Silikon karbid keramikaları nədir?

Bugünkü inkişaf etmiş yarımkeçirici sənayesində yarımkeçirici keramika komponentləri özünəməxsus xüsusiyyətlərinə görə yarımkeçirici avadanlıqlarda həyati vacib bir mövqe təmin etdi. Bu kritik komponentlərə müraciət edək.

Ⅰ.Yarımkeçirici keramika komponentlərində hansı materiallardan istifadə olunur?

(1) Alümina keramika (Al₂o₃)

Alumuina keramika, keramika komponentləri istehsal üçün "işçi" dir. Mükəmməl mexaniki xüsusiyyətlər, ultra yüksək ərimə nöqtələri və sərtlik, korroziya müqaviməti, güclü kimyəvi sabitlik, yüksək müqavimət və üstün elektrik izolyasiyası nümayiş etdirirlər. Onlar ümumiyyətlə cilalanma plitələri, vakuum çakları, keramika qolları və oxşar hissələr hazırlamaq üçün istifadə olunur.

(2) Alüminium nitridi keramika (ALN)

Alüminium nitride keramika yüksək istilik keçiriciliyi, silikonun və aşağı dielektrik davamlı və zərərli bir istilik genişləndirmə əmsalı xüsusiyyətini göstərir. Yüksək ərimə nöqtəsi, sərtlik, istilik keçiricilik və izolyasiya kimi üstünlüklərlə, ilk növbədə istilik yayılmış substratlarda, keramika nozzles və elektrostatik çuxurlarda istifadə olunur.

(3) yttria keramika (Y₂o₃)

YTTRIA keramika yüksək ərimə nöqtəsi, əla kimyəvi və fotokimyəvi sabitlik, aşağı fonon enerjisi, yüksək istilik keçiriciliyi və yaxşı şəffaflıq. Yarımkeçirici sənayesində, onlar tez-tez alüminiina keramika ilə birləşirlər, məsələn, yttria örtüklər, keramika pəncərələri istehsal etmək üçün alüminion keramikasına tətbiq olunur.

(4) Silikon nitridi keramika (Si₃n₄)

Silikon nitridi keramika yüksək ərimə nöqtəsi, müstəsna sərtlik, kimyəvi sabitlik, aşağı istilik genişləndirmə əmsalı, yüksək istilik keçiriciliyi və güclü istilik şok müqaviməti ilə xarakterizə olunur. Onlar 1200 ° C-dən aşağı olan təsir müqavimətini və gücünü qoruyurlar, onları keramika substratları, yük daşıyan çəngəllər, yerləşdirmə sancaqları və keramika boruları üçün ideal hala gətirirlər.

(5) Silikon karbid keramika (sic)

Xüsusiyyətlərdə almazlara bənzəyən silikon karbid keramika, yüngül, ultra sərt və yüksək güclü materialdır. Fövqəladə hərtərəfli performans, aşınma müqaviməti və korroziya müqaviməti ilə, klapan oturacaqlarında, sürüşmə yatakları, ocaqlar, nozzol və istilik dəyişdiricilərində geniş istifadə olunur.

(6) Zirconia keramika (zro₂)

Zirconia keramika yüksək mexaniki güc, istilik müqaviməti, turşu / qələvi müqavimət və əla izolyasiya təklif edir. Zirkonia məzmununa əsaslanaraq, bunlar təsnif edilir:

● Həssas keramika (tərkibli dövrə substratları və yüksək tezlikli izolyasiya materialları üçün istifadə olunan 99,9% -dən çox olan məzmun).

● Adi keramika (ümumi məqsədli keramika məhsulları üçün).

Ⅱ.Yarımkeçirici keramika komponentlərinin struktur xüsusiyyətləri

(1) sıx keramika

Sıx keramika yarımkeçirici sənayesində geniş istifadə olunur. Məsamələri minimuma endirməklə sıxlaşma əldə edirlər və reaksiya, təzyiqsiz sinek, maye-faza sineri, isti pressing və isti iSostatik təzyiq kimi metodlar vasitəsilə hazırlanır.

(2) məsaməli keramika

Sıx keramika ilə müqayisədə, məsaməli keramika, voidlərin idarə olunan bir həcmi ehtiva edir. Onlar məsaməli, mesoporous və makropor keramikaya görə məsamə ölçüsü ilə təsnif edilir. Aşağı toplu sıxlıq, yüngül quruluş, böyük xüsusi səth sahəsi, effektiv filtrasiya / termal izolyasiya / akustik nəmləndirici xüsusiyyətlər və sabit kimyəvi / fiziki performans, yarımkeçirici avadanlıqlarda müxtəlif komponentlər istehsal etmək üçün istifadə olunur.

Ⅲ.Yarımkeçirici keramika necə yaranır?

Seramik məhsullar üçün müxtəlif qəlibləmə üsulları var və yarımkeçirici keramika hissələri üçün çox istifadə olunan qəlibləmə üsulları aşağıdakılardır:

Ⅳ.Yarımkeçirici keramika komponenti Sintering metodları

1.Solid-dövlətin sintering

Kütləvi nəqliyyat vasitəsi ilə maye mərhələlər olmadan, yüksək təmizlik keramika üçün uyğun olan maye nəqliyyat vasitəsi ilə nail olur.

2.Qiymətli faza əsəri

Densivliyi artırmaq üçün keçici maye mərhələlərdən istifadə edir, lakin yüksək temperaturlu performansını pisləşdirən taxıl sərhədləri şüşələri risk edir.

3. Öz-özünə temperaturlu sintez (Shs)

Sürətli sintez üçün ekzotermik reaksiyalara, xüsusən qeyri-stoiometrik birləşmələr üçün təsirlidir.

4.Mikrowave sintering

Vahid istilik və sürətli emal, submisometr miqyaslı keramika sahəsində mexaniki xüsusiyyətləri yaxşılaşdırmaq imkanı verir.

5.Spark Plazma Sintring (SPS)

Pulsed elektrik cərəyanlarını və yüksək performanslı materiallar üçün ideal olan ultrafast sıxlaşma üçün paxlalı elektrik cərəyanlarını və təzyiqini birləşdirir.

6. Sürüşmə

Bastırılmış taxıl böyüməsi ilə aşağı temperaturun sıxlaşdırılmasına nail olmaq üçün elektrik sahələrini tətbiq edir.

7.colding

Temperatur həssas materiallar üçün kritik olan aşağı temperaturlu bir konsolidasiya üçün keçici həlledicilər və təzyiqlərdən istifadə edir.

8.Oskillatory təzyiqi sintering

Dinamik təzyiq vasitəsilə sıxlaşdırmanı və interfacial gücünü artırmaq, qalıq məskirəlik azaltmaq