Epi tərəfdarı

Vetek Yarımkeçirici, Peşəkar lider Çin EPI, Ald Planetary Tugor və Tac örtüklü qrafit dəstək istehsalçısıdır. və EPI dəstəyimiz vacib bir komponentdirepitaxial böyüməYarımkeçirici istehsal prosesində. Onun əsas funksiyası, yüksək keyfiyyətli epitaxial təbəqənin gofret səthində bərabər şəkildə böyüməsi üçün vafleri dəstəkləmək və qızdırmaqdır.

Vetek Yarımkeçiricilərin EPI həssaslıqları ümumiyyətlə yüksək saflıq qrafitindən hazırlanmış və bir təbəqə silikon karbid (SIC) ilə örtülmüşdür.Bu dizayn aşağıdakı əsas üstünlüklərə malikdir:

● Yüksək temperatur sabitliyi: EPI suseptoru epitaksial qatın vahid böyüməsini təmin edən yüksək temperatur mühitində sabit qala bilər.

● Korroziyaya qarşı müqavimət: SIC örtükləri əla korroziyaya qarşı müqavimət göstərir və kimyəvi qazların eroziyasına müqavimət göstərərək, tepsinin xidmət həyatını uzadır.

● istilik keçiriciliyi: SIC materialının yüksək istilik keçiriciliyi istilik zamanı voberin vahid temperatur yayılmasını təmin edir və bununla da epitaksial qatın keyfiyyətini yaxşılaşdırmağı təmin edir.

● Termal genişləndirmə əmsalı uyğunluğu: SIC termal genişləndirmə əmsalı, istilik genişlənməsi və daralma səbəbindən örtük tökmə problemindən qaçaraq qrafitə bənzəyir.

Əsas fiziki xüsusiyyətləriCVD sic örtük:

CVD SIC örtük istehsal mağazası:

Yarımkeçirici Chip Epitaxy Sənaye Zəncirinə Baxış: