Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Məhsullar
EPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel Suseptor
  • EPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel SuseptorEPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel Suseptor
  • EPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel SuseptorEPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel Suseptor
  • EPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel SuseptorEPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel Suseptor

EPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel Suseptor

Barel tipli epitaksial vafli istilik bazası, emal avadanlığı və bacarığı üçün çox çətin olan mürəkkəb emal texnologiyasına malik bir məhsuldur. Vetek yarımkeçirici EPI üçün SiC örtülmüş qrafit çəllək susseptorunun emalında qabaqcıl avadanlıq və zəngin təcrübəyə malikdir, orijinal zavod ömrü ilə eyni, daha sərfəli epitaksial barelləri təmin edə bilər. Əgər məlumatlarımızla maraqlanırsınızsa, pls bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.
Sorğu göndərin 
Məhsul təsviri

Vetek yarımkeçiricisi, əsasən illər təcrübəsi olan EPI üçün SIC örtüklü qrafit barel suseptoru istehsal edən Çin istehsalçısı və təchizatçısıdır. Sizinlə işgüzar münasibət qurmağa ümid edirəm.Və (epitaxy)qabaqcıl yarımkeçiricilərin istehsalında kritik bir prosesdir. Kompleks cihaz strukturları yaratmaq üçün bir substratda incə material təbəqələrinin çökməsini ehtiva edir. EPI üçün SIC örtülmüş qrafit barel suseptoru, mükəmməl istilik keçiriciliyi və yüksək temperaturlara qarşı müqavimət səbəbiylə EPI reaktorlarında süzün kimi istifadə olunur. İləCVD-sic örtük, çirklənməyə, eroziyaya və istilik şokuna daha da davamlı olur. Bu, həssas və təkmilləşdirilmiş film keyfiyyəti üçün daha uzun bir ömür sürəti ilə nəticələnir.


SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək süpürgəsinin üstünlükləri:


✔ Azaldılmış çirklənmə: SIC-nin inert təbiəti, depozit olunan filmlərin çirklənməsi riskini azaltmaq, susuzlaşdırıcı səthə yapışmaların qarşısını alır.

✔ Artan Eroziya Müqaviməti: SIC, susereptor üçün daha uzun bir ömrü daha uzun bir ömrün səbəb olduğu adi qrafitdən daha çox təsir edəndir.

✔ Təkmilləşdirilmiş istilik sabitliyi: SIC əla istilik keçiriciliyinə malikdir və əhəmiyyətli dərəcədə təhrif olmadan yüksək temperaturdan tab gətirə bilər.

✔ İnkişaf etmiş film keyfiyyəti: Təkmilləşdirilmiş istilik dayanıqlığı və azaldılmış çirklənmə, təkmilləşdirilmiş vahidlik və qalınlığa nəzarət ilə daha yüksək keyfiyyətli çökmə filmləri ilə nəticələnir.


Tətbiqlər:

SIC örtülmüş qrafit barel lüləli süzgəclər müxtəlif EPI tətbiqlərində geniş istifadə olunur, o cümlədən:

✔ Gan əsaslı LEDlər

✔ Power Electronics

✔ Optoelektron cihazları

✔ Yüksək tezlikli tranzistorlar

✔ Sensorlar

SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək tutucunun məhsul parametri

Fiziki xüsusiyyətləriizostatik qrafit
Əmlak Vahidi Tipik Dəyər
Kütləvi sıxlıq q/sm³ 1.83
Sərtlik Hsd 58
Elektrik müqaviməti μω.m 10
Bükülmə Gücü Mpa 47
Sıxılma Gücü Mpa 103
Təyərlilik Mpa 31
Gəncin Modulu GPa 11.8
Termal genişləndirilməsi (CTE) 10-666K-1 4.6
İstilikkeçirmə W · m-1· K-1 130
Orta taxıl ölçüsü μm 8-10
Məsamə % 10
Kül ppm ≤10 (təmizləndikdən sonra)

        Qeyd: Kaplamadan əvvəl ilk təmizlənməni, örtükdən sonra ikinci təmizləməni edəcəyik.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak Tipik Dəyər
Kristal strukturu FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
Sic örtük sıxlığı 3.21 g / cm³
CVD SiC örtüyü Sərtlik 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü 2 ~ 10μm
Kimyəvi saflıq 99.99995%
İstilik qabiliyyəti 640 j · kq-1· K-1
Sublimasiya temperaturu 2700 ℃
Bükülmə Gücü 415 MPA RT 4 nöqtəli
Gənc Modulus 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilikkeçirmə 300w · m-1· K-1
Termal Genişlənmə (CTE) 4.5 × 10-666K-1

YarımkeçiriciEPI üçün SiC örtüklü Qrafit Barrel Suseptorİstehsal mağazası

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Qaynar Teqlər: EPI üçün SIC örtülmüş qrafit barel suseptoru
Əlaqədar Kateqoriya
Sorğu göndərin
Əlaqə məlumatı
Silikon Karbid Kaplama, Tantal Karbid Kaplama, Xüsusi Qrafit və ya qiymət siyahısı ilə bağlı suallarınız üçün bizə e-poçtunuzu buraxın və biz 24 saat ərzində əlaqə saxlayacağıq.
Əlaqədar məhsullar
LPE PE2061S üçün SiC Örtülü Barrel Suseptor
LPE PE2061S üçün SiC Örtülü Barrel Suseptor Ətraflı Baxın >>
LPE PE2061S üçün SiC örtüklü üst lövhə
LPE PE2061S üçün SiC örtüklü üst lövhə Ətraflı Baxın >>
LPE PE2061s üçün SIC örtülmüş dəstəyi
LPE PE2061s üçün SIC örtülmüş dəstəyi Ətraflı Baxın >>
LPE PE3061S 6'' Vaflilər üçün SiC Örtülü Pancake Susseptoru
LPE PE3061S 6'' Vaflilər üçün SiC Örtülü Pancake Susseptoru Ətraflı Baxın >>
SIC örtülmüş qrafit çarxı deflektoru
SIC örtülmüş qrafit çarxı deflektoru Ətraflı Baxın >>
LPE EPI tərəfdarı dəsti varsa
LPE EPI tərəfdarı dəsti varsa Ətraflı Baxın >>
Xəbər Tövsiyələri
CVD TAC örtük nədir? - Veteksemi
CVD TAC örtük nədir? - VeteksemiƏtraflı Baxın >>
Yarımkeçirici sənayesində 3D çap texnologiyasının tədqiqatçı tətbiqi
Yarımkeçirici sənayesində 3D çap texnologiyasının tədqiqatçı tətbiqiƏtraflı Baxın >>
Yarımkeçirici epitaxy prosesi nədir?
Yarımkeçirici epitaxy prosesi nədir?Ətraflı Baxın >>
8 düymlük sic epitaxial soba və homoepitaxial proses tədqiqatı
8 düymlük sic epitaxial soba və homoepitaxial proses tədqiqatıƏtraflı Baxın >>
Niyə Tantalum Karbide (TAC) Silikon Karbide (SIC) örtüyü, SIC tək kristal böyüməsi ilə örtülür? - Vetek yarımkeçiricisi
Niyə Tantalum Karbide (TAC) Silikon Karbide (SIC) örtüyü, SIC tək kristal böyüməsi ilə örtülür? - Vetek yarımkeçiricisiƏtraflı Baxın >>
ALD Atom Layer Döşəmə Resepti
ALD Atom Layer Döşəmə ReseptiƏtraflı Baxın >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept