CVD Silikon Karbid(SiC) ilə örtülmüş Qrafit Duş Başlığı

Əsas Xüsusiyyətlər

• Ultra yüksək təmizlik – SiC örtüyü qrafiti tamamilə möhürləyir, beləliklə, qaz və ya metal çirklənməsi yoxdur.

• Əla qaz paylanması – Hər bir duş başlığı bütün vafli boyunca ardıcıl qaz sürətini təmin etmək üçün işlənib.

• Üstün korroziyaya davamlılıq – CVD SiC halogenlər və ya proses qalıqları ilə reaksiya vermir. Çılpaq qrafitdən və ya kvarsdan daha uzun müddət davam edir.

• Mükəmməl istilik performansı – örtük qrafitin termal genişlənməsinə yaxından uyğun gəlir, beləliklə, sürətli temperatur rampaları zamanı çatlama yoxdur.

• Dəqiq istehsal – Biz CNC emalından və daxili CVD örtüyündən istifadə edirik. Çuxurların diametrləri və naxışları sıx toleranslara uyğunlaşdırılır.

Texniki Spesifikasiyalar

Proqramlar

Bu duş başlıqları aşağıdakı hallarda istifadə olunur:

• Yarımkeçirici CVD sistemləri (həm istehsal, həm də R&D)

• PECVD avadanlığı – aşağı temperaturlu dielektriklər

• MOCVD reaktorları – GaN, InP kimi III‑V birləşmələri

• Silicon epitaxy (Si Epi) – güc qurğuları və CMOS üçün

• SiC epitaksiyası – yüksək gərginlikli elektrik elektronikası

• Qarışıq yarımkeçirici fab

• Təkmil qablaşdırma (məsələn, TSV laynerinin çökməsi)

• Korroziyaya davamlı, yüksək təmizlikli qaz paylayıcıya ehtiyacı olan istənilən nazik təbəqə aləti

Niyə VETEK seçməlisiniz?

• Biz ticarət şirkəti deyilik. Hər şey – qrafit emalından tutmuş son CVD SiC örtüyünə qədər – evdə həyata keçirilir. Bu o deməkdir ki, biz keyfiyyətə, çatdırılma müddətinə və maya dəyərinə nəzarət edirik.

• Tamamilə daxili istehsal – heç bir autsorsing sürprizi yoxdur

• Qabaqcıl örtük texnologiyası – sıx, deşiksiz CVD SiC

• Xüsusi mühəndis dəstəyi – bizə duş başlığının rəsmini və ya sadəcə reaktor modelini göndərin

• Etibarlı yarımkeçirici təchizat zənciri – biz illərdir fab və OEM təmin edirik

• Hər dəfə yeni dizaynı yenidən qiymətləndirmək məcburiyyətində deyilsiniz. Biz artıq bir çox ümumi platformalar üçün (AMAT, TEL, LAM, ASM və s.) duş başlıqlarını örtmüşük.