Material seçildikdən sonra tez-tez alətin performansına qərar verən şey qalınlığın vahidliyi, hissəcik səviyyəsi və təmizlik kimi ölçülə bilən ölçülərdir. Bu məqalə qəbulda və istifadədə CVD SiC örtüyünün əsas keyfiyyət ölçülərini təşkil edir, "spesifikasiya uyğunluğu"ndan "hesabat yoxlanıla bilər və risk gözlənilə bilər"ə keçməyə kömək edir.

1.Niyə qalınlığın vahidliyi istilik sahəsinə və film performansına birbaşa təsir edir?

Əsas Nəticə:Qeyri-bərabər örtük qalınlığı yerli istilik müqavimətini və səthin vəziyyətini dəyişir, bu da öz növbəsində temperaturun vahidliyinə və epitaksial film qalınlığının paylanmasına təsir göstərir. Tipik bir mühəndislik hədəfi, yalnız orta qiymətə baxmaqla yanaşı, hissənin kritik zonalarında yerləşdirilmiş ölçmə nöqtələri ilə ±5% daxilində qalınlığın vahidliyinə nəzarət etməkdir.

Qəbuledicilər və əvvəlcədən qızdırma halqaları kimi isti zona hissələri üçün örtük həm kimyəvi maneə, həm də istilik yolunun bir hissəsidir. Eyni nominal qalınlıq altında, kənar və mərkəz arasında və ya yivlər və düz sahələr arasında böyük sapmalar proses pəncərəsinin kənarında vahidliyin dəyişməsini gücləndirə bilər.

Qalınlıqla əlaqəli əşyalar

• Nominal qalınlıq və dözümlülük diapazonu (proses və hissə strukturuna uyğundur)

• Çox nöqtəli vahidlik (mərkəzi, kənar və struktur keçid zonalarını əhatə etməyi tövsiyə edin)

• Tənqidi və tənqidi olmayan üzlər arasındakı fərqlərin məqbul diapazonda olub-olmaması

2.Hissəciklərə nəzarət üçün hansı ölçülə bilən ölçülərə ehtiyac var?

Əsas Nəticə:Hissəciklərə nəzarət “aşağı hissəciklər”də dayana bilməz. İstifadədə səthin təmizliyinə, sıxlığına və tozlanma riskinə düşməlidir. Mühəndislik təcrübəsi tez-tez daxil olanda və alətdən istifadə etməzdən əvvəl yoxlama elementləri kimi vahid sahəyə düşən hissəciklərdən, səth pürüzlülüyündən və örtük bütövlüyündən istifadə edir. Hədəf hissəcik səviyyəsi ≤0.1/sm² sırasına istinad edə bilər və hər bir bitki prosesi üçün bərkidilə və ya rahatlaşa bilər.

Epitaksiya və aşındırma hissəciklərə həssasdır. Əgər örtük məsaməli, mikro çatlamış və ya yerli olaraq çox qalın/nazikdirsə, müəyyən istifadədən sonra onun hissəcik mənbəyinə çevrilməsi ehtimalı daha yüksəkdir. Daxil olan qəbul zamanı səthin vəziyyətini aydınlaşdırmaq, problemlər yarandıqdan sonra günahı təyin etməkdən daha effektivdir.

Hissəcik və Səthi Yoxlama Nöqtələri

• Görünüş: vahid rəng, aşkar çuxurlar, blisterlər və ya delaminasiya yoxdur

• Səth pürüzlülüyünün (Ra) razılaşdırılmış diapazonda olub-olmaması

• Hissəcik və ya təmizlik hesabatlarının təqdim edilib-edilməməsi (qarşılıqlı razılaşdırılmış sınaq metodlarına görə)

3.Daxil olan yoxlama zamanı təmizliyi, qalınlığı və səth vəziyyətini necə yoxlamaq olar?

Əsas Nəticə:GDMS/ICP-OES təmizlik hesabatlarını, qalınlıq və vahidlik məlumatlarını, görünüşü və kritik ölçüləri standart gələn paket kimi qəbul etmək tövsiyə olunur. Kaplama təmizliyi 5 ppm-dən aşağı ola bilər; bəzi partiyalar 99,99995%-ə çatır. Hesabatlar izlənilmək üçün xüsusi lotlara və hissələrə uyğunlaşdırılmalıdır.

İcra edilə bilən qəbul siyahısı şifahi "spesifikasiyaya cavab verir" dən daha faydalıdır. Aşağıdakı maddələr zavod tələblərinə uyğunlaşdırıla və satınalma və IQC sənədlərinə yazıla bilər.

