Pecvd üçün qrafit qayığı

Tətbiqi: Pecvd üçün Veteksemik qrafit gəmisi plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökmə prosesində əsas komponentdir. Xüsusi olaraq yüksək keyfiyyətli silikon nitridi, silikon oksid və digər nazik filmlər, mürəkkəb yarımkeçiricilər və ekran paneli substratları üzərində yüksək keyfiyyətli silikon oksidi və digər incə filmlər üçün hazırlanmışdır. Onun performansı birbaşa film vahidliyini, emal sabitliyini və istehsal xərclərini müəyyənləşdirir.

Təmin edilə bilən xidmətlər: Müştəri tətbiqi ssenarisi təhlili, uyğun materiallar, texniki problemin həlli.

Şirkət Profili: Veteksemikonun 2 laboratoriyası, 20 illik maddi təcrübəsi olan mütəxəssislər qrupu, Ar-Ge və İstehsal, Test və Doğrulama Qabiliyyətləri olan bir mütəxəssislər qrupu var.

Ümumi məhsul haqqında məlumat

Məhsul işinin şərtləri

Əsas tətbiq sahələri

Pecvd əsas üstünlükləri üçün Veteksemicon qrafit gəmisi

1. Yüksək saflıq substratları, mənbədən çirklənməyə nəzarət

99.995% -dən çox olan yüksək saflıq qrafitindən istifadə etməkdə israr edirik, bu, 1600 ° C-nin davamlı bir əməliyyat mühitində də metal çirklərin çökməyəcəyini təmin etməsini təmin edir. Bu sərt material tələbi, yüksək keyfiyyətli silikon nitridi və ya silikon oksid filmlərini yatırmaq üçün ən əsas zəmanət verən daşıyıcı çirklənmənin səbəb olduğu boşalma performansının pozulmasından çəkinməyə bilər.

2. Proses vahidliyini təmin etmək üçün dəqiq istilik sahəsi və struktur dizaynı

Geniş maye simulyasiyası və prosesin ölçmə məlumatları vasitəsilə gəminin yuva bucağını, bələdçi dərinliyi və qaz axını yolu optimallaşdırdıq. Bu diqqətli struktur, reaktiv qazların vuletləri arasındakı vahid paylamasına imkan verir. Faktiki ölçmələr, tam yüklə, eyni dəstədəki gofretlər arasındakı genişliyin vahidliyinin vahidliyinin bərabərliyinin bərabər şəkildə idarə edilməsi, məhsul məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər.

3. Xüsusi proses korroziyasını həll etmək üçün xüsusi örtük həlləri

Fərqli müştərilərin fərqli proses qaz mühitini qarşılamaq üçün iki yetkin örtük variantını təklif edirik: pirolitik karbon və silikon karbid. Əsasən silikon nitridi yatırsan və hidrogen təmizliyindən istifadə etsəniz, sıx pirolitik karbon örtük hidrogen plazma eroziyasına əla müqavimət göstərə bilər. Prosesiniz flüor tərkibli təmizləyici qazları əhatə edirsə, o zaman yüksək sərtlik silikon karbid örtüyü daha yaxşı bir seçimdir. Qrafit gəmisinin xidmət həyatını adi örtülməmiş məhsulların üç dəfədən çox olan üç dəfədən çox olduğu üçün genişləndirə bilər.

4. Tez-tez temperatur dövrlərinə uyğunlaşan əla istilik şok sabitliyi

Unikal qrafit formulu və daxili möhkəmləndirmə qabırğası dizaynına görə, qrafit gəmilərimiz, PECVD prosesinin təkrar sürətli soyutma və istilik şoklarına tab gətirə bilər. Sərt ki, laboratoriya testlərində, otaq temperaturundan 800 ° C-ə qədər 500 sürətli istilik dövründən sonra qayığın fırlanma gücü tutma dərəcəsi 90% -i keçdi, istilik stresindən yaranan və istehsal davamlılığı və təhlükəsizliyini təmin edən çatlamağa mane olur.

5. Ekoloji zəncir yoxlama təsdiqlənməsi

Pecvd üçün Veteksemicon qrafit gəmisi 'ekoloji zəncirləmə yoxlanılması, istehsal üçün xammalın beynəlxalq standart sertifikatını keçdi və yarımkeçirici və yeni enerji sahələrində etibarlılığını və davamlılığını təmin etmək üçün bir sıra patentləşdirilmiş texnologiyalara sahibdir.

Ətraflı texniki xüsusiyyətlər, ağ sənədlər və ya nümunə test tənzimləmələri üçün, Veteksemikanın necə proses səmərəliliyinizi necə inkişaf etdirə biləcəyini araşdırmaq üçün texniki dəstək qrupumuzla əlaqə saxlayın.