Bərk SiC qazlı duş başlığı

Bərk sic qaz duşu başı

VeTek Semiconductor tədqiqat, istehsal və satışa həsr olunmuş inteqrasiya olunmuş bir şirkətdir. VeTek Semiconductor uzun illərdir ki, yarımkeçirici epitaksiya, aşındırma və digər proseslə əlaqəli məhsullar üzərində işləyir, xüsusən CVD SiC örtüyü, CVD TaC örtüyü və CVD Solid SiC bizim qabaqcıl məhsullarımızdır.

VeTek Yarımkeçirici Bərk SiC Qazlı Duş Başlığı adətən yarımkeçirici CVD prosesləri zamanı prekursor qazlarını substrat səthinə bərabər paylamaq üçün istifadə olunur. Duş başlıqları üçün CVD-SiC materialının istifadəsi bir sıra üstünlüklərə malikdir. Onun yüksək istilik keçiriciliyi CVD prosesində yaranan istiliyi dağıtmağa kömək edir, substratda temperaturun vahid paylanmasını təmin edir. Bundan əlavə, CVD sic duş başlığının kimyəvi sabitliyi ona CVD proseslərində tez-tez rast gəlinən korroziyalı qazlara və sərt mühitlərə tab gətirməyə imkan verir. 

CVD SIC Duş başçılarının dizaynı xüsusi CVD sistemlərinə və proses tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər. Bununla birlikdə, ümumiyyətlə bir sıra dəqiqliklə qazılmış deliklər və ya yuvalar olan bir boşqab və ya disk formalı bir komponentdən ibarətdir. Çuxur naxışı və həndəsə, substrat səthində vahid qaz paylanması və axın sürətini təmin etmək üçün diqqətlə hazırlanmışdır.

Bərk SiC-nin Fiziki Xassələri