Sic örtülmüş e-chuck

Vetek Yarımkeçirici, Çində SIC örtülmüş E-Chucks'ın aparıcı istehsalçısı və tədarükçüsüdir. Sic Coated E-Chuck, əla performans və uzun xidmət həyatı ilə, yarımkeçirici istehsalınıza hərtərəfli dəstəyi təmin etmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Güclü emal qabiliyyətimiz sizə istədiyiniz SIC keramik susepseptoru sizə təqdim etməyə imkan verir. Soruşunuzu gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Gallium nitridi (Gan) üçüncü nəsil yarımkeçircinin əsas materialına çevrildiyi kimi, yüksək tezlikli, yüksək gücü və optoelektronik sahələrdə tətbiqləri genişlənir, məsələn, 5G rabitə bazası stansiyaları, elektrik modulları və LED cihazları kimi genişlənir. Bununla birlikdə, yarımkeçirici istehsalda, xüsusən də incə işləmə prosesində, gofreti yüksək temperatur, yüksək kimyəvi korroziya mühitinə məruz qalmalı və son dərəcə yüksək dəqiqlikli bir proses tələblərinə, vafli daşıyan alətlər üçün son dərəcə yüksək texniki standartlara məruz qalmalıdır.

Vetek Yarımkeçirici SIC keramika paletləri Gan vafli etching üçün hazırlanmışdır və istehsal prosesinizi dəstəkləmək üçün yüksək təmizlik, əla istilik və kimyəvi müqavimət təklif edir. Plazma etching (ICP / Rie) prosesi üçün uyğundur və müasir yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında ideal bir seçimdir.

Əsas güclü tərəflər

1. Yüksək saflıq sic keramika materialı

Kimyəvi sabitlik: materialın təmizliyi 99,5% -dən çoxdur və Gan gofretinə çirklənmə yoxdur.

Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: yüksək tezlikli istifadəyə, görünməz dəyişikliklər və cızıqlara tab gətirə bilən almaza yaxın sərtlik.

2. Əla istilik performansı

Yüksək istilik keçiriciliyi, Termal genişlənmənin (CTE), GAN uyğun bir əmsalı: Etching prosesində vafli çatlamağın riskini azaldın.

3. Super kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət

Uzun müddətdir flüorid, xlorid və digər aşındırıcı qaz mühitinin yüksək konsentrasiyasında işləyə bilər.

4. dəqiq dizayn və emal

Səth pürüzü və düzlük, yüksək dəqiqlik tələblərinə cavab vermək üçün hamar vaflendl yerləşdirilməsini və vahidliyini təmin edir.

Ölçülər, yivlər, sabit dəliklər və digər quruluşlar müştəri tələblərinə uyğun olaraq düzəldilə bilər.