Mocvd epitaxial vafli təmin edir

Mocvd Epitaxial Wafer Suseptor, MOCVD (metal-üzvi kimyəvi buxar çöküntüsü) avadanlıqları üçün hazırlanmış yüksək epitaxial vafli suseptorudur. Suseptor, SGL qrafit materialından hazırlanmışdır və SIC-nin əla yüksək temperaturu və korroziya müqaviməti ilə qrafitin yüksək istilik keçiriciliyini birləşdirən və yarımkeçaldır.

SGL qrafit materialı əla istilik keçiriciliyinə malikdir, epitaxial vafkarın temperaturunun böyümə prosesi zamanı bərabər paylanmasını təmin edir və epitaksial qatın keyfiyyətini yaxşılaşdırır. Örtüklü SIC örtükləri, həssaslıq 1600-dən çox olan yüksək temperaturlara tab gətirmək və MOCVD prosesində həddindən artıq istilik mühitinə uyğunlaşmaq imkanı verir. Bundan əlavə, SIC örtükləri yüksək temperaturlu reaksiya qazlarına və kimyəvi korroziyaya təsirli şəkildə müqavimət göstərə bilər, həssaslığın xidmət həyatını genişləndirir və çirklənməni azaldır.

Veteksemi'nin Mocvd Epitaxial vafli Suseptor, Aixtron kimi MOCVD avadanlığı təchizatçılarının aksesuarları üçün əvəz kimi istifadə edilə bilər.

● ölçüsü: Müştəri ehtiyaclarına görə (standart ölçü mövcuddur) uyğunlaşdırıla bilər.

● Tutma qabiliyyəti: Birdən çox və ya daha çox epitaxial wafter daşıya bilər (həssas ölçüsündən asılı olaraq).

● Səth təmizlənməsi: Sic örtük, korroziya müqaviməti, oksidləşmə müqaviməti.

● Yarımkeçirici sənaye: LED, lazer diodları və enerji yarımkeçiriciləri kimi epitaxial wafters böyüməsi üçün istifadə olunur.

● Optoelektronika sənayesi: Yüksək keyfiyyətli optoelektron cihazların epitaksial böyüməsini dəstəkləyir.

● yüksək səviyyəli material tədqiqatı və inkişafı: Yeni yarımkeçiricilərin və optoelektronik materialların epitaksial hazırlığına tətbiq olunur.

Müştərinin MOCVD avadanlıq tipinə və istehsal ehtiyaclarından asılı olaraq, Vetek yarımkeçiricisi, ən uyğun həll yolunun müştərilərə verilməsini təmin etmək üçün suseptor ölçüsü, material, səthin təmizlənməsi və s. O cümlədən xüsusi xidmətlər, maddi, səthin təmizlənməsi və s.

CVD SIC filminin kristal quruluşu

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri

Yarımkeçirici Mocvd epitaxial vafli suseptor dükanları