Texnologiya və həllər

Düzgün CVD SiC, TaC örtüyü və ya Solid SiC seçilməsi epitaksiya/aşındırma xətlərində hissəciklərin səviyyəsini və komponentin istifadə müddətini birbaşa müəyyən edir. Bu məqalə sizə sürətli qərarlar qəbul etməyə və riski azaltmağa kömək etmək üçün əsas avadanlığın dəyişdirilməsi həlləri və əsas göstəricilərlə uyğunlaşdırılmış temperatur, atmosfer və proses üzrə aydın seçim sərhədlərini təqdim edir.

VeTek-in su ilə idarə olunan lazer texnologiyasının 2 mm SiC substratlarında heç bir daralma, minimal HAZ və yarımkeçirici tətbiqlər üçün yüksək məhsuldarlıqla vahid Φ0,15 mm deşiklər təqdim etdiyini kəşf edin.

Yarımkeçirici avadanlıqların içi boş qaldırıcı sancaqlar üçün ən çətin texniki məsələ xarici səthin örtülməsi deyil, içi boş strukturun daxili divarında sabit və vahid CVD örtüyünün əldə edilməsidir. Daxili divar örtüyünün vahidliyinə nəzarətdən tutmuş daxili buruqların təmizliyinə zəmanətə qədər, hər bir proses addımı vafli məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir. Bu məqalə içi boş qaldırıcı pin daxili divar örtüyünün əsas problemlərini və əsas texniki yolları təhlil edir.