Texnologiya və həllər

Material seçildikdən sonra tez-tez alətin performansına qərar verən şey qalınlığın vahidliyi, hissəcik səviyyəsi və təmizlik kimi ölçülə bilən ölçülərdir. Bu məqalə qəbulda və istifadədə CVD SiC örtüyünün əsas keyfiyyət ölçülərini təşkil edir, "spesifikasiya uyğunluğu"ndan "hesabat yoxlanıla bilər və risk gözlənilə bilər"ə keçməyə kömək edir.

Bu məqalə CVD SiC örtüyünün, TaC örtüyünün və Bərk SiC-nin temperatur, atmosfer və proses növünə görə tətbiq sərhədlərini və tipik ssenarilərini təsvir edir, epitaksiya və aşındırma mühəndislərinə seçim zamanı proses pəncərələrini tez bir zamanda uyğunlaşdırmağa və material-şəziyyət uyğunsuzluğundan yaranan hissəcik və ömür boyu risklərdən qaçmağa kömək edir.

Aixtron G10, Veeco, ASM susseptorları və əvvəlcədən isitmə halqaları üçün uyğunluq və dəyişdirmə həlləri. 1:1 çertyoj əsaslı fərdiləşdirməni, standart hissələrin sürətli çatdırılmasını, xüsusi hissələr üçün 3-6 həftə, yoxlama hesabatları və nümunə qiymətləndirilməsini dəstəkləyir.

Düzgün CVD SiC, TaC örtüyü və ya Solid SiC seçilməsi epitaksiya/aşındırma xətlərində hissəciklərin səviyyəsini və komponentin istifadə müddətini birbaşa müəyyən edir. Bu məqalə sizə sürətli qərarlar qəbul etməyə və riski azaltmağa kömək etmək üçün əsas avadanlığın dəyişdirilməsi həlləri və əsas göstəricilərlə uyğunlaşdırılmış temperatur, atmosfer və proses üzrə aydın seçim sərhədlərini təqdim edir.