Silicon Carbide(SiC)Ceramic Gofre Boat nədir?

Yarımkeçirici yüksək temperatur proseslərində vaflilərin idarə edilməsi, dəstəklənməsi və istilik müalicəsi xüsusi dəstəkləyici komponentə - vafli qayığa əsaslanır. Prosesin temperaturu yüksəldikcə, təmizliyə və hissəciklərə nəzarət tələbləri artdıqca, ənənəvi kvars vafli qayıqlar tədricən qısa xidmət müddəti, yüksək deformasiya dərəcələri və zəif korroziyaya davamlılıq kimi problemləri ortaya qoyur.Silikon karbid (SiC) keramik vafli qayıqlarbu kontekstdə ortaya çıxdı və yüksək səviyyəli istilik emal avadanlıqlarında əsas daşıyıcıya çevrildi.

Silikon karbid (SiC) yüksək sərtliyi, yüksək istilik keçiriciliyini və əla kimyəvi sabitliyi birləşdirən mühəndislik keramika materialıdır. Yüksək temperaturda sinterləmə nəticəsində yaranan SiC keramika yalnız üstün termal şok müqaviməti nümayiş etdirmir, həm də oksidləşdirici və aşındırıcı mühitlərdə sabit quruluş və ölçüləri saxlayır. Nəticədə, vafli qayıq formasında istehsal edildikdə, diffuziya, tavlama və oksidləşmə kimi yüksək temperatur proseslərini etibarlı şəkildə dəstəkləyə bilər və bu, onu 1100°C-dən yuxarı temperaturlarda işləyən istilik prosesləri üçün xüsusilə uyğun edir.

Vafli qayıqların quruluşu adətən çoxqatlı, paralel şəbəkə konfiqurasiyası ilə dizayn edilir, eyni vaxtda onlarla və hətta yüzlərlə vafli tutmağa qadirdir. SiC keramikasının istilik genişlənmə əmsallarına nəzarətdə üstünlükləri onları yüksək temperaturda enmə və enmə prosesləri zamanı termal deformasiyaya və ya mikrokrekinqə daha az meylli edir. Bundan əlavə, yüksək temperaturda çirklənmə riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldaraq, metal çirklərinin tərkibinə ciddi şəkildə nəzarət edilə bilər. Bu, onları enerji cihazlarının, SiC MOSFET-lərin, MEMS-lərin və digər məhsulların istehsalı kimi təmizliyə son dərəcə həssas olan proseslər üçün olduqca uyğun edir.

Ənənəvi kvars vafli qayıqlarla müqayisədə, silisium karbid keramika vafli qayıqlar adətən yüksək temperatur, tez-tez istilik velosipedi şəraitində 3-5 dəfə daha uzun xidmət müddətinə malikdir. Onların daha yüksək sərtliyi və deformasiyaya qarşı müqaviməti məhsuldarlığı yaxşılaşdırmağa kömək edən daha sabit vafli düzülməsinə imkan verir. Daha da əhəmiyyətlisi, SiC materialları tez-tez isitmə və soyutma dövrləri zamanı minimal ölçülü dəyişiklikləri qoruyur, vafli qayıq deformasiyasından qaynaqlanan vafli kənarlarının qırılmasını və ya hissəciklərin tökülməsini azaldır.

İstehsal baxımından, silisium karbid vafli qayıqlar adətən reaksiya sinterləmə (RBSiC), sıx sinterləmə (SSiC) və ya təzyiqli sinterləmə yolu ilə istehsal olunur. Bəzi yüksək səviyyəli məhsullar da vafli səviyyəli dəqiqlik tələblərinə cavab vermək üçün dəqiq CNC emal və səth cilalama istifadə edir. Müxtəlif istehsalçılar arasında formula nəzarəti, çirklərin idarə edilməsi və sinterləmə proseslərindəki texniki fərqlər vafli qayıqların son performansına birbaşa təsir göstərir.

Sənaye tətbiqlərində, silisium karbid keramika vafli qayıqlar tədricən ənənəvi silikon cihazlarından üçüncü nəsil yarımkeçirici materiallara qədər istilik emal proseslərində yüksək səviyyəli avadanlıq istehsalçıları üçün üstünlük verilən seçimə çevrilir. Onlar təkcə şaquli boru sobaları və üfüqi oksidləşmə sobaları kimi müxtəlif istilik emal avadanlığı üçün uyğun deyil, həm də onların yüksək temperaturlu, yüksək korroziyalı mühitlərdə sabit işləməsi prosesin ardıcıllığına və avadanlıq tutumuna daha güclü zəmanət verir.

Silikon karbid keramika vafli qayıqlarının tədricən populyarlaşması yarımkeçirici avadanlıqların əsas dəstək komponentlərinə nüfuz edən qabaqcıl keramika materiallarının sürətlənməsini göstərir. Ənənəvi kvars materialları ilə müqayisədə onların yüksək temperaturda dayanıqlıq, struktur sərtliyi və istilik yorğunluğuna qarşı müqavimətdə üstünlükləri daha yüksək temperaturların və daha sərt proses pəncərələrinin davamlı təkamülü üçün etibarlı material əsasını təmin edir. Hal-hazırda 6 düymlük və 8 düymlük silisium karbid keramika vafli qayıqlar yarımkeçirici sənayesində enerji cihazlarının kütləvi istehsalının istilik müalicəsi proseslərində geniş istifadə olunur. 12 düymlük spesifikasiya tədricən yüksək səviyyəli proseslərə və qabaqcıl istehsal xətlərinə daxil edilir və avadanlıq və material əməkdaşlığının növbəti mərhələsi üçün mühüm istiqamətə çevrilir. Eyni zamanda, 2-4 düymlük vafli qayıqlar tədqiqat platformalarında və LED substratın emalı və prosesin yoxlanılması kimi xüsusi proses ssenarilərində rol oynamağa davam edir. Silikon karbid keramika vafli qayıqları, müvafiq keramika materialları texnologiyasının davamlı təkamülünə təkan verərək, sabitlik, ölçü nəzarəti və vafli tutumunda daha böyük üstünlüklər nümayiş etdirəcək.