Silikon karbid keramika örtüyü

Yarımkeçirici Silikon karbid keramika örtüyüMükəmməl kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət və yüksək temperatur sabitliyini təmin edən son dərəcə sərt və aşınmaya davamlı silikon karbiddən (SIC) materialdan hazırlanmış yüksək performanslı qoruyucu örtükdür. Bu xüsusiyyətlər yarımkeçirici istehsalda çox vacibdir, buna görə silikon karbid keramika örtüyü, yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarının əsas komponentlərində geniş istifadə olunur.

Vetek yarımkeçirici silikon sidicon karbid seramik örtüyünün ifa etdiyi xüsusi rol, yarımkeçirici istehsaldırbelə:

Avadanlıqların davamlılığını artırın: Silikon karbid keramika örtüyü son dərəcə yüksək sərtliyi və aşınma müqaviməti ilə yarımkeçirici istehsal avadanlığı üçün əla səthdən qorunma təmin edir. Xüsusilə yüksək temperaturda, yüksək temperaturda, yüksək temperaturda, kimyəvi buxarlanma (CVD) və plazma etching kimi, silikon karbid keramika örtüyü, kimyəvi eroziya və ya fiziki aşınma səbəbindən avadanlıq səthinə zərərin qarşısını alır, bununla da tez-tez dəyişdirilmə və istismardan yaranan iş vaxtının azaldılması.

Proses təmizliyini yaxşılaşdırın: Yarımkeçirici istehsal prosesində hər hansı bir kiçik çirklənmə məhsul qüsurlarına səbəb ola bilər. Silikon karbidli keramika örtüyünün kimyəvi inertliyi, həddindən artıq şəraitdə sabit qalmağa, materialın hissəciklərinin və ya çirklərin sərbəst buraxılmasının qarşısını alır və proses zamanı ətraf mühitin təmizliyini təmin edir. Bu, PECVD və İon implantasiyası kimi yüksək dəqiqlik və yüksək təmizlik tələb edən addımlar istehsal etmək üçün xüsusilə vacibdir.

Termal rəhbərliyini optimallaşdırın: Sürətli istilik emalı (RTP) və oksidləşmə prosesləri, silikon karbid keramika örtüklərinin yüksək istilik keçiriciliyi kimi yüksək temperaturlu yarımkeçirici emalda avadanlıqların içərisində vahid temperatur paylanmasına imkan verir. Bu, temperatur dalğalanmalarının yaranan termal stress və maddi deformasiyanın azalmasına kömək edir, bununla da məhsul istehsalının dəqiqliyini və ardıcıllığını artırır.

Kompleks proses mühitini dəstəkləyin: ICP etching və PSS-lər kimi mürəkkəb atmosfer nəzarəti tələb edən proseslərdə, silikon karbid keramik örtüklü qızdırıcısının sabitliyi və oksidləşmə müqaviməti, ətraf mühitin dəyişiklikləri səbəbindən maddi pozulma və ya avadanlıq zərərinin azaldılması riskini azaltmaqla, uzunmüddətli əməliyyatda avadanlıqların sabit işini təmin edir.

Yarımkeçiriciİstehsal və yüksək performans təmin etmək üçün diqqət yetirirSilikon karbid keramika örtüyüvə yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həllərini təmin etmək üçün qərarlıdır.Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağınıza ürəkdən ümid edirik.

Əsas fiziki xüsusiyyətləriSilikon karbid keramika örtüyü:

Vetek yarımkeçirici silikon karbid keramika örtükləri:

Yarımkeçirici Chip Epitaxy Sənaye Zəncirinə Baxış: