TaC örtüyü qrafit komponentlərinin xidmət müddətini necə artırır? - VeTek yarımkeçirici

CVD Tantal Karbid örtüyüVeTek Semiconductor-un xüsusi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) prosesindən istifadə edərək yüksək təmizlikli qrafit substratın səthində Tantal Karbidinin (TaC) buxar çökməsi ilə istehsal olunur.

Tantal Carbide (TAC) örtükləri xidmət həyatını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırırqrafit hissələriÇox mexanizm vasitəsilə, xüsusən də yüksək temperaturda, yarımkeçirici istehsal və büllur artım kimi yüksək temperaturda, yüksək aşındırıcı mühitlərdə. 

Burada konkret səbəblər varTac örtükləriqrafit hissələrinin davamlılığını artırmaq:

● Təkmilləşdirilmiş yüksək temperatur müqaviməti

Çox yüksək istilik sabitliyi: Tac örtükləri 2000 ° C-dən çox yüksək temperaturda sabit qalmağı bacarır və hətta 2200c-də səmərəli işləyə bilər. Bu yüksək temperatur tolerantlığı örtüyə yarımkeçirici istehsal zamanı əridilmiş metalların və kimyəvi qazların eroziyasına tabe olmağa imkan verir, bununla da qrafit hissələrinin xidmət həyatını uzadır.

● Əla korroziyaya qarşı müqavimət

Kimyəvi eroziya müqaviməti: TAC örtükləri bu qazların qrafit substratını aşınmasının və sərt mühitlərdə qrafit hissələrinə zərər riskini effektiv şəkildə azalda bilən hidrogen, ammonyak və silikon buxarı kimi aşındırıcı qazlara güclü müqavimət göstərir. Bu o deməkdir ki, büllur böyümə prosesi zamanı örtük çirkli miqrasiyasına mane ola bilər və büllur keyfiyyətini və məhsuldarlığını yaxşılaşdıra bilər.

●  Təkmilləşdirilmiş mexaniki xüsusiyyətlər

Yaxşı yapışma və istilik şok müqaviməti: TAC örtükləri, örtüklərin yüksək temperaturlu əməliyyatlar zamanı soyulmamasını və ya delaminate olmasını təmin edərək qrafit substratına güclü yapışma var. Bundan əlavə, onun əla istilik şok müqaviməti, qrafit hissələrinin xidmət həyatını daha da genişləndirmədən sürətlə temperatur dəyişikliklərinə tab gətirə bilər.

●  Çirkinlə çirklənməni azaldın

Ultra Yüksək Saflıq: Tac örtükləri yüksək temperatur şəraitində baş verə biləcək çirklənmə problemlərini azaltmağa kömək edən son dərəcə aşağı çirkli məzmuna malikdir. İstenmeyen çirklərin epitaksial qatına köçürülməsinin qarşısını alaraq, TAC örtükləri kristal böyümə prosesinin təmizliyini və keyfiyyətini xeyli yaxşılaşdırır.

●  Termal idarəetməni optimallaşdırın

Termal keçiriciliyini və müqavimətini artırın Bu xüsusiyyət yalnız əməliyyat səmərəliliyini artırmır, həm də həddindən artıq istiləşmə nəticəsində yaranan maddi yorğunluğu və zərərini azaldır.