TAC örtük fırlanma həssaslıq

Vetek yarımkeçirici TAC örtüklü fırlanma suseptoru, yarımkeçirici emalda vafli işləmə üçün əsas komponentdir. OnunTac nəBizimMükəmməl yüksək temperaturlu tolerantlığına (3880 ° C-ə qədər ərimə nöqtəsi), kimyəvi sabitlik və korroziyaya müqavimət, vaffer emalında yüksək dəqiqlik və yüksək keyfiyyəti təmin edir.

TAC örtüklü fırlanma suseptoru (tantalum karbon örtüklü fırlanma suseptoru) yarımkeçirici emalda istifadə olunan əsas avadanlıq komponentidir. Ümumiyyətlə quraşdırılırKimyəvi buxarlanma (CVD)və molekulyar şüa epitaxy (MBE), vahid material çöküntüsünü və səmərəli reaksiya təmin etmək üçün vafizləri dəstəkləmək və fırlatmaq üçün avadanlıq. Bu məhsul növü, substratın örtülməsi ilə yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərdə avadanlıqların həyatını və performansını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırırTantalum karbon (tac) örtük.

TAC örtük fırlanma susepti, ümumiyyətlə, substrat materialı kimi TAC örtükləri və qrafit və ya silikon karbiddən ibarətdir. TAC, son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsi olan ultra yüksək temperaturlu bir keramika materialıdır (3880 ° C-ə qədər ərimə nöqtəsi), sərtliyi (vickers sərtliyi təxminən 2000 hk) və əla kimyəvi korroziyaya davamlıdır. Vetek yarımkeçiricisi, CVD texnologiyası vasitəsilə substrat materialında tantalum karbon örtüyünü effektiv və bərabər şəkildə əhatə edə bilər.

Dönmə suseptoru ümumiyyətlə yüksək istilik keçiriciliyindən və yüksək güclü materiallardan (qrafit və yasilikon karbid), yüksək temperatur mühitində yaxşı mexaniki dəstək və istilik sabitliyi təmin edə bilər. İkisinin mükəmməl birləşməsi TAC örtük fırlanma fırtınasının mükəmməl performansını dəstəkləyən və fırlanan Wafters-də müəyyənləşdirir.

TAC örtükləri fırlanma suseptoru, CVD prosesində vafleri dəstəkləyir və döndərir. TAC-ın Vickers sərtliyi, bu, materialın təkrar sürtünməsində müqavimət göstərməyə və yaxşı bir dəstəkləyici rol oynamağa imkan verən 2000 hk, bununla da reaksiya qazının geniş yayılmış və material bərabər şəkildə paylanmasını təmin edir. Eyni zamanda, TAC örtüklərinin yüksək temperatur tolerantlığı və korroziya müqaviməti uzun müddət yüksək temperatur və aşındırıcı atmosferdə istifadə edilməsinə imkan verir ki, bu da gofretin və daşıyıcının çirklənməsindən çəkinir.

Üstəlik, TAC-in istilik keçiriciliyi 21 və daha yaxşı istilik ötürülməsi olan 21 w / m · k. Buna görə TAC örtük fırlanma susepçinin yüksək temperatur şəraiti altında vaflonu bərabər şəkildə qızdırır və fırlanma hərəkəti yolu ilə qaz çökmə prosesinin vahidliyini təmin edə bilər, bununla da ardıcıllığı və yüksək keyfiyyəti qoruyurvaffer.

Tantalum karbid (TAC) bir mikroskopik bir kəsişmə bölməsi：

TAC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri：

TAC örtüklü fırlanma suseptor dükanları: