TAC örtüyü nədir? - Vetek yarımkeçiricisi

TAC örtüyü (Tantalum karbid örtüyü) Kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) prosesi ilə istehsal olunan yüksək performanslı bir örtükdür. Tac örtüyünün ekstremal şəraitdə əla xüsusiyyətləri səbəbindən, xüsusilə yüksək temperatur və güclü aşındırıcı mühit tələb edən avadanlıq və komponentlərdə yarımkeçirici istehsal prosesində geniş istifadə olunur. TAC örtüyü ümumiyyətlə substratları (məsələn, qrafit və ya keramika kimi) yüksək temperatur, aşındırıcı qazlar və mexaniki aşınma ilə qorumaq üçün istifadə olunur.

TAC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri

Məhsul xüsusiyyətləri və üstünlüklər

● Son dərəcə yüksək istilik sabitliyi:

XÜSUSİYYƏTLİ Təsvir: TAC örtüklü 3880 ° C-dən çox ərimə nöqtəsi var və son dərəcə yüksək temperatur mühitində parçalanma və deformasiya olmadan sabitliyi qoruya bilər.

Üstünlük: Bu, CVD TAC örtükləri və TAC örtüklü suseptoru kimi yüksək temperaturlu yarımkeçirici avadanlıqların, xüsusən Aixtron G5 avadanlıqları kimi MOCVD reaktorlarında tətbiqlər üçün temperaturlu yarımkeçirici avadanlıqlarda əvəzolunmaz bir material halına gətirir.

● Əla korroziyaya qarşı müqavimət:

XÜSUSİYYƏTLİ TƏSVİRİ: TAC son dərəcə güclü kimyəvi inaktizə malikdir və xloridlər və flüoridlər kimi aşındırıcı qazların eroziyasına təsirli şəkildə müqavimət göstərə bilər.

Üstünlüklər: Yüksək korroziv kimyəvi maddələrlə əlaqəli yarımkeçirici proseslərdə, TAC örtükləri avadanlıq komponentlərini kimyəvi hücumdan qoruyur, xidmətin ömrünü uzadır və proses sabitliyini artırır, xüsusən silikon karbid vafli qayıq və digər əsas komponentlərin tətbiqində proses sabitliyini artırır.

● Əla mexaniki sərtlik:

XÜSUSİYYƏTLİ TƏSVİRİ: TAC örtüyünün sərtliyi 9-10 mohs qədər yüksəkdir, bu da mexaniki aşınma və yüksək temperatur stresinə davamlıdır.

Üstünlük: Yüksək sərtlik mülkiyyəti TAC örtüyünü yüksək köhnəlmə və yüksək stres mühitlərində istifadə üçün əlverişli hala gətirir, uzunmüddətli sabitlik və sərt şərtlərdə avadanlıqların etibarlılığını təmin edir.

● Aşağı kimyəvi reaktivlik:

XÜSUSİYYƏTLİ TƏSVİRİ ÜZRƏ TAM örtükləri yüksək temperatur mühitində aşağı reaktivliyi qoruyub saxlaya və reaktiv qazlarla lazımsız kimyəvi reaksiyalardan çəkinin.

Üstünlük: Bu, yarımkeçirici istehsal prosesində xüsusilə vacibdir, çünki bu, prosesin mühitinin təmizliyini və materialların yüksək keyfiyyətli çökməsini təmin edir.

Yarımkeçirici emalda TAC örtüyünün rolu

● Açar avadanlıq komponentlərini qorumaq:

Funksiya Təsviri: TAC örtüyü, ekstremal şəraitdə işləməli olan TAC örtülmüş suseptoru kimi yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarının əsas komponentlərində geniş istifadə olunur. TAC ilə örtüklə bu komponentlər uzun müddət yüksək temperatur və aşındırıcı qaz mühitində zədələnmədən işləyə bilər.

● Avadanlıqların ömrünü uzat:

Funksiya Təsviri: Aixtron G5 kimi MOCVD avadanlıqlarında TAC örtüyü avadanlıq komponentlərinin davamlılığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər və korroziya və aşınma səbəbindən avadanlıqların istismarına və dəyişdirilməsinə ehtiyacını azalda bilər.

● Prosesin sabitliyini artırın:

Funksiya Təsviri: Yarımkeçirici istehsalında, TAC örtüyü sabit bir yüksək temperatur və kimyəvi mühit təmin etməklə çökmə prosesinin vahidliyini və ardıcıllığını təmin edir. Bu, silikon epitaxy və gallium nitridi (gan) kimi epitaksial böyümə proseslərində xüsusilə vacibdir.

● Prosesin səmərəliliyini yaxşılaşdırın:

Funksiya Təsviri: Avadanlıqların səthindəki örtüyü optimallaşdıraraq, TAC örtükləri prosesin ümumi səmərəliliyini yaxşılaşdıra bilər, qüsur dərəcəsini azaldır və məhsul gəlirini artıra bilər. Bu, yüksək dəqiqlik, yüksək saflıq yarımkeçirici materialların istehsalı üçün vacibdir.

Yüksək istilik sabitliyi, əla korroziyaya qarşı müqavimət, mexaniki sərtlik və aşağı kimyəvi reaktivlik TAC örtükləri zamanı TAC örtükləri tərəfindən sərgilənən aşağı kimyəvi reaktivlik onu yarımkeçirici istehsal avadanlıq komponentlərini qorumaq üçün ideal bir seçim halına gətirir. Yarımkeçirmə sənayesinin yüksək temperatur, yüksək təmizlik və səmərəli istehsal proseslərinə tələbat artdıqca, TAC örtükləri, xüsusilə CVD Tac örtükləri, TAC örtülmüş Suseptor və Aixtron G5 ilə əlaqəli avadanlıq və proseslərdə geniş tətbiq perspektivləri var.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd, yarımkeçirici sənayesi üçün inkişaf etmiş örtük materiallarının aparıcı təminatçısıdır. Şirkətimiz sənaye üçün ən qabaqcıl həllərin inkişaf etdirilməsinə yönəldilmişdir.

Əsas məhsul təkliflərimizə daxildirCVD silikon karbid (sic) örtüklər, Tantal Carbide (Tac) örtükləri, Bulk SIC, SIC SIC, SIC tozları və yüksək təmizlikli SIC materialları, SIC örtülmüş qrafit suseptoru, əvvəlcədən qızdırma halqaları, Tac örtülmüş sayğac üzüyü, yarısı hissələri və s.

Vetek yarımkeçiricisi, yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul inkişaf həllərinin inkişaf etdirilməsinə diqqət yetirin.Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağınıza ürəkdən ümid edirik.