Bərk silikon karbidindən istifadə

Solid Silicon Carbide SIC, silikon (SI) və karbon (c) ibarət olan inkişaf etmiş bir keramika materialdır. Təbiətdə geniş şəkildə tapılan bir maddə deyil və ümumiyyətlə yüksək temperaturlu sintez tələb edir. Onun fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərinin bənzərsiz birləşməsi onu ekstremal mühitlərdə, xüsusən yarımkeçirici istehsalda yaxşı yerinə yetirən əsas material halına gətirir.

Ⅰ. Qatı silikon karbidinin əsas fiziki xüsusiyyətləri (bərk sic)

▶ Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti:

SIC, təxminən 9-9,5, yalnız brilyant üçün ikinci bir Mohs sərtliyi var. Bu, əla cızıq və aşınma müqavimətini verir və mexaniki stres və ya hissəcik eroziyasına dözmək lazım olan mühitlərdə yaxşı çıxış edir.

▶ Əla yüksək temperaturlu güc və sabitlik

1. SIC, özünəməxsus güc və struktur bütövlüyünü son dərəcə yüksək temperaturda saxlaya bilər (tip və saflıqdan asılı olaraq 1600 ° C-ə qədər temperaturda və ya daha yüksək səviyyədədir).

2. İstilik genişlənməsinin aşağı əmsalı onun yaxşı ölçülü sabitliyinə malikdir və temperaturun kəskin şəkildə dəyişdikdə deformasiyaya və ya çatlamağa meylli deyil deməkdir.

▶ Yüksək istilik keçiriciliyi:

Bir çox digər keramika materiallarından fərqli olaraq, SIC nisbətən yüksək istilik keçiriciliyi var. Bu, həssas nəzarət və vahidlik tələb edən tətbiqlər üçün kritik olan istilik səmərəli şəkildə davranış və yayılmasına imkan verir.

Üstün kimyəvi inertlik və korroziya müqaviməti:

SIC, ən güclü turşulara, güclü bazalara və seminküktor proseslərində (məsələn, plazma mühitində flüor mühitində flüor və xlor əsaslı qazlar kimi istifadə olunan korroziv qazlara son dərəcə güclü müqavimət göstərir. Bu, proses kamerası komponentlərinin korlantılmasının və ya çirklənməsinin qarşısını almaq üçün vacibdir.

▶ Yüksək saflıq üçün potensial:

Son dərəcə yüksək saflıq sic örtükləri və ya bərk sic hissələri xüsusi istehsal prosesləri ilə (məsələn, kimyəvi buxarlanma çökməsi - CVD) istehsal edilə bilər. Yarımkeçirici istehsalında maddi saflıq birbaşa vaffin çirklənmə səviyyəsinə və son məhsulun məhsuldarlığına təsir göstərir.

▶ Yüksək sərtlik (gəncin modulusu):

SIC yüksək bir gəncin modulusu var, bu da çox çətin və yük altında deformasiya etmək asan deyil. Bu, dəqiq forma və ölçüdə (məsələn, vafli daşıyıcıları) saxlamalı olan komponentlər üçün çox vacibdir.

▶ Tunable elektrik xüsusiyyətləri:

Tez-tez izolyator və ya yarımkeçirici kimi istifadə olunur (büllur formasından və dopinqindən asılı olaraq), yüksək müqavimət, plazma davranışını idarə etməyə və ya bəzi komponent tətbiqlərində lazımsız qövs axınının qarşısını almağa kömək edir.

Ⅱ. Xüsusi tətbiqetmələr və bərk silikon karbidinin (bərk SIC), yarımkeçirici istehsalda hazır məhsullar

Yuxarıdakı fiziki xüsusiyyətlərə əsaslanaraq, möhkəm SIC müxtəlif dəqiqlik komponentlərinə hazırlanır və yarımkeçirici ön hissələrin çoxsaylı əsas bağlantılarında geniş istifadə olunur.

1) bərk sic wafer daşıyıcısı (bərk sic wafer, qayıq):

Tətbiq:

Yüksək temperaturlu proseslərdə silikon gofreti daşımaq və köçürmək üçün istifadə olunur (məsələn, yayılma, oksidləşmə, LPCVD - aşağı təzyiqli kimyəvi buxar çöküntüsü).

Üstünlüklərin təhlili:

1. Yüksək temperatur sabitliyi: 1000 ° C-dən çox olan proses temperaturu zamanı SIC daşıyıcıları yumşaldır, deformasiya və ya kvars kimi asanlıqla sag, proses vahidliyini təmin etmək üçün vaffer aralığını dəqiq saxlaya bilməzlər.

2. Uzun ömür və aşağı hissəcik nəsli: SIC-nin sərtliyi və aşınma müqaviməti kvarsdan çox uzaqlaşdı və çirkləndirmək üçün kiçik hissəciklər istehsal etmək asan deyil. Onun xidmət müddəti ümumiyyətlə bir neçə dəfə və ya hətta kvars daşıyıcılarının, dəyişdirmə tezliyini və təmir xərclərini azaltmaq üçün bir neçə dəfə və hətta onlarla haldır.

3. Kimyəvi inertlik: proses mühitində kimyəvi eroziyaya qarşı çıxa bilər və öz materiallarının yağıntısının səbəb olduğu vaffin çirklənməsini azalda bilər.

4. Termal keçiriciliyi: Yaxşı istilik keçiriciliyi sürətlə və vahid istilik və vuletmələrin və ehtiyatların soyulmasına, prosesin səmərəliliyini və temperaturunun vahidliyini yaxşılaşdırmağa kömək edir.

