Silikon kaset gəmisi

Veteksemikon tərəfindən təklif olunan silikon kaset gəmisi müasir yarımkeçirici vafli uydurmanın ciddi istilik, mexaniki və çirklənmə tələblərinə görə mühəndisdir. Ultra yüksək təmizlikli monokril və ya polizilikondan hazırlanmış və sənayenin aparıcı təmizlik standartlarına uyğunlaşdırılan, silikon kaset gəmisi oksidləşmə, yayılma, ilkinlik və digər soba əsaslı istilik dövrləri üçün kritik bir daşıyıcı sistemi kimi fəaliyyət göstərir. Yüksək temperaturda daxili maddi xüsusiyyətləri-kimyəvi inakterliyi, silikon waferləri ilə uyğunlaşmış istilik genişləndirilməsi və son dərəcə aşağı metal çirk konsentrasiyası ilə uyğunlaşmış, alt mikron və inkişaf etmiş node istehsalı üçün vahidliyini və təkrarlılığı təmin etmək üçün hissəcik nəsil və istilik stresini minimuma endirməyə imkan verir.

Şaquli və üfüqi soba platformaları içərisində, silikon kaset gəmisi, bütün dəstə boyunca ardıcıl istilik ötürülməsi və vahid qaz axınına imkan verən dəqiq vafli boşluq və sabit mexaniki dəstək verir. Tez-tez kvars və ya keramika daşıyıcıları ilə əlaqəli olan çarpaz maddi qarşılıqlı təsirləri aradan qaldırmaqla, bu, hətta yüksək temperatur sohbukları zamanı, hətta 1200 ° C-ə yaxın olan temperaturda vafli səthlərin çirklənməsindən qorunmağa kömək edir. Daşıyıcı və substrat arasındakı bu maddi uyğunlaşma, həmçinin sürüşmə xətlərini, mikro-çatlayır və çirkinləri azaldır, qayıqları qalın oksidi böyümək, sürücü diffuziya, yüksək temperaturlu implantasiya anbarı və elektrik cihaz epitaksial emalı kimi tətbiqlər üçün əlverişlidir.

Avtomatlaşdırılmış yükləmə sistemləri, fokusdan soba transfer modulları və robot gofrect transfer, veteksemik silikon kaset gəmisi ilə həm də 300 mm istehsal mühitini dəstəkləyir və aparıcı kənar oem spesifikasiyalarına uyğundur. Yüksək ölçülü dəqiqliyi, optimallaşdırılmış yuva həndəsəsi və qabaqcıl səthi bitirmə, üstün istilik vahidliyinə, nöqsanlı, azaldılmış nöqsan və genişləndirilmiş əməliyyat ömür boyu-avadanlıq iş vaxtını artıran genişləndirilmiş əməliyyat ömrü boyu.

Veteksemik's Material Elm Ekspertizası və ciddi keyfiyyət idarəetmə tərəfindən dəstəklənən Silikon kaset gəmisi çox istilik dövrü, aşağı hissəcik tökmə və o₂, h₂, n₂ və ya inert qaz qarışıqları kimi proqnozlaşdırıla bilən davranışlar. İnkişaf etmiş çirklənmə nəzarəti, proqnozlaşdırılan istilik profilləri və növbəti nəsil cihaz istehsalı ilə uyğunluğu tələb edən Fabs üçün, silikon kaset gəmisi proses etibarlılığını gücləndirir, vafli səviyyəli vahidliyi artırır və yüksək səviyyəli yarımkeçirici istehsal edir.