Tövsiyə olunan Gələn Yoxlama Siyahısı

Alətdə istifadə etməzdən əvvəl, temperaturun vahidliyinin və hissəciklərin performansının nümunə yoxlaması hələ də tövsiyə olunur. Keçid hesabatı proses pəncərəsində optimal performansa zəmanət vermir, lakin o, alətə qüsurlu partiyanın buraxılması şansını xeyli azalda bilər.

4.Keyfiyyətin uyğunlaşdırılmasında mühəndislər üçün praktiki tövsiyələr

Əsas Nəticə:Qalınlığın vahidliyini, hissəcikləri/səthi və təmizliyi icra edilə bilən qəbul müddəalarına yazın və hesabatların lotlarla bir-bir xəritələşdirilməsini tələb edin. Anomaliyalar baş verdikdə, əvvəlcə eyni lot üzrə digər alətləri müqayisə edin və dəyişiklikləri proses edin, sonra material həllini təkmilləşdirməyə qərar verin.

Tövsiyə olunan ardıcıllıq:

1. Satınalma spesifikasiyasında qalınlığa dözümlülük, vahidlik hədəfi, təmizlik metodu və məhdudiyyətləri və görünüş tələblərini müəyyən edin.

2. Gələndə hesabatı fiziki lotla yoxlayın; kritik ölçülər və görünüş nümunələri.

3. Yeni lot və ya proses dəyişikliyindən sonra hissəcikləri və vahidliyi yoxlamaq üçün alətdə kiçik bir partiyanı işə salın.

4. İstifadə müddəti və ya hissəciklər anormal olduqda, örtük məlumatlarını və soba/proses şərtlərini paralel olaraq araşdırın; tək səbəbli atributdan çəkinin.

5.Case Study: Orta qalınlığın keçdiyi, lakin kənarın uğursuz olduğu bir qəbul boşluğu

Əsas Nəticə:Yalnız orta qalınlığı bildirmək kifayət deyil. Kənarda və struktur keçid zonalarında yerli incəlmə və ya qalınlaşma birbaşa hissəcik və istilik sahəsi riskini artırır. Qəbul çox nöqtəli vahidliyi və ölçmə yerlərini müəyyən etməlidir - təkcə diskin orta göstəricisinin nominal dözümlülük daxilində olub-olmadığını deyil.

Mühəndislik Qeyd:

sonra aSiC epitaksiyasıxətt yeni bir spesifikasiya təqdim etdiCVD SiC ilə örtülmüşdürIQC tədarükçü hesabatını yoxladı: nominal qalınlıq və diskin orta qalınlığı razılaşdırılmış tolerantlıq daxilində idi, GDMS təmizliyi keçdi və görünüş heç bir aşkar anomaliya göstərmədi, buna görə də lot alətə buraxıldı. Təxminən iyirmi qaçışdan sonra bəzi qablar dəfələrlə vaflinin kənarında müvafiq bölgədə yüksələn hissəciklər və yerli filmin incəlməsini göstərdi, eyni lotdan olan digər qablar isə normal fəaliyyət göstərdi. Əvvəlcə proses qazının paylanmasından şübhələnirdilər, lakin eyni kamera köhnə spesifikasiyalı qablara dəyişdirildikdə, kənar məsələ aydın şəkildə azaldı və yeni partiyanın özünə işarə etdi. Uğursuz hissələrin eyni partiyalı normal hissələrə qarşı çox nöqtəli qalınlığının ölçülməsi sonra göstərdi: diskin orta göstəricisi həqiqətən spesifik idi, lakin xarici halqaya yaxın nöqtələr sistematik olaraq təxminən 8% -12% nazik idi, artıq zavodun daxili vahidlik hədəfindən artıq ±5% kənarda; nazik zonalar yüksək hissəcik zonaları ilə çox üst-üstə düşürdü. Kök səbəb yivlərdə və xarici halqada çökmə sürətinin həmin struktur üçün tam olaraq kalibrlənməməsidir; gedən hesabat razılaşdırılmış çoxnöqtəli bölgü olmadan yalnız orta göstəricini təqdim etdi. Daha sonra xətt məcburi daxil olan yoxlamalara "mərkəz + kənar + yiv keçidi" çox nöqtəli vahidliyi yazdı və ölçmə nöqtəsi xəritəsini daxil etmək üçün tələb olunan hesabatlar. Təchizatçı sonrakı lotlarda xarici halqa proses pəncərəsini tənzimlədikdən sonra kənar hissəciklər və film qalınlığının dəyişməsi tarixi səviyyələrə qayıtdı. Bu hal göstərir ki, spesifikasiyada orta göstərici vahidlik demək deyil. İstilik cəhətdən həssas olan həssas qurğular üçün çox nöqtəli qalınlıq və yer məlumatı olmadan qəbul yerli qüsurların xəttə keçməsinə imkan verə bilər. Ölçmə nöqtəsi planını və ±5% kimi vahidlik hədəfini spesifikasiyaya yazmaq, sonradan “hesabatın məqbul olub-olmadığını” mübahisə etməkdən daha effektivdir.

