silikon karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısı

Yarımkeçirici Silikon karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısıYüksək temperatur müqaviməti, korroziya müqaviməti və silikon karbon keramika örtüyünün aşınma müqaviməti və sərt yarımkeçirici istehsal mühitləri üçün nəzərdə tutulmuş qrafitin əla elektrik və istilik keçiriciliyini birləşdirir. 

Silikon karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısıəsasən vakuum örtüyündə (buxarlanma) avadanlıqlarında istifadə olunur və ümumiyyətlə istifadə olunan metodlar PCD (plazma kimyəvi qurutma) və PVD (fiziki buxar depozisiyası). Bu məhsul texnoloji tərəqqi və yarımkeçirici sənayesində istehsal səmərəliliyinin yaxşılaşdırılmasında mühüm rol oynamışdır.Səmimi olaraq sizinlə daha da əməkdaşlığı gözləyirik.

Silikon karbid keramik örtük qrafit qızdırıcısının maddi və struktur xüsusiyyətləri belədir:

Qrafit substratu: Qrafit yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişləndirmə əmsalı ilə tanınır. Temperatur dəyişikliklərinə tez cavab verə bilər və yüksək temperaturda struktur sabitliyini qoruya bilər.

Silikon karbon keramika örtüyü: Sic örtük, kimyəvi buxar çöküntüsü və ya digər inkişaf etmiş proseslər vasitəsilə qrafit səthində bərabər şəkildə örtülmüşdür. SIC, yüksək sərtlik və kimyəvi korroziyaya davamlıdır, bu da qrafit substratını yüksək temperatur oksidləşmə və aşındırıcı mühitdən qoruya bilər.

Silikon karbid keramik örtüklü qrafit qızdırıcısının xüsusi məhsulu struktur dizaynıYarımkeçirici emal prosesində bu məhsulun əvəzolunmaz məhsul üstünlükləri:

Səmərəli və vahid istilik:

İstilikkeçirmə: Qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi qızdırıcının lazımi temperaturu tez çatmasına və qorumasına imkan verir və SIC örtüyü istiliyin vahid paylanmasını təmin edir. Bu, sürətli istilik emalı (RTP) və kimyəvi buxarlanma (CVD) kimi dəqiq temperatur nəzarəti tələb edən yarımkeçirici proseslər üçün xüsusilə vacibdir.

Temperaturun vahidliyi: Vahid istilik paylanması yolu ilə silikon karbid keramika örtükləri qrafit qızdırıcısı istilik prosesi boyunca yarımkeçirici gaferlərin ardıcıllıq və keyfiyyət sabitliyini təmin edərək istilik stressi və temperatur gradientini effektiv şəkildə azalda bilər.

Anti-korroziya qorunması:

Kimyəvi müqavimət: SIC örtüyünün kimyəvi korroziyaya davamlılığı, qızdırıcının qrafit substratına zərər verməmək, korroziv qaz və kimyəvi mühitlərdə sabit və uzun müddət işləməsinə imkan verir. Bu xüsusiyyət kimyəvi buxar çökməsi (CVD) və plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma (pecvd) kimi proseslərdə xüsusilə vacibdir.

Oksidləşmə müqaviməti: Yüksək temperaturda, sic örtük qrafit substratının oksidləşməsinin qarşısını alır, qızdırıcının xidmət həyatını genişləndirir və avadanlıqların saxlanmasının tezliyini və maya dəyərini azaldır.

Hissəcik çirklənməsini azaldın:

Səthi sabitlik: Sic örtük yalnız taxılmaya davamlı deyil, eyni zamanda hissəciklərin istilik velosipedi və ya kimyəvi reaksiyalar səbəbindən maddi səthdən düşməsinin qarşısını alır və bununla da yarımkeçirici istehsal zamanı və yüksək təmizlik prosesi zamanı baş verə biləcək hissəcik çirklənməsi riskini azaldır.

Prosesin etibarlılığı və səmərəliliyini yaxşılaşdırın:

Uzun ömürlü dizayn: Qrafitin mexaniki gücünün və sic örtüklərin aşınma müqavimətinin birləşməsi səbəbindən, silikon karbid keramik örtüklü qrafit qızdırıcısı, avadanlıqların ümumi etibarlılığının əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşması ilə uzun müddət uzun müddət yüksək səmərəli əməliyyat apara bilər.

Səmərəli enerji istifadəsi: Qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi və SIC örtüyünün yüksək temperatur sabitliyi, istilik istehlakını artırarkən, temperatur nəzarət dəqiqliyini artırarkən, bununla da yarımkeçirici istehsalın ümumi səmərəliliyini artırır.

Əsas fiziki xüsusiyyətləriSilikon karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısı:

YarımkeçiriciSilikon karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısıdükan:

Yarımkeçirici Chip Epitaxy Sənaye Zəncirinə Baxış:

/ Başqa proses