtrasiyası və paylanması rolunu oynayır. Onun kimyəvi inertliyi filtrasiya prosesi zamanı heç bir çirkləndiricilərin tətbiq olunmamasını təmin edir. Bu, işlənmiş məhsulun saflığına təsir göstərir.

Tantalum karbid (TAC) bir mikroskopik bir kəsişmə bölməsi