6.Tez-tez verilən suallar

1. ±5% qalınlığın vahidliyi məcburi standartdırmı?

Bu, unikal hüquqi standart deyil, ümumi mühəndislik hədəfidir. Daha sıx və ya bir qədər geniş diapazon hissələrin strukturuna və prosesin həssaslığına əsasən təchizatçı ilə razılaşdırıla bilər. Önəmli olan ölçmə nöqtəsinin əhatə dairəsi və hesabatın izlənilməsidir.

2. ≤0,1/sm² bütün proseslərə aiddirmi?

Bu, böyüklüyün istinad sırasıdır. Yekun meyarlar zavodun kamerasına, prosesinə və məhsuldarlıq tələblərinə uyğun olmalıdır, spesifikasiyada yazılan sınaq metodu və mühakimə qaydaları.

3. Təkcə təmizlik hesabatı kifayətdirmi?

Xeyr. Ən azı, təmizlik, qalınlıq/vahidlik və görünüş (əlavə olaraq razılaşdırılmış səth göstəriciləri) birlikdə mövcud olmalıdır; ölçü uyğunluğu alətdən istifadəyə də təsir edir.

4. Əgər hesabat keçsə, lakin alətdə olan hissəciklər hələ də yüksəkdirsə?

Əvvəlcə eyni lot üzrə digər alətləri, son proses/xidmət dəyişikliklərini və təmizləmə vəziyyətini müqayisə edin, sonra örtük məhlulunun və ya proses pəncərəsinin tənzimlənməsinə ehtiyac olub-olmadığını qiymətləndirin. Lazım gələrsə, seçim-qərar və avadanlıq uyğunluğu klaster səhifələri ilə çarpaz yoxlayın.

5. VeTek keyfiyyətlə bağlı hansı dəstəyi təmin edə bilər?

GDMS/ICP-OES və oxşar analiz hesabatları, qalınlıq və vahidlik məlumatları, nümunənin yoxlanılması və anomaliyalar üzrə texniki rabitə (o cümlədən ingilis dilində) təqdim edilə bilər.

7.Xülasə və Növbəti Addımlar

Düzgün material seçildikdən sonra qalınlığın vahidliyi, hissəciklərə nəzarət və təmizlik müəyyən bir partiyanın proses pəncərəsinə sabit şəkildə daxil olub-olmamasına qərar verir. Bu üçünü yoxlanıla bilən qəbul müddəalarına yazmaq və hesabatların lotlara bölünməsini israr etmək, alətdə riski azaltmağın ən birbaşa yoludur.

Müəyyən bir hissə üçün qəbul göstəricilərinə ehtiyacınız varsa və ya hesabatları şərh etməyə kömək edirsinizsə, VeTek texniki komandası ilə əlaqə saxlaya bilərsiniz. Dr. Xiao və mühəndis qrupu spesifikasiyanın uyğunlaşdırılması, nümunənin yoxlanılması və anomaliya təhlili ilə kömək edə bilər.

Seçim məntiqi üçün bax:VETEK | Proses şərtlərinə görə SiC Örtüyü, TaC Örtüyü və ya Bərk SiC-ni necə seçmək olar; tam çərçivə üçün sütun səhifəsinə baxınEpitaksiya və aşındırma proseslərində CVD SiC, TaC və Bərk SiC-nin Performans Sərhədləri.

Əsas İstinadlar və Məlumat Mənbələri

1. VeTek Semiconductor daxili mühəndislik və müştəri qəbulu təcrübəsi.

2. Yarımkeçirici epitaksiya və aşındırma avadanlığı üçün CVD Örtük İstehlak Mallarının Seçilməsi Mühəndisliyi Təlimatında təmizlik, qalınlığın vahidliyi və hissəciklərə nəzarət üzrə metrik təsvirlər.

3. VeTek rəsmi saytı məhsul və texniki materiallar: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

Qeyd: Mətndə vahidlik, hissəcik və təmizlik rəqəmləri tipik mühəndislik istinadlarıdır; faktiki dəyərlər müqavilə spesifikasiyalarına və ölçülmüş nəticələrə uyğundur.

Müəllif: VeTek Yarımkeçirici Texniki Mühəndislik Komandası (Dr. Xiaonun rəhbərliyi altında tamamlandı)

Əlavə texniki müzakirə və ya nümunə qiymətləndirməsi üçün rəsmi internet saytı vasitəsilə bizimlə əlaqə saxlayın.