TAC örtülmüş hissələrinin yarımkeçirici sahəsində xüsusi tətbiqi nədir?

Tantal Carbide (TAC) örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri

Yarımkeçirici sahədə Tantal Carbide (TAC) örtüyünün tətbiqi

1. Epitaxial böyümə reaktor komponentləri

TAC örtüyü, kimyəvi buxar çöküntüsündə (CVD) reaktorun reaktor komponentləri (GAN) epitaxial və silikon karbid (SIC) epitaxial, o cümlədənvafli daşıyıcıları, peyk qabları, nozzles və sensorlar. Bu komponentlər yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərdə son dərəcə yüksək davamlılıq və sabitlik tələb edir. TAC örtükləri xidmət həyatlarını effektiv şəkildə genişləndirə və məhsuldarlığı artıra bilər.

2. Tək kristal böyümə komponenti

SIC, Gan və Alüminium Nitridi (Ain) kimi materialların vahid kristal artım prosesindəTac örtüklüCrucibles, toxum kristal sahibləri, bələdçi üzüklər və filtrlər kimi əsas komponentlərə tətbiq olunur. TAC örtüklü qrafit materialları murdar miqrasiyasını azalda, büllur keyfiyyətini yaxşılaşdıra və qüsurlu sıxlığını azalda bilər.

3. Yüksək temperaturlu sənaye komponentləri

TAC örtükləri, rezistiv istilik elementləri, enjeksiyon burunları, ekran üzükləri və brazan qurğular kimi yüksək temperaturlu sənaye tətbiqlərində istifadə edilə bilər. Bu komponentlər yüksək temperaturlu mühitlərdə yaxşı performans təmin etməlidirlər və TAC-ın istilik müqaviməti və korroziya müqaviməti onu ideal bir seçim halına gətirir.

4. Mocvd sistemlərində qızdırıcılar

TAC örtüklü qrafit qızdırıcıları metal üzvi kimyəvi buxar çöküntüsündə (mocvd) sistemlərində uğurla tətbiq edilmişdir. Ənənəvi pbn örtüklü qızdırıcılarla müqayisədə, TAC qızdırıcıları daha yaxşı səmərəliliyi və vahidliyi təmin edə, enerji istehlakını azaldır və səthi emissivliyini azaldır və bununla da bütövlüyü inkişaf etdirir.

5. vafli daşıyıcıları

TAC örtüklü vafli daşıyıcılar, SIC, Ain və Gan kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materialların hazırlanmasında mühüm rol oynayırlar. Tədqiqatlar, korroziya nisbətinin olduğunu göstərdiTac örtükləriYüksək temperaturlu ammiak və hidrogen mühitində daha aşağıdırSic örtüklərBu, uzunmüddətli istifadədə daha yaxşı sabitlik və davamlılığı göstərir.