Bərk sic fokus üzüyü

6.Müncü ərizə sahələri

7. Veteksemi bərk sic Focus Ring Core üstünlükləri

Əla plazma korroziya müqaviməti

CF4, O2 və CL2 kimi yüksək sıxlıqlı, yüksək sıxlıqlı plazmalara uzun sürən məruzə altında, adi materiallar sürətli aşınma və hissəciklərin çirklənməsinə həssasdır. Qatı SIC Focus Ring, kvartz və ya alüminiina kimi materiallardan daha aşağı olan bir korroziya dərəcəsi olan əla korroziya müqaviməti sərgilənir. Bu, zamanla hamar bir səth saxlayır, bu, davamlı və sabit kütləvi istehsal təmin etmək, komponent geyimi və gözyaşardıcı səbəb olan gofret qüsurlarının riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

Əla yüksək temperatur sabitliyi və istilik idarəetmə performansı

Yarımkeçirici etdirmə prosesi, kamera komponentlərinin dramatik temperatur dalğalanmalarında yaşamasına səbəb olan əhəmiyyətli istilik yaradır. Diqqət üzüklərimiz, krakinq və deformasiya olmadan, 1600 ° C-ə qədər keçici temperaturdan keçə bilən istilik genişləndiricisinin son dərəcə aşağı əmsalına malikdir. Bundan əlavə, onların xas olan yüksək istilik keçiriciliyi, vaffin kənarındakı temperatur paylanmasını bərabər dərəcədə və tez bir şəkildə yaxşılaşdırmağa kömək edirBütün gofret boyunca kritik ölçülərin vahidliyi və ardıcıllığı olan NG.

Fövqəladə material saflığı və struktur sıxlığı

Silikon karbid xammalının təmizliyini (≥99.999%) ciddi şəkildə idarə edirik və izləmə prosesi zamanı metal çirklənməni izləmə proseslərinin trace murnity nəzarəti üçün müəyyənləşdirilmiş tələblərə cavab vermək üçün aradan qaldırırıq. Yüksək temperaturlu sinekləmə vasitəsi ilə meydana gələn sıx quruluş, demək olar ki, proses qazları və əlavə məhsulların nüfuzunu tamamilə maneə törədir. Bu, performansın deqradasiyasını və hissəciklərin artmasının qarşısını alır, təmiz bir proses kamerası mühitinin təmin edilməsi, daxili maddi deqradasiyanın yaranmasına mane olur.

Uzunmüddətli mexaniki həyat və hərtərəfli xərc səmərəliliyi

Tez-tez dəyişdirilməsini tələb edən adi istehlak materialları ilə müqayisədə, Veteksemi bərk SIC Focus üzükləri müstəsna davamlılığı təklif edir. Onlar xidmət həyat boyu sabit performansını qoruyur, dəyişdirici dövrləri bir neçə dəfə uzadır. Bu, yalnız ehtiyat hissə satınalma xərclərini yalnız birbaşa azaldır, həm də müştərilər üçün əhəmiyyətli ümumi dəyəri nəzərə alınmaqla, istehsal üçün avadanlıqların azaldılması üçün maşın istifadəsini də əhəmiyyətli dərəcədə artırır.

Dəqiq ölçülü nəzarət və çevik özelleştirme xidmətləri

Fərqli maşınların və istehlak materialları üçün proseslərin dəqiq tələblərini başa düşürük. Hər bir fokus halqası ± 0.05mm arasındakı kritik ölçülü toleransları təmin etmək üçün dəqiq bir emal və sərt sınaq keçir. Xüsusi ölçülər, səth bitkiləri (ra ≤ 0.2μm-də cilalanma) və konkret proses tələblərinizə və tətbiq ssenarilərinizə mükəmməl uyğun olmaq üçün xüsusi xidmətlər, o cümlədən xüsusi xidmətlər təklif edirik.

Ətraflı texniki xüsusiyyətlər, ağ sənədlər və ya nümunə test tənzimləmələri üçün Vetekseminin proses səmərəliliyinizi necə artıra biləcəyini araşdırmaq üçün texniki dəstək qrupumuzla əlaqə saxlayın.