Məsaməli sic keramika chucks

Veteksemik tərəfindən təklif olunan məsaməli SIC keramika chucks yüksək təmizləyici məsaməli silikon karbiddən (SIC), bu keramika çucu, yüksək vakuum və temperatur şəraitində vahid qaz axınının, əla düzlük və istilik sabitliyini təmin edir. Qeyri-kontakt, hissəciksiz vaffer işləməsi kritik olduğu vakuum sıxma sistemləri üçün idealdır.

Ⅰ. Əsas material xüsusiyyətləri və performans faydaları

1. Əla istilik keçiriciliyi və temperatur müqaviməti

Silikon karbidi yüksək istilik keçiriciliyi təklif edir (120-200 w / m · k) və 1600 ° C-dən yuxarı işləmə temperaturuna tab gətirə bilər, plazma tithing, ion şüa emalı və yüksək temperaturlu çökmə prosesləri üçün idealdır.

Rol: Vahid istiliyinin yayılmasını təmin edir, vafleri çirkləndirir və proses vahidliyini artırır.

2. Üstün mexaniki güc və aşınma müqaviməti

SIC-nin sıx mikostrukturu, təkrar vafli yükləmə / boşalma / boşalma / sirrləmə və sərt proses mühitləri üçün vacib olan Chuck Formational Hardless (> 2000 HV) və mexaniki davamlılıq verir.

Rol: Ölçü sabitliyini və səth dəqiqliyini qoruyarkən Chuck'ın ömrünü uzadır.

3. Vahid vakuum paylanması üçün idarə olunan məsaməsizlik

Seramikanın incə tənzimlənən məsaməli quruluşu, minimal hissəcik çirklənməsi ilə etibarlı vaffer yerləşdirilməsini təmin edərək, vakuum əmzikini təmin edir.

Rol: Təmiz otağın uyğunluğunu artırın və zərərsiz vaffer emalını təmin edir.

4. Əla kimyəvi müqavimət

SIC-nin aşındırıcı qazları və plazma mühitinə inamsızlıq, reaktiv ion etching və ya kimyəvi təmizlik zamanı çirkini deqradasiyadan qoruyur.

Rol: İş vaxtı və təmizlik tezliyini azaldır, əməliyyat xərcini azaldır.

Ⅱ. Veteksemikonun özelleştirme və dəstək xidmətləri

Veteksemikonda, yarımkeçirici istehsalçıların tələbkar tələblərini ödəmək üçün xüsusi xidmətlər təqdim edirik:

● Xüsusi həndəsə və məsamə ölçüsü dizaynı: Müxtəlif ölçülü, qalınlıqlarda və avadanlıq xüsusiyyətləri və vakuum tələblərinə uyğun olaraq müxtəlif ölçülərdə və məsaməli sıxlıqlarda çek təklif edirik.

● Sürətli dönüşlü prototiping: R & D və pilot xətləri üçün qısa aparıcı vaxtlar və aşağı MOQ istehsal dəstəyi.

● Satışdan sonra etibarlı xidmət: Quraşdırma rəhbərliyindən ömrü boyu monitorinqə qədər uzunmüddətli performans sabitliyi və texniki dəstəyi təmin edirik.

Ⅲ. Proqramlar

● etching və plazma emalı avadanlığı

● ion implantasiyası və yumruq kameraları

● Kimyəvi mexaniki cilalanma (CMP) sistemləri

● Metrologiya və yoxlama platformaları

● Tozsoran və təmizlik mühitində vakuum holdinq və sıxma sistemləri

Vekekemeicon məhsulları mağazası: