TAC örtük ehtiyat hissəsi

YarımkeçiriciTAC örtük plitəsigeniş istifadə olunan xüsusi bir materialdıryarımkeçiriciliistehsal prosesi. Yüksək sərtliyi və aşınma müqaviməti, yüksək temperatur müqaviməti, korroziya müqaviməti, aşağı sürtünmə əmsalı və yaxşı istilik keçiriciliyi, TAC örtük plitəsi, yarımkeçirici emalın bir çox bağlantısında əvəzolunmaz rol oynayır.

Ümumiyyətlə, tətbiqlərTAC örtülmüş plitələrYarımkeçirici emalda aşağıdakılardır:

● CVD / ALD böyümə substratu: TAC örtüklü plitələrin yüksək temperatur müqaviməti, kimyəvi sabitliyi və aşağı sürtünmə əmsalı onları ideal CVD / ALD böyümə substratlarını halına gətirir. Filmin vahidliyini və sıxlığını təmin etmək üçün sabit bir böyümə mühiti təmin edə bilər.

●  Maska plitəsi: TAC örtüklü plitələrin yüksək sərtliyi və korroziya müqaviməti, plazma etching kimi yüksək enerji proseslərinə, əsas filmi qoruyan masa plitələri kimi yüksək enerji proseslərinə tabe olmağa imkan verir.

●  CMP cilalama yastığı: TAC örtüklü plitələr tac örtükləri və aşağı sürtünmə əmsalı onları filmin səthindəki hissəcikləri və qüsurları effektiv şəkildə silmək üçün onları CMP cilalama yastiqciqlar üçün ideal materiallar halına gətirir.

●  Yüksək temperatur soba borusu: TAC örtüklü plitələrin yüksək temperatur müqaviməti və korroziya müqaviməti onlara yüksək temperaturun təmizlənməsi, yayılması və digər proseslər üçün yüksək temperaturlu sobalarda soba boruları kimi istifadə edilməsinə imkan verir.

CVD TAC örtüklü texniki parametrlər：

Vetek yarımkeçirici Tac örtükləri ehtiyat hissə məhsulları mağazaları：