Tantalum karbid örtük dəstəyi

Vetek yarımkeçiricinin əsas funksiyasıTantalum karbid (tac) örtükDəstək yaxşılaşdırmaqdırİstilik müqaviməti, aşınma müqaviməti və korroziya müqavimətiProsesin düzgünlüyünü və etibarlılığını artırmaq və komponentlərin xidmət həyatını genişləndirmək üçün tantalum karbid örtüyü qatının örtüyü ilə substratın örtülməsi ilə. Yarımkeçirici emal sahəsində istifadə olunan yüksək effektiv bir örtük məhsuludur.

Vetek yarımkeçiricinin tantalum karbid örtükləri, təxminən 9 ~ 10, yalnız brilyant üçün ikinci bir Mohs sərtliyi var. Son dərəcə güclü aşınma müqavimətinə malikdir və emal zamanı səth geyimi və təsirini effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər, bununla da avadanlıq komponentlərinin xidmət həyatını səmərəli şəkildə uzadır. Təxminən 3880 ° C-nin yüksək ərimə nöqtəsi ilə birləşdirilmiş, təfəkkürü müqavimətini və yüksək temperatur müqavimətini artırmaq üçün yarımkeçirici avadanlıqda, istilik müalicəsi avadanlıqları, istilik müalicəsi avadanlıqları, istilik müalicəsi avadanlıqları və ya contalarının örtülməsi üçün istifadə olunur.

Təqdimat karbidinin son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsi səbəbiylə təxminən 3880 ° C, məsələn, yarımkeçirici emal proseslərindəKimyəvi buxarlanma (CVD)vəFiziki buxarlanma (PVD)Tac örtüyü güclü yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət göstərən avadanlıq komponentlərini effektiv şəkildə qoruyur və ekstremal mühitdəki substratın və ya substratın qarşısını alır, yüksək temperatur istehsalında vafli istehsalında effektiv qorunma təmin edir. Bu xüsusiyyət, həmçinin Vetek yarımkeçiricinin tantal karbid örtük dəstəyinin tez-tez aşınma və aşındırıcı proseslərdə istifadə olunur.

Tantalum karbid örtük dəstəyi də hissəciklərin çirklənməsinin azaldılması funksiyasına malikdir. Wafter emalı dövründə, səthi aşınması, ümumiyyətlə vaffikin məhsul keyfiyyətinə təsir edən hissəcik çirklənməni istehsal edir. Tac örtüyünün 9-10-a yaxın məhsulu sərtliyinin həddindən artıq məhsul xüsusiyyətləri bu köhnəni effektiv şəkildə azalda bilər və bununla da hissəciklərin nəslini azaldır. TAC örtüyünün əla istilik keçiriciliyi ilə birləşdirilmiş (təxminən 21 w / m · k), yüksək temperatur şəraitində yaxşı istilik keçiriciliyini qoruya bilər və bununla da gofret istehsalının gəlir və ardıcıllığını artırır.

Vetek yarımkeçiricinin əsas TAC örtük məhsulları daxildirTAC örtük qızdırıcısı, CVD TAC örtüyü çubuq, TAC örtük fırlanma həssaslıqvəTAC örtük ehtiyat hissəsivə s. və xüsusi məhsul xidmətlərini dəstəkləyin. Vetek yarımkeçiricisi yarımkeçirici sənayesi üçün əla məhsul və texniki həllər təmin etmək üçün qərarlıdır. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağınıza ürəkdən ümid edirik.

Tantalum karbid (TAC) bir mikroskopik bir kəsişmə bölməsi:

CVD TAC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri：