Məhsullar

Silikon Karbid Kaplama

VeTek Semiconductor ultra təmiz Silikon Karbid Kaplama məhsullarının istehsalında ixtisaslaşır, bu örtüklər təmizlənmiş qrafit, keramika və odadavamlı metal komponentlərə tətbiq olunmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur.


Yüksək təmizlikli örtüklərimiz əsasən yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində istifadə üçün nəzərdə tutulub. Onlar vafli daşıyıcıları, qəbulediciləri və qızdırıcı elementləri MOCVD və EPI kimi proseslərdə rast gəlinən aşındırıcı və reaktiv mühitlərdən qoruyan qoruyucu təbəqə rolunu oynayır. Bu proseslər vafli emalı və cihaz istehsalının ayrılmaz hissəsidir. Bundan əlavə, örtüklərimiz yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərinin rast gəlindiyi vakuum sobalarında və nümunənin qızdırılmasında tətbiqlər üçün çox uyğundur.


VeTek Semiconductor-da biz qabaqcıl maşın sexi imkanlarımızla hərtərəfli həll təklif edirik. Bu, bizə qrafit, keramika və ya odadavamlı metallardan istifadə edərək əsas komponentləri istehsal etməyə və SiC və ya TaC keramika örtüklərini evdə tətbiq etməyə imkan verir. Biz, həmçinin, müxtəlif ehtiyacları ödəmək üçün çevikliyi təmin edərək, müştəri tərəfindən təchiz edilmiş hissələr üçün örtük xidmətləri təqdim edirik.


Silikon Karbid Kaplama məhsullarımız Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD sistemi, RTP/RTA prosesində, aşındırma prosesində, ICP/PSS aşındırma prosesində, mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV daxil olmaqla müxtəlif LED növləri prosesində geniş istifadə olunur. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI və digər avadanlıqlara uyğunlaşdırılmış LED və s. s.


Biz edə biləcəyimiz reaktor hissələri:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Silikon Karbid Kaplama bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Yarımkeçirici Silikon Karbid Kaplama Parametri

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak Tipik Dəyər
Kristal strukturu FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
SiC örtük sıxlığı 3,21 q/sm³
SiC örtüyüSərtlik 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü 2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq 99.99995%
İstilik tutumu 640 J·kq-1· K-1
Sublimasiya temperaturu 2700 ℃
Bükülmə Gücü 415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi 300W·m-1· K-1
Termal Genişlənmə (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Epi tərəfdarı

Epi tərəfdarı

EPI Suseptor, tələb olunan epitaxial avadanlıq tətbiqləri üçün hazırlanmışdır. Yüksək saflıq silikon karbid (SIC) örtülmüş qrafit quruluşu, ardıcıl epitaxial təbəqə qalınlığı və müqavimət və uzunmüddətli kimyəvi müqavimət üçün əla istilik müqaviməti, vahid istilik vahidliyi təklif edir. Sizinlə əməkdaşlıq gözləyirik.
Sic örtük wafer daşıyıcısı

Sic örtük wafer daşıyıcısı

Peşəkar SIC örtüklü vafli daşıyıcı istehsalçısı və təchizatçı kimi Vetek yarımkeçiricinin SIC örtükləri, yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərdə onların sabitliyini və bütövlüyünü təmin edərək epitaxial təbəqənin böyüməsi vahidliyini artırmaq üçün istifadə olunur.
Üstünlüyü aldatmaq

Üstünlüyü aldatmaq

Vetek yarımkeçiricisi Çin peşəkar bir ald suseptor istehsalçısıdır. Vetek, ALD prosesinin yüksək tələblərinə cavab vermək üçün ALD sistem istehsalçıları olan Sic-örtüklü Ald Planetary əsaslarını birgə inkişaf etdirdi və istehsal etdi. Məsləhətləşmənizi salamlayın.
Cvd sic örtülmüş tavan

Cvd sic örtülmüş tavan

Vetek Yarımkeçirici CVD SIC ilə örtülmüş tavan, yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya qarşı müqavimət, yüksək sərtlik və aşağı istilik genişləndirmə əmsalı kimi əla xüsusiyyətlərə malikdir, bu, yarımkeçirici istehsal Bir Çin lider bir CVD SIC ilə örtülmüş tavan istehsalçısı və təchizatçı kimi Vetek yarımkeçiricisi məsləhətləşməni gözləyir.
Mocvd epi suscepter

Mocvd epi suscepter

Vetek Yarımkeçirici, Çində Mocvd LED EPI suseptorunun peşəkar istehsalçısıdır. Mocvd LED EPI Suseptor, epitaksial avadanlıq tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək istilik keçiriciliyi, kimyəvi sabitlik və davamlılıq, sabit epitaxial böyümə prosesini və yarımkeçirici film istehsalını təmin etmək üçün əsas amillərdir.
Sic örtük ald suseptor

Sic örtük ald suseptor

SIC örtüyü Ald Suseptor, atom təbəqəsi çöküntüsündə (ALD) prosesində istifadə olunan dəstək komponentidir. Ald avadanlıqlarda əsas rol oynayır, çökmə prosesinin vahidliyini və dəqiqliyini təmin edir. İnanırıq ki, Ald Planetary Suseptor Məhsullarımız sizə yüksək keyfiyyətli məhsul həlləri gətirə bilər.
Çində peşəkar Silikon Karbid Kaplama istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Silikon Karbid Kaplama almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept