TAC örtük bələdçisi üzüklər

Tac örtük bələdçisi üzüklərinin funksiyası:

Dəqiq qaz axını idarəsi: TheTAC örtük bələdçisi üzüyüqaz inyeksiya sistemi çərçivəsində strateji olaraq yerləşdirilirMocvd reaktoru. Onun əsas funksiyası, prekursor qazlarının axınını istiqamətləndirmək və substrat vafli səthi boyunca vahid paylamasını təmin etməkdir. Qaz axını dinamikası üzərində bu dəqiq nəzarət vahid epitaxial təbəqə böyüməsi və arzu olunan material xüsusiyyətlərinə çatmaq üçün vacibdir.

Termal idarəetmə: TAC örtük bələdçisi üzüklər tez-tez qızdırılan suserativ və substrata yaxınlıq sayəsində yüksək temperaturda işləyirlər. TAC-nin əla istilik keçiriciliyi, istiliyin təsirli şəkildə yayılmasına kömək edir, lokallaşdırılmış həddindən artıq istiləşməyə və reaksiya zonasında sabit bir temperatur profilini qorumağa kömək edir.

MOCVD-də TAC-ın üstünlükləri:

Həddindən artıq temperatur müqaviməti: TAC, 3800 ° C-dən çox olan bütün materiallar arasında ən yüksək ərimə nöqtələrindən birinə malikdir.

Görkəmli kimyəvi inertlik: TAC, Ammonyak, Sile və müxtəlif metal üzvi birləşmələr kimi MOCVD-də istifadə olunan reaktiv prekursor qazlarından korroziyaya və kimyəvi hücumdan müstəsna müqavimət göstərir.

Fiziki xüsusiyyətləriTac örtüklü:

MOCVD performansı üçün faydalar:

MOCVD avadanlıqlarında Vetek yarımkeçirici Tac örtük bələdçisi üzük istifadəsi əhəmiyyətli dərəcədə kömək edir:

Artan avadanlıq iş vaxtı: TAC örtük bələdçisi ringinin davamlılığı və uzadılmış ömrü tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır, təmir iş vaxtını minimuma endirir və MOCVD sisteminin əməliyyat səmərəliliyini artırır.

İnkişaf etmiş proses sabitliyi: TAC-nin istilik sabitliyi və kimyəvi inertliyi MOCVD kamerasında daha sabit və idarə olunan reaksiya mühitinə töhfə verir, proses dəyişikliyini minimuma endirir və çoxalma qabiliyyətini artırır.

Təkmilləşdirilmiş epitaxial təbəqə vahidliyi: TAC örtük bələdçisi üzükləri tərəfindən asanlaşdırılan dəqiq qaz axını idarəsi, yüksək forma yaranan vahid prekursor paylamasını təmin edirepitaksial qat artımıardıcıl qalınlıq və kompozisiya ilə.

Tantalum karbid (tac) örtükmikroskopik bir kəsikdə: