Yarımkeçirici Termal Çiləmə Texnologiyası

Yarımkeçirici Termal Püskürtmə Texnologiyası, materialları bir örtük meydana gətirmək üçün bir ərazi və ya yarı əridilmiş bir vəziyyətdə materialları bir substratın səthinə spreyləşdirən inkişaf etmiş bir prosesdir. Bu texnologiya yarımkeçirici istehsal sahəsində geniş istifadə olunur, əsasən, substratın səthində, məsələn, keçiricilik, izolyasiya, korroziya müqaviməti və oksidləşmə müqaviməti kimi konkret funksiyaları olan örtüklər yaratmaq üçün istifadə olunur. Termal püskürtmə texnologiyasının əsas üstünlüklərinə yüksək səmərəliliyi, idarəolunan örtük qalınlığı və yaxşı örtüklü yapışma, yüksək dəqiqlik və etibarlılıq tələb edən yarımkeçirici istehsal prosesində xüsusilə vacib olan yaxşı örtüklü yapışma daxildir.

Yarımkeçiricilərdə termal püskürtmə texnologiyasının tətbiqi

Plazma şüası (quru titrəmə)

Adətən plazma və elektronlar və yüksək kimyəvi cəhətdən aktiv neytral atomlar və molekullar və molekullar və pulsuz radikallar kimi plazma aktiv hissəcikləri olan plazma aktiv hissəciklər yaratmaq üçün parıltı axıdılması və molekullar və sərbəst radikallar Məhsullar və çıxarıldıqda, bununla da naxış köçürmə texnologiyasını tamamlayır. Photoitoqrafiya şablonlarından incə naxışların yüksək sədaqətlərinin yüksək sədaqətinin, ultra geniş miqyaslı inteqrasiya olunmuş sxemlərin istehsalında ehtiyatsız nümunələrin genişlənməsini həyata keçirmək üçün əvəzolunmaz bir prosesdir.

Cl və F kimi çoxlu sayda aktiv sərbəst radikallar əmələ gələcək. Yarımkeçirici cihazları aşındırdıqda, alüminium ərintiləri və keramika struktur hissələri də daxil olmaqla, avadanlıqların digər hissələrinin daxili səthlərini korroziyaya uğradırlar. Bu güclü eroziya çoxlu sayda hissəciklər əmələ gətirir ki, bu da nəinki istehsal avadanlığının tez-tez saxlanılmasını tələb edir, həm də aşındırma prosesi kamerasının sıradan çıxmasına və ağır hallarda cihazın zədələnməsinə səbəb olur.

Y2o3 çox sabit kimyəvi və istilik xüsusiyyətləri olan bir materialdır. Onun ərimə nöqtəsi 2400 º-dən çoxdur. Güclü bir aşındırıcı bir mühitdə sabit qala bilər. Plazma bombardmanına qarşı müqaviməti, komponentlərin xidmət həyatını çox genişləndirə və oyun otağında hissəcikləri azalda bilər.

Əsas həlli, titrəmənin və digər əsas komponentləri qorumaq üçün yüksək saflıq Y2O3 örtüklərini sprey etməkdir.