Məhsullar
TaC örtük halqası
  • TaC örtük halqasıTaC örtük halqası

TaC örtük halqası

TaC örtük halqası yarımkeçirici proseslərdə istifadə üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı komponentdir, VeTek yarımkeçirici TaC örtük halqası yüksək istilik sabitliyinə, kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimətə və əla mexaniki gücə malikdir və xüsusi olaraq aşındırma prosesi zamanı SiC vaflilərini saxlamaq və dəstəkləmək üçün istifadə olunur, yüksək keyfiyyətli vaflilərə nail olmaq üçün dəqiq nəzarət və davamlılığın vacib olduğu yerlərdə. biz sizin əlavə məsləhətləşmənizi gözləyirik.

Vetek yarımkeçiricisi TAC örtüklü halqası yüksək keyfiyyətli qrafitdən hazırlanmış və üstün xüsusiyyətləri ilə tanınan bir material, yarımkeçirici vaffer emalında əvəzolunmaz bir komponentdir.


Vetek yarımkeçirici Tac örtüklü halqanın əsas xüsusiyyətləri və faydaları:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

● Yüksək istilik sabitliyi: Tantal Karbid Kaplama Üzükünün diqqətəlayiq xüsusiyyətlərindən biri onun yüksək temperaturlara tab gətirmək qabiliyyətidir, yarımkeçirici aşındırmada mühüm amildir. SiC aşındırma prosesi yüksək temperaturlara və reaktiv qazlara məruz qalmağı əhatə edir və Tantal Carbide örtüyü halqanın sabit qalmasını və hətta bu sərt şəraitdə də struktur bütövlüyünü saxlamasını təmin edir. Bu istilik davamlılığı komponentin uzun müddət ərzində optimal şəkildə işləməyə davam etməsini təmin edir.


● İnkişaf etmiş mexaniki güc: Yüksək güclü qrafit və TAC örtüklərinin birləşməsi, inkişaf etmiş mexaniki xüsusiyyətləri olan bir komponentlə nəticələnir, TAC örtülmüş halqanın aşınmasına və yırtılmasına davamlıdır. Onun mexaniki gücü, sic gofrets-in yerində möhkəm bir şəkildə saxlanılması və proses zamanı hər hansı bir deformasiyanın qarşısını alan bir yerdə möhkəm bir yerdə çox vacibdir.


●  Kimyəvi Korroziyaya Müqavimət: SIC etching kimi yarımkeçirici proseslərdə, komponentlər tez-tez aqressiv kimyəvi maddələrə və reaktiv qazlara məruz qalır. Tantalum karbid örtüyü korroziyaya qarşı əla qorunma təmin edir, üzükün faydalı ömrünü xeyli uzataraq tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını minimuma endirir. Bu müqavimət, komponentlərin kimyəvi cəhətdən reaktiv maddələrlə daim təmasda olduğu ayırma prosesində xüsusilə vacibdir.


● İnkişaf etmiş performans üçün üstün Coatitac örtükləri: Qrafit halqasında tantal carbide örtüyü komponentin ümumi performansını artıran möhkəm bir səth təmin edir. Tantalum karbidi yüksək ərimə nöqtəsi (təxminən 3,880 ° C) və kimyəvi reaksiyalara, xüsusən də yarımkeçirici istehsal prosesləri zamanı rast gəlinən aqressiv mühitlərdə kimyəvi reaksiyalara qarşı əla müqaviməti ilə məşhurdur. Bu tantalum karbid örtüyü, örtülmüş qrafit üzükləri ilə müqayisədə üstün davamlılıq təmin edən məhsulun ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır.


● İnkişaf etmiş mexaniki güc: Yüksək güclü qrafit və TAC örtüklərinin birləşməsi, inkişaf etmiş mexaniki xüsusiyyətləri olan bir komponentlə nəticələnir, TAC örtülmüş halqanın aşınmasına və yırtılmasına davamlıdır. Onun mexaniki gücü, sic gofrets-in yerində möhkəm bir şəkildə saxlanılması və proses zamanı hər hansı bir deformasiyanın qarşısını alan bir yerdə möhkəm bir yerdə çox vacibdir.


Çində istehsalçı və fabrikin aparıcı TAC örtükləri, istehsalçı və fabrik, Vetek yarımkeçiricisi, Yarımkeçirici emal sənayesi üçün qabaqcıl Tac örtüklü üzük məhsulları və texniki həllər və xüsusi məhsul xidmətlərini dəstəkləmək üçün çoxdan irəli gəldi. Veteksemi səmimi olaraq Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağı səbirsizliklə gözləyir.


TAC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri

TAC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri
TaC örtük sıxlığı
14.3 (g / cm³)
Xüsusi emissiya
0.3
Termal genişlənmə əmsalı
6.3*10-6/ K
TaC örtük sərtliyi (HK)
2000 hk
Müqavimət
1 × 10-5Ohm * sm
Termik sabitlik
<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir
-10 ~ -20um
Örtük qalınlığı
≥20um tipik dəyər (35um±10um)

VeTek yarımkeçiricinin TaC Coating Ring məhsul mağazaları

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


Qaynar Teqlər: Tac örtük üzüyü
Sorğu göndərin
Əlaqə məlumatı
Silikon Karbid Kaplama, Tantal Karbid Kaplama, Xüsusi Qrafit və ya qiymət siyahısı ilə bağlı suallarınız üçün bizə e-poçtunuzu buraxın və biz 24 saat ərzində əlaqə saxlayacağıq.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept