silikon karbid keramika örtük qızdırıcısı

YarımkeçiriciSilikon Carbide Ceramic Coating Qızdırıcısı, yüksək temperatur və sərt mühit üçün hazırlanmış bir qızdırıcıdır. İstilik elementinin səthində silikon karbon keramika örtüyü (sic) bir qat, avadanlıqlara əla istilik müqaviməti, korroziya müqaviməti və istilik keçiriciliyi vermək üçün istilik elementinin səthində örtmək. 

Silikon karbid keramika örtük qızdırıcısıəsasən vakuum örtük (buxarlanma) avadanlıqlarında istifadə olunur. Tez-tez istifadə olunan metodlar PCD (plazma kimyəvi qurutma) və pvd (fiziki buxar çökməsi), yarımkeçirici istehsal və digər yüksək tələbat sənaye tətbiqlərində geniş istifadə olunan PVD (fiziki buxar çökməsi).

Silikon karbid keramik örtük qızdırıcısının yüksək effektiv örtüyü dizaynı ilə birləşdirilmiş,Yüksək temperaturlu proseslər üçün əla bir istilik həlli təmin edə bilər.

Əla istilik keçiriciliyi: SIC Materialında qızdırıcının iş bölgəsində vahid istilik paylanmasına və temperatur gradientlərini azaltmasını təmin edən əla istilik keçiriciliyi var.

Vahid istilik paylamasını təmin edin: Silikon karbid keramika örtük qızdırıcısı, istilik sahəsi boyunca vahid temperatur paylanmasına nail olmaq üçün SIC materialının yüksək istilik keçiriciliyindən istifadə edir. Bu, yerli həddindən artıq istiləşmə və ya qeyri-bərabər temperaturun səbəb olduğu məhsul qüsurlarının qarşısını almaq, sürətli istilik emalı (RTP), yayılma və oksidləşmə kimi müxtəlif yüksək temperaturlu proseslərin vahid istilik müalicəsini təmin etmək üçün vacibdir.

Yüksək temperatur tolerantlığı: Sic örtük qızdırıcının, adətən, yüksək temperaturlu emal prosesləri üçün uyğun olan 1600 ° C-ə qədər olduqca yüksək temperaturlara tab gətirmək imkanı verir.

İstilik müqavimətini yaxşılaşdırın: Çünki örtük son dərəcə yüksək temperaturlara tab gətirə bilər, uzunmüddətli yüksək temperaturlu işləməyi tələb edən proseslərdə yaxşı çıxış edir. Məsələn, kimyəvi buxar çöküntüsündə (CVD) proseslərində, silikon karbiddəki keramika örtüklü qızdırıcı, yüksək temperaturda avadanlıqların uzunmüddətli sabit işləməsini təmin edə və ardıcıl istilik performansını təmin edə bilər, bununla da proses təkrarlılığı və etibarlılığını artırır.

Kimyəvi korroziya müqaviməti: Sic örtük turşu, qələvi və aşındırıcı qazlara son dərəcə yüksək müqavimət göstərir və uzun müddətdir ki, avadanlıqların həyatını uzataraq mürəkkəb kimyəvi atmosfer mühitində uzun müddət sabit qala bilər. 

Avadanlıqların ömrünü uzatmaq: SIC örtükləri əla oksidləşmə müqaviməti və korroziya müqavimətinə malikdir və yüksək temperaturda kimyəvi eroziyaya və oksidləşməyə təsirli şəkildə təsir edə bilər. Bu, yarımkeçirici istehsal prosesində, xüsusən də korroziv qazları və kimyəvi maddələri idarə edən bir mühitdə çox vacibdir. Ötənlərin qoruyucu təsiri qızdırıcının xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə genişləndirə və avadanlıqların dəyişdirilməsi və istismar xərclərinin tezliyini azalda bilər.

Silikon karbid keramik örtük qızdırıcısının əsas fiziki xüsusiyyətləri:

Vetek yarımkeçirici silikon karbid keramika örtüklü qızdırıcı dükanları:

Vetek yarımkeçirici çip epitaxy sənaye zəncirinə baxış: