Tantalum karbid tac örtüyü nədir? - Veteksemikon

Tantalum Carbide (TAC) nədir?

Tantalum Karbide (TAC) keramika materialının 3880-ə qədər ərimə nöqtəsi var və yüksək ərimə nöqtəsi və yaxşı kimyəvi sabitlik olan birləşmədir. Yüksək temperatur mühitində sabit performans saxlaya bilər. Bundan əlavə, həmçinin yüksək temperatur müqaviməti, kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət və karbon materialları ilə yaxşı kimyəvi və mexaniki uyğunluq, onu ideal bir qrafit substrat qoruyucu örtük materialı halına gətirir. 

Tantalum karbid örtüyüQrafit komponentlərini isti ammiak, hidrogen, silikon buxar və əridilmiş metalın təsirindən səmərəli şəkildə qoruya bilər, qrafit komponentlərinin xidmət həyatını əhəmiyyətli dərəcədə uzatmaq və qrafitdə çirklərin miqrasiyasını məhdudlaşdırmaq, keyfiyyətini təmin etməkepitaxialvəkristal artım.

Şəkil 1. Ümumi Tantalum Carbide örtüklü komponentlər

CVD prosesi ilə TAC örtüyünün hazırlanması

Kimyəvi buxar depoziti (CVD) qrafit səthlərində Tac örtükləri istehsal etmək üçün ən yetkin və optimal metoddur.

TACL5 və Propilen'i müvafiq olaraq karbon və tantal mənbələri kimi istifadə edərək, Daşıyıcı qaz kimi, yüksək temperaturlu buxarlanmış TACL5 buxarnaməsi reaksiya otağına təqdim olunur. Hədəf temperaturu və təzyiqdə, paralemitin səthində, qrafitin səthindəki adsorbs və karbon və tantal mənbələrin parçalanması və birləşməsi kimi mürəkkəb kimyəvi reaksiyaların, habelə prekursorun məhsulu və desorbissiyası kimi bir sıra səth reaksiyaları. Nəhayət, qrafitin səthində, ekstremal ekoloji şəraitdə sabit varlığından qoruyan və qrafit materiallarının tətbiq ssenarilərini əhəmiyyətli dərəcədə genişləndirən qrafitin səthində sıx bir qoruyucu təbəqə meydana gəlir.

Şəkil 2.Kimyəvi buxar depoziti (CVD) proses prinsipi

CVD TAC örtüyünün hazırlanması prinsipləri və prosesi haqqında daha çox məlumat üçün məqaləyə baxın:CVD TAC örtüklərini necə hazırlamaq olar?

Niyə Veteksemikanı seçirsiniz?

Semikonəsasən tantal karbid məhsulları təqdim edir: tac bələdçi üzüyü, tac örtülmüş üç ləçək üzüyü,TAC örtüyü çubuq, TAC örtüklü məsaməli qrafit geniş istifadə olunur, sic kristal böyümə prosesidir; Tac örtüklü, Tac örtülmüş bələdçi üzüklü məsaməli qrafit,TAC örtülmüş qrafit vafli daşıyıcısı, TAC örtüklü həssaslıq,planetarVə bu tantal carbide örtük məhsulları geniş istifadə olunurSic epitaxy prosesivəSIC tək kristal böyümə prosesi.

Şəkil 3.VetEK yarımkeçiricinin ən populyar tantal carbide örtük məhsulları