5. Yüksək saflıq: Yüksək saflıqlı SIC daşıyıcıları çirk idarəsi üçün inkişaf etmiş qovşaqların ciddi tələblərinə cavab vermək üçün istehsal edilə bilər.

İstifadəçi dəyəri:

Prosesin sabitliyini yaxşılaşdırın, məhsul məhsuldarlığını artırın, komponentin uğursuzluğu və ya çirklənmə səbəbi ilə nəticələnən iş vaxtını azaldın və uzun müddətdə mülkiyyət dəyərini azaldın.

2) bərk sic disk formalı / qaz duşu başı:

Tətbiq:

Plazma etching, kimyəvi buxar deporu (CVD), Atom təbəqəsi çökməsi (ALD) və s. Kimi, atom təbəqəsi çöküntüsü (ALD) və s.

Üstünlük təhlili:

1. Plazma Dözümlülük: Yüksək enerji, kimyəvi cəhətdən aktiv plazma mühitində, SIC duşu başçısı, kvars və ya alüminiumdan çox üstün olan plazma bombardmanı və kimyəvi korroziyaya son dərəcə güclü müqavimət göstərir.

2. Vahidlik və sabitlik: dəqiq işlənmiş SIC duşu başçısı, qaz axınının, film qalınlığı, kompozisiya vahidliyi və ya etching sürətinin vahidliyi üçün kritik olan bütün vafli səthi boyunca bərabər paylanmasını təmin edə bilər. Yaxşı uzunmüddətli sabitliyə malikdir və deformasiya və ya tıxanmaq asan deyil.

3. Termal idarəetmə: Yaxşı istilik keçiriciliyi, bir çox istilik həssas çökmə və ya etching prosesləri üçün kritik olan duş başlığı səthində temperaturun vahidliyini qorumağa kömək edir.

4. Aşağı çirklənmə: yüksək saflıq və kimyəvi inertlik, duş başının öz materiallarının prosesə çirklənməsini azaldır.

İstifadəçi dəyəri:

Proses nəticələrinin vahidliyini və təkrarlanmasını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, duş başlığının xidmət həyatını genişləndirir, texniki xidmət və hissəcik problemlərini azaldır və daha inkişaf etmiş və daha sərt proses şərtlərini dəstəkləyir.

3) Solid Sic Etching Fountion Ring (bərk sic tithing fokus ring / kənar üzük):

Tətbiq:

Əsasən plazma etching avadanlıqları Palatasında (məsələn, kondansilcə birləşdirilmiş plazma ccp və ya induktiv şəkildə birləşdirilmiş plazma imp etcher) istifadə olunur, ümumiyyətlə vafli daşıyıcısının (chuck) kənarında yerləşdirilir. Onun funksiyası, Palatanın digər komponentlərini qoruyarkən daha çox gofret səthində daha bərabər hərəkət etməsi üçün plazmanı məcbur etmək və istiqamətləndirməkdir.

Üstünlük təhlili:

1. Plazma eroziyasına güclü müqavimət: Bu, SIC Fokuslu üzüyün ən məşhur üstünlüyüdir. Son dərəcə aqressiv etching plazmalarında (məsələn, flüor və ya xlor tərkibli kimyəvi maddələr), SIC kvars, alumina və ya hotttria (yttrium oksidindən) daha yavaş taxır və son dərəcə uzun ömürdür.

2. Tənqidi ölçüləri qorumaq: Yüksək sərtlik və yüksək sərtlik SIC-nin diqqət mərkəzlərini daha da dəqiq formasını və ölçüsünü daha yaxşı formalaşdırmaq üçün plazma morfologiyasını sabitləşdirmək və vahidliyini təmin etmək üçün vacibdir.

3. Aşağı hissəcik nəsli: aşınma müqavimətinə görə, komponentin qocalması və bununla da məhsuldarlığı yaxşılaşdıran hissəcikləri çox azaldır.

4. Yüksək saflıq: metal və ya digər çirklərin tətbiqindən çəkinin.

İstifadəçi dəyəri:

Komponent dəyişdirmə dövrlərini çox uzat, istismar xərclərini və avadanlıqları azaltmaq üçün əhəmiyyətli dərəcədə azaldır; interching proseslərinin sabitliyini və təkrarlanmasını yaxşılaşdırın; Qüsurları azaldın və yüksək səviyyəli çip istehsalının məhsuldarlığını artırın.

Ⅲ.Xülasə

Bərk silikon karbid, fiziki xüsusiyyətlərin bənzərsiz birləşməsi səbəbindən müasir yarımkeçirici istehsalın əvəzolunmaz əsas materiallarından birinə çevrildi - yüksək sərtlik, yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək istilik keçiriciliyi, əla kimyəvi sabitlik və korroziya müqaviməti. Qaz paylanmasının idarə edilməsi üçün duş, ya da, qaz paylaması üçün bir duş başlığı, ya da şən sic məhsulları üçün diqqət çəkən bir üzük, əla sic məhsulları, əla performans və etibarlılığı, istehsal səmərəliliyi və məhsul məhsuldarlığını artırmaq və beləliklə bütün yarımkeçirici sənayesinin davamlı inkişafını təşviq edir.

Çində qatı silikon karbid məhsulları və tədarükçüsü kimi,Semikonkimi məhsullarBərk sic wafer daşıyıcı / qayıq, Bərk sic disk şəkilli / qaz duşu başı, Bərk sic tirching fokus ring / kənar üzükAvropada və ABŞ-da geniş satılır və bu müştərilərdən yüksək tərif və tanınmasını qazandı. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağımı səmimiyyətlə gözləyirik. Consult-a xoş gəlmisiniz.

Mob / WhatsApp: + 86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com