Silikon epitaksiyası

Silicon Epitaxy, EPI, Epitaxy, Epitaxial tək kristal silisium substratında eyni kristal istiqaməti və fərqli kristal qalınlığı olan bir kristal təbəqəsinin böyüməsinə aiddir. Yarımkeçirici diskret komponentlərin və inteqral sxemlərin istehsalı üçün epitaksial böyümə texnologiyası tələb olunur, çünki yarımkeçiricilərdə olan çirklərə N tipli və P tipli daxildir. Yarımkeçirici qurğular müxtəlif növlərin birləşməsi sayəsində müxtəlif funksiyalar nümayiş etdirirlər.

Silikon epitaksiyanın böyüməsi üsulu qaz fazalı epitaksiyaya, maye fazalı epitaksiyaya (LPE), bərk fazalı epitaksiyaya bölünə bilər, qəfəs bütövlüyünü təmin etmək üçün dünyada kimyəvi buxar çökmə artımı üsulu geniş istifadə olunur.

Tipik silisium epitaksial avadanlıq, pancake epitaksial hipnotik tor, barrel tipli hipnotik tor, yarımkeçirici hipnotik, vafli daşıyıcı və s. olan İtaliyanın LPE şirkəti tərəfindən təmsil olunur. Barelşəkilli epitaksial hi-pelektor reaksiya kamerasının sxematik diaqramı aşağıdakı kimidir. VeTek Semiconductor çəllək formalı plafli epitaksial hypelektor təmin edə bilər. SiC örtüklü HY pelektorun keyfiyyəti çox yetkindir. SGL-ə ekvivalent keyfiyyət; Eyni zamanda, VeTek Semiconductor, həmçinin silikon epitaksial reaksiyalı boşluqlu kvars nozzle, kvars qabığı, zəng qabı və digər tam məhsullar təqdim edə bilər.

Silikon epitaksiya üçün şaquli epitaksial həssas:

VeTek Semiconductor-un əsas şaquli epitaksial həssas məhsulları

EPI üçün SiC Örtülü Qrafit Barrel Suseptor SiC ilə örtülmüş çəllək tutucusu CVD SiC ilə örtülmüş çəllək tutucusu LPE SI EPI reseptor dəsti

Silikon epitaksiya üçün üfüqi epitaksial həssas:

Vetek Semiconductor-un əsas horizontal epitaksial həssas məhsulları

SiC örtüklü monokristal silisium epitaksial qab LPE PE2061S üçün SiC örtüklü dəstək Qrafit fırlanan qəbuledici