SiC ilə örtülmüş çəllək tutucusu

Vetek yarımkeçiricisi, bir aparıcı Çin SIC örtükləri və TAC örtük istehsalçısı, təchizatçı və ixracatçıdır. Mükəmməl keyfiyyət keyfiyyətinin arxasınca əməl etmək, beləliklə, SIC örtülmüş barel suseptorumuz bir çox müştəri tərəfindən məmnun olmasıdır. Həddindən artıq dizayn, keyfiyyətli xammal, yüksək performans və rəqabət qiyməti hər bir müştərinin istədiyi şeydir və bu da sizə təklif edə biləcəyimiz budur. Əlbəttə ki, də vacib satış sonrası xidmətimizdir. SIC örtülmüş barel Suseptor Xidmətlərimizlə maraqlanırsınızsa, indi bizə müraciət edə bilərsiniz, vaxtında sizə cavab verəcəyik!

VeTek Yarımkeçirici SiC Örtülü Barrel Susceptor əsasən LPE Si EPI reaktorları üçün istifadə olunur.

LPE (Maye Faza Epitaksiyası) silikon epitaksiyası, silikon substratlar üzərində nazik kristal silisium təbəqələrinin çökdürülməsi üçün tez-tez istifadə olunan yarımkeçirici epitaksial böyümə üsuludur. Kristal böyüməsinə nail olmaq üçün məhlulda kimyəvi reaksiyalara əsaslanan maye fazalı böyümə üsuludur.

LPE Silikon Epitaxy'nin əsas prinsipi, substratın istədiyi materialı, temperaturu və həll tərkibi olan, həllindəki materialın tək kristal silikon təbəqəsi kimi böyüdüyünə imkan verən bir həll yolu ilə həll edilməsini əhatə edir substrat səthində. Epitaksial böyümə zamanı böyümə şərtlərini və həll tərkibini tənzimləməklə, istədikləri büllur keyfiyyəti, qalınlığı və dopinq konsentrasiyası əldə edilə bilər.

LPE Silikon Epitaxy bir neçə xüsusiyyət və üstünlük təklif edir. Birincisi, bu, nisbətən aşağı temperaturda, istilik stresini azaltmaq və materialdakı çirklənmə yayılmasını azaltmaq olar. İkincisi, LPE Silikon Epitaxy yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici qurğular istehsal etmək üçün uyğun yüksək vahid və əla büllur keyfiyyətini təmin edir. Bundan əlavə, LPE texnologiyası çox-qatlı və heterostruktur kimi mürəkkəb quruluşların böyüməsinə imkan verir.

LPE silisium epitaksiyasında, SiC ilə örtülmüş çəllək süpürgəsi həlledici epitaksial komponentdir. Tipik olaraq, temperatur və atmosfer nəzarətini təmin edərkən epitaksial böyümə üçün tələb olunan silikon substratları saxlamaq və dəstəkləmək üçün istifadə olunur. SiC örtüyü epitaksial böyümə prosesinin tələblərinə cavab verən həssaslığın yüksək temperaturda davamlılığını və kimyəvi dayanıqlığını artırır. SiC ilə örtülmüş çəllək süpürgəçisindən istifadə etməklə, epitaksial böyümənin səmərəliliyi və ardıcıllığı yaxşılaşdırıla bilər, yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrin böyüməsini təmin etmək olar.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

VeTek yarımkeçiriciSic örtülmüş barel suseptor istehsal sexləri