TaC örtüklü bələdçi halqası

VeTek Semiconductor peşəkar Çin TaC Kaplama Bələdçi Üzük, TaC örtüklü Crucible, toxum saxlayan istehsalçı və təchizatçıdır.

TAC örtüklü, SIC və Ain vahid kristal sobasında Tac örtüyü və Tac örtüklü bələdçi üzüyü PVT metodu ilə yetişdirildi.

Fiziki buxar nəqliyyat üsulu (PVT) SIC hazırlamaq üçün istifadə edildikdə, toxum kristalının nisbətən aşağı temperatur bölgəsindədir və SIC xammalı nisbətən yüksək temperatur bölgəsində (2400 ℃). Xammal parçalanması altcaqqiyyətli (əsasən si, sic₂, si₂c və s.) İstidir (əsasən də daxil olmaqla). Buxar fazası materialı yüksək temperaturlu bölgədən aşağı temperatur bölgəsində toxum kristalına və nüvələr və böyüyür. Tək bir kristal yaratmaq. Bu müddətdə istifadə olunan termal sahə materialları, bu müddətdə, məsələn, tumlu kristal sahibi, toxum kristal sahibi, yüksək temperatura davamlı olmalıdır və sic xammal və sic vahid kristalları çirkləndirməyəcəkdir. Eynilə, Aln vahid kristallarının böyüməsindəki istilik elementləri Al Buxar, N₂ korroziyaya qarşı davamlı olmalıdır və büllur hazırlıq müddətini qısaltmaq üçün yüksək eUtectik temperaturu (və ALN) olmalıdır.

Müəyyən edilmişdir ki, TaC ilə örtülmüş qrafit termal sahə materialları ilə hazırlanmış SiC və AlN daha təmizdir, demək olar ki, heç bir karbon (oksigen, azot) və digər çirklər yoxdur, daha az kənar qüsurlar, hər bölgədə daha kiçik müqavimət, mikroməsamə sıxlığı və aşındırma çuxurunun sıxlığı əhəmiyyətli dərəcədə azaldı (KOH ilə aşındırıldıqdan sonra) və kristal keyfiyyəti çox yaxşılaşdı. Bundan əlavə, TaC potasında çəki itirmə dərəcəsi demək olar ki, sıfırdır, görünüşü qeyri-dağıdıcıdır, təkrar emal edilə bilər (200 saata qədər xidmət müddəti), belə monokristal preparatının davamlılığını və səmərəliliyini artıra bilər.

TaC Kaplama Bələdçi Halqasının məhsul parametri:

İstehsal sexləri